一种板式PECVD机台载板在线自动清洁装置的制作方法

本技术属于晶体硅太阳电池生产领域，更具体的说是涉及一种板式pecvd机台载板在线自动清洁装置。

背景技术：

1、晶体硅太阳能电池生产的板式pecvd镀膜设备在生产过程中，载板承载着硅片进入pecvd腔室进行非晶硅薄膜沉积，载板的表面清洁程度影响着硅片的镀膜质量，因此当pecvd腔室和载板表面镀膜材料沉积到一定厚度时，必须进行清洁处理。现有载板，需要在pecvd腔室以外的地方用机械打磨或化学腐蚀的方式进行清洁，导致生产节奏受到严重影响或需多配置替换载板减少生产节奏的影响。

2、因此，为了解决上述存在的技术问题，需要设计一种可在线清洁太阳能电池镀膜载板的装置和清洁方式，实现机台上载板的在线自动清洁功能。

技术实现思路

1、有鉴于此，为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，以解决现有技术中的载板不能在线自动清洁的问题，有效延长了载板需要线下药液清洗的周期，提高了设备开机率及载板的使用效率。该板式pecvd机台载板在线自动清洁装置所采取的技术方案是：

2、一种板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，设置在pecvd镀膜机内，用于对承载硅片的载板进行清洁，所述载板通过若干下传输机构进行传输，传输机构为pecvd镀膜机自身的下传输机构，该板式pecvd机台载板在线自动清洁装置包括：设置在所述下传输机构上方的线性风刀和线性毛刷；所述线性风刀具有以固定角度朝向所述下传输机构的风刀口，所述线性风刀通过一风刀控制器驱动其沿垂直于载板的传输方向左右往复运动；所述线性毛刷垂直于所述下传输机构，并通过一毛刷控制器驱动其沿垂直于载板的传输方向左右往复运动。

3、可选的，所述线性毛刷连接有竖直方向的伸缩机构，所述伸缩机构通过所述毛刷控制器控制。

4、可选的，所述线性风刀上方连接有调节机构，所述调节机构通过所述风刀控制器控制，具有高度和角度的调节功能。

5、可选的，该板式pecvd机台载板在线自动清洁装置还包括探测元件，所述探测元件位于下传输机构上方，用于检测是否有载板通过，所述探测元件与所述线性毛刷控制器和所述线性风刀控制器分别信号连接，用于传输是否有载板通过的检测信号。

6、可选的，所述探测元件包括第一探测元件和第二探测元件，所述第一探测元件位于所述线性风刀和线性毛刷的前端，所述第二探测元件位于所述线性风刀和线性毛刷的后端。

7、可选的，该板式pecvd机台载板在线自动清洁装置还包括负压收集池，所述负压收集池位于所述及线性毛刷和线性风刀正下方的下传输机构底部，并与外围尾气排风系统连通，用于收集和排放脱落的氮化硅颗粒。

8、可选的，所述线性毛刷包括条形固定板和刷毛，所述刷毛可拆卸式的插接在所述条形固定板底部。

9、可选的，所述刷毛为尼龙丝材质。

10、可选的，所述线性风刀的风刀口以45度的倾斜角度朝向所述下传输机构。

11、作为被清洁的对象，载板的板面上开有若干阵列排布的中间镂空部，所述中间镂空部用于承载硅片；载板优选为碳纤维复合材质。

12、本实用新型在采用上述技术方案后，具有如下技术进步的效果：

13、本实用新型的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，在机台下传输机构上增加一套载板自动清洁装置，该装置包括线性毛刷、毛刷控制器、线性风刀、风刀控制器、负压收集池以及第一探测元件、第二探测元件等结构。在机台下传输机构载板的回传过程中，线性毛刷底端与载板上表面接触，刷掉载板上的氮化硅颗粒；同时线性风刀与水平45度角的方向向下用压缩空气吹扫载板上残留的氮化硅颗粒；线性毛刷及线性风刀的正下方的负压收集池，吸收脱落的氮化硅颗粒，方便了氮化硅颗粒的收集处理。

