一种晶圆多片取放倾斜抓手的制作方法

本技术涉一种抓手，具体为晶圆多片取放倾斜抓手，属于晶圆研磨上、下料设备。

背景技术：

1、目前，在晶圆抛光设备生产过程中，分为人工上下料和自动上下料。当自动为抛光设备进行上下料时，根据抛光设备的实际生产工况，向抛光槽内自动上、下料时只能采用吸盘式机械手。现有的吸盘式机械手如附图2所示，但这种吸盘结构的缺陷在于：该晶圆抓手一次只能吸取一片晶圆为抛光设备进行上料或下料，导致上、下料过程中，单次抓取量小，用时较长，使用频次较高。所以有必要设计一种单次抓取数量更多，提高加工效率的抓手结构。

2、因此，有待进一步的改进。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型为克服现有技术中的缺陷提供一种晶圆多片取放倾斜抓手，有效提高抛光设备生产效率，缩短上、下料时间，节约生产成本，结构简单合理。

2、本实用新型可通过以下技术方案实现：

3、一种晶圆多片取放倾斜抓手，包括固定于机械臂上的连接法兰；所述的连接法兰相对机械臂的另一端设置有基板；所述基板的若干端部设置有吸盘板；所述的吸盘板连接有吸盘。

4、优选的，所述的基板包括至少三个第一悬臂支撑；每个所述的第一悬臂支撑相对连接法兰的端面倾斜设置；所述的吸盘板与第一悬臂支撑一一对应。

5、优选的，所述的第一悬臂支撑以连接法兰为中心放射状阵列；每个所述的第一悬臂支撑之间均匀分布；各第一悬臂支撑的相交处形成连接端面；所述的连接法兰固定于所述的连接端面上；第二悬臂支撑相对第一悬臂支撑倾斜；所述的吸盘板设置在所述第二悬臂支撑的端部。

6、优选的，所述的第一悬臂支撑、第二悬臂支撑与连接端面之间一体式设置。

7、优选的，所述的第一悬臂支撑和第二悬臂支撑一体设置；所述的第一悬臂支撑与连接端面分体设置，并通过固定件相接。

8、优选的，所述的吸盘板处于第二悬臂支撑的底部；所述的第一悬臂支撑与第二悬臂支撑之间上下错位分布，并通过弧面衔接板相接。

9、优选的，所述吸盘板的端面为弧面；所述的吸盘板上开设有气孔；所述的气孔四周环绕设置有装配孔；所述的吸盘连接于吸盘板底部。

10、优选的，所述的吸盘包括至少三个气道；所述的气道沿吸盘的径向延长方向设置；所述的吸盘与气孔相接。

11、本实用新型具备以下有益效果：通过在连接法兰下设置基板，基板上的至少三个支撑悬臂，能够连接至少三个吸盘板以及吸盘，所以通过该设计在单次拿取过程中，能够同时抓取至少三片晶圆，可以完成晶圆研磨设备毛坯晶圆上料和成品晶圆下料机构复用，缩短上、下料时间周期，提高抛光生产效率，节约成本；同时，由于支撑悬臂采用倾斜式的设置，再配合机械臂的调整，在抓取时，已经吸取的晶圆不会与晶圆研磨设备发生干涉。

技术特征：

1.一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：包括固定于机械臂上的连接法兰；所述的连接法兰相对机械臂的另一端设置有基板；所述基板的若干端部设置有吸盘板；所述的吸盘板连接有吸盘。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的基板包括至少三个第一悬臂支撑；每个所述的第一悬臂支撑相对连接法兰的端面倾斜设置；所述的吸盘板与第一悬臂支撑一一对应。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的第一悬臂支撑以连接法兰为中心放射状阵列；每个所述的第一悬臂支撑之间均匀分布；各第一悬臂支撑的相交处形成连接端面；所述的连接法兰固定于所述的连接端面上；第二悬臂支撑相对第一悬臂支撑倾斜；所述的吸盘板设置在所述第二悬臂支撑的端部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的第一悬臂支撑、第二悬臂支撑与连接端面之间一体式设置。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的第一悬臂支撑和第二悬臂支撑一体设置；所述的第一悬臂支撑与连接端面分体设置，并通过固定件相接。

6.根据权利要求4或5所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的吸盘板处于第二悬臂支撑的底部；所述的第一悬臂支撑与第二悬臂支撑之间上下错位分布，并通过弧面衔接板相接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述吸盘板的端面为弧面；所述的吸盘板上开设有气孔；所述的气孔四周环绕设置有装配孔；所述的吸盘连接于吸盘板底部。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的吸盘包括至少三个气道；所述的气道沿吸盘的径向延长方向设置；所述的吸盘与气孔相接。

技术总结
本技术涉及一种晶圆多片取放倾斜抓手，包括固定于机械臂上的连接法兰；所述的连接法兰相对机械臂的另一端设置有基板；所述基板的若干端部设置有吸盘板；所述的吸盘板连接有吸盘。通过在连接法兰下设置基板，基板上的至少三个第一支撑悬臂，能够连接至少三个吸盘板以及吸盘，所以通过该设计在单次拿取过程中，能够同时抓取至少三片晶圆，可以完成晶圆研磨设备毛坯晶圆上料和成品晶圆下料机构复用，缩短上、下料时间周期，提高抛光生产效率，节约成本。

技术研发人员：王宏声,陈柏柏,关仁杰
受保护的技术使用者：北京日扬弘创科技有限公司
技术研发日：20230307
技术公布日：2024/1/13