一种新型一体式真空腔体结构的制作方法

本技术涉及新型一体式真空腔体结构，具体为一种新型一体式真空腔体结构。

背景技术：

1、一体式真空腔体结构是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变，这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。

2、例如授权公告号为“cn215163064u”的一种一体式真空腔体结构，通过法兰将主阀与冷泵装置连接，所述主腔体、主阀和法兰是一体式的，主阀包括连接部和主阀部，连接部与主阀部均为中空的结构并且连接部与主阀部相通，连接部的左侧面与主腔体的排气通口相对应的位置一体式连接，连接部的右侧面与主阀部连接，所述连接部的横截面为梯形，所述连接部的左侧面的高度大于右侧面的高度，但是在一体式真空腔体结构使用中，虽然法兰和阀体成为了一体式，但是依旧采用法兰与外界管道进行固定，法兰在固定时需要配合多个螺栓进行固定，这就需要逐一将螺栓进行旋拧完成一体式真空腔体结构的安装，浪费时间，导致一体式真空腔体结构安装繁琐，不便于操作，降低了工作效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决导致一体式真空腔体结构安装繁琐，不便于操作，降低了工作效率的问题，而提出的一种新型一体式真空腔体结构。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、设计一种新型一体式真空腔体结构，包括阀体和竖管，所述竖管的左右两侧下方分别固接有支架，所述支架的内壁连接有固定结构，所述竖管的外壁底部固接有圆环，所述阀体的左侧连通有外壳。

4、优选的，所述固定结构包括竖板和斜槽，所述竖板的外壁上方与支架的内壁滑动卡接，所述竖板的前后两侧分别技工有斜槽，所述斜槽的内壁滑动卡接有圆杆，所述圆杆的内侧固接有滑块，所述滑块的外侧转动连接有螺杆，所述螺杆的外壁与支架的内壁螺纹连接，所述竖板的底部固接有夹板。

5、优选的，所述螺杆的外侧固接有握把。

6、优选的，所述阀体的底部与竖管的顶部相连通。

7、优选的，所述外壳的内壁左侧连通有冷却管。

8、优选的，所述外壳的顶部圆口插接有活塞。

9、本实用新型提出的一种新型一体式真空腔体结构，有益效果是：通过固定结构中螺杆通过支架向外侧转动，进而带动滑块向外侧移动，移动的滑块带动圆杆在斜槽的内壁进行滑动，从而使竖板向上移动，移动的竖板带动底部的夹板与插接外界管道的圆环抵紧，从而使竖管与外界管道的连接，改变多个螺栓固定形式，便于一体式真空腔体结构安装，方便操作，提高了工作效率。

技术特征：

1.一种新型一体式真空腔体结构，包括阀体(1)和竖管(3)，其特征在于：所述竖管(3)的左右两侧下方分别固接有支架(5)，所述支架(5)的内壁连接有固定结构(2)，所述竖管(3)的外壁底部固接有圆环(6)，所述阀体(1)的左侧连通有外壳(4)。

2.根据权利要求1所述的一种新型一体式真空腔体结构，其特征在于：所述固定结构(2)包括竖板(201)和斜槽(202)，所述竖板(201)的外壁上方与支架(5)的内壁滑动卡接，所述竖板(201)的前后两侧分别技工有斜槽(202)，所述斜槽(202)的内壁滑动卡接有圆杆(203)，所述圆杆(203)的内侧固接有滑块(204)，所述滑块(204)的外侧转动连接有螺杆(205)，所述螺杆(205)的外壁与支架(5)的内壁螺纹连接，所述竖板(201)的底部固接有夹板。

3.根据权利要求2所述的一种新型一体式真空腔体结构，其特征在于：所述螺杆(205)的外侧固接有握把(8)。

4.根据权利要求1所述的一种新型一体式真空腔体结构，其特征在于：所述阀体(1)的底部与竖管(3)的顶部相连通。

5.根据权利要求1所述的一种新型一体式真空腔体结构，其特征在于：所述外壳(4)的内壁左侧连通有冷却管(9)。

6.根据权利要求1所述的一种新型一体式真空腔体结构，其特征在于：所述外壳(4)的顶部圆口插接有活塞(7)。

技术总结
本技术涉及一体式真空腔体结构技术领域，尤其是一种新型一体式真空腔体结构，包括阀体和竖管，所述竖管的左右两侧下方分别固接有支架，所述支架的内壁连接有固定结构，所述竖管的外壁底部固接有圆环，所述阀体的左侧连通有外壳，通过固定结构中螺杆通过支架向外侧转动，进而带动滑块向外侧移动，移动的滑块带动圆杆在斜槽的内壁进行滑动，从而使竖板向上移动，移动的竖板带动底部的夹板与插接外界管道的圆环抵紧抵紧，从而使竖管与外界管道的连接，改变多个螺栓固定形式，便于一体式真空腔体结构安装，方便操作，提高了工作效率。

技术研发人员：袁吉思,朱波
受保护的技术使用者：巴托真空科技（苏州）有限公司
技术研发日：20230327
技术公布日：2024/1/13