14、本实用新型能够实现了现有设备不具备的载板在线自动清洁功能，可在无需人力的情况下，高效清理载板上的碎片及氮化硅颗粒，确保载板清洁，有效减少机台停机时间，增加产能并节约人力成本，同时保证了车间的洁净度，确保了工艺的稳定持久，延长了载板的清洗时间，实现了本设计的目的。

技术特征：

1.一种板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，设置在pecvd镀膜机内，用于对承载硅片的载板(4)进行清洁，所述载板(4)通过若干下传输机构(2)进行传输，其特征在于，包括设置在所述下传输机构(2)上方的线性风刀(5)和线性毛刷(7)；所述线性风刀(5)具有以固定角度朝向所述下传输机构(2)的风刀口，所述线性风刀(5)通过一风刀控制器(6)驱动其沿垂直于载板(4)的传输方向左右往复运动；所述线性毛刷(7)垂直于所述下传输机构(2)，并通过一毛刷控制器(8)驱动其沿垂直于载板(4)的传输方向左右往复运动。

2.根据权利要求1所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，所述线性毛刷(7)连接有竖直方向的伸缩机构，所述伸缩机构通过所述毛刷控制器(8)控制。

3.根据权利要求1所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，所述风刀口为若干等间距直线排列的出风口。

4.根据权利要求1所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，所述线性风刀(5)上方连接有调节机构，所述调节机构通过所述风刀控制器(6)控制，具有高度和角度的调节功能。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，还包括探测元件，所述探测元件位于下传输机构(2)上方，用于检测是否有载板(4)通过，所述探测元件与所述毛刷控制器(8)和所述风刀控制器(6)分别信号连接，用于传输是否有载板(4)通过的检测信号。

6.根据权利要求5所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，所述探测元件包括第一探测元件(3a)和第二探测元件(3b)，所述第一探测元件(3a)位于所述线性风刀(5)和线性毛刷(7)的前端，所述第二探测元件(3b)位于所述线性风刀(5)和线性毛刷(7)的后端。

7.根据权利要求1或2或3或4所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，还包括负压收集池(9)，所述负压收集池(9)位于所述线性毛刷(7)和线性风刀(5)正下方的下传输机构(2)下方，并与外围尾气排风系统连通，用于收集和排放脱落的氮化硅颗粒。

8.根据权利要求1所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，所述线性毛刷(7)包括条形固定板和刷毛，所述刷毛可拆卸式的插接在所述条形固定板底部。

9.根据权利要求8所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，所述刷毛为尼龙丝材质。

10.根据权利要求1所述的板式pecvd机台载板在线自动清洁装置，其特征在于，所述线性风刀(5)的风刀口以45度的倾斜角度朝向所述下传输机构(2)。

技术总结
本技术属于晶体硅太阳电池生产领域，具体公开一种板式PECVD机台载板在线自动清洁装置，设置在PECVD镀膜机内，用于对承载硅片的载板进行清洁，载板通过若干下传输机构进行传输，该清洁装置包括：设置在所述下传输机构上方的线性风刀和线性毛刷；所述线性风刀具有以一定角度朝向所述下传输机构的风刀口，所述线性风刀通过一风刀控制器驱动其沿垂直于载板的传输方向左右往复运动；所述线性毛刷垂直于所述下传输机构，并通过一毛刷控制器驱动其沿垂直于载板的传输方向左右往复运动。本技术的清洁装置能够实现载板的在线自动清洁，方便了氮化硅颗粒的收集处理，确保工艺的稳定持久，同时延长了载板的清洗时间，提高了设备开机率，降低清洁成本。

技术研发人员：张煌军,赵鹏,杨川,冉祖辉,韩永清,张志强,赵强,刘彩凤,谢宏飞
受保护的技术使用者：英利能源发展（保定）有限公司
技术研发日：20230323
技术公布日：2024/1/14