一种真空离子镀膜炉装炉架的制作方法

文档序号:35262359发布日期:2023-08-27 15:57阅读:30来源:国知局
一种真空离子镀膜炉装炉架的制作方法

本技术涉及真空离子镀膜,尤其涉及一种真空离子镀膜炉装炉架。


背景技术:

1、真空离子镀膜是指在真空气氛中利用蒸发源或溅射靶使膜材蒸发或溅射,蒸发或溅射出来的一部分粒子在气体放电空间中电离成金属离子,这些粒子在电场作用下沉积到基体上生成薄膜的一种过程。真空离子镀膜设备在进行镀膜时,一般需要通过挂架等装炉架将工件进行挂载以对其表面进行镀膜处理。

2、如现有技术中,公开(公告)号:cn113604785a,专利标题:一种防掉落的真空离子镀膜用工件固定装置,该发明涉及镀膜装置技术领域,支撑柱的左右两侧对称设置有调节杆,调节杆上等间距通过转轴和轴承旋转连接有数个连动杆,且连动杆的端部均固定设置有半齿轮;位于右侧的调节杆的下端固定连接有导向轮,导向轮的下侧设置有椭圆轮,且导向轮滚动贴设在椭圆轮的外侧壁上;支撑柱的左右两侧壁上从上到下依次等间距固定设置有数个承接板;相对应位置上的承接板和上封板之间的调节柱上均固定设置有支撑条,支撑条的一端上侧面上通过轴承垂直旋转设置有螺杆,螺杆的上端通过螺纹旋转套设有内螺纹管;能够对管状工件进行很好的夹持固定,有效的防止在镀膜过程中产生掉落,同时,使得镀膜更加均匀。

3、然而上述专利中是其中一种对加工工件固定的一种方式,还有很多挂载形式的挂架,通过挂钩挂载工件以进行镀膜,然而在装炉架边转动边镀膜过程中,很容易将工件甩脱,挂载工件不牢将导致对工件的损伤以及镀膜失败,为了解决这一问题,需要设计一种真空离子镀膜炉装炉架。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决上述问题而提供一种真空离子镀膜炉装炉架。

2、为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

3、本实用新型的一种真空离子镀膜炉装炉架,包括:

4、主支撑轴,其竖直的可转动设置在所述真空离子镀膜炉内部,所述主支撑轴上端部设有支撑转盘;

5、装炉挂钩,其设置在所述支撑转盘上;

6、防脱盖板,其一端铰链连接在所述装炉挂钩上、另一端向下翻转至盖在所述装炉挂钩的钩子上,所述防脱盖板反向延伸出有摆动杆;

7、以及盖板开合驱动结构,其设置在所述装炉挂钩与所述支撑转盘之间用以在所述装炉挂钩挂载加工件之后、通过所述盖板开合驱动结构驱动所述防脱盖板盖在所述装炉挂钩上。

8、优选的,所述装炉挂钩为设置在所述支撑转盘上的多组。

9、优选的,所述盖板开合驱动结构为结构相同的多组并与多组所述装炉挂钩之间一一对应设置。

10、优选的,所述装炉挂钩为挂载下坠物体的钩子其上端部具有向上延伸的纵杆。

11、优选的,所述盖板开合驱动结构包括:

12、支撑滑杆,其纵向连接在所述支撑转盘下表面边缘位置,所述支撑滑杆下端部连接有限位板;

13、滑动套筒,其为筒状结构并套设在所述支撑滑杆上以滑动于所述支撑滑杆上,所述滑动套筒外侧表面连接有水平支撑杆,所述水平支撑杆与所述纵杆上端部连接;

14、压缩弹簧,其套设在所述支撑滑杆上并被压缩在所述滑动套筒与所述限位板之间;

15、以及开合联动驱动结构,其设置在所述限位板与所述装炉挂钩之间用以在装炉挂钩挂载加工件向下坠时、通过所述开合联动驱动结构驱动所述防脱盖板盖在所述装炉挂钩的钩子上。

16、优选的,所述开合联动驱动结构包括:

17、下连杆,其纵向垂直连接在所述限位板下表面;

18、以及滑动套环,其为圆环结构并套设在所述摆动杆上以滑动于所述摆动杆上,所述滑动套环外侧表面上端部铰链连接在所述下连杆的下端部。

19、在上述技术方案中,本实用新型提供的一种真空离子镀膜炉装炉架,具有以下有益效果:

20、通过装炉挂钩挂载工件时,利用盖板开合驱动结构驱动防脱盖板盖在装炉挂钩上,以防止工件从装炉挂钩上滑脱造成工件的损伤以及工件镀膜失败的情况。



技术特征:

1.一种真空离子镀膜炉装炉架,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜炉装炉架,其特征在于,所述装炉挂钩(3)为设置在所述支撑转盘(2)上的多组。

3.根据权利要求2所述的一种真空离子镀膜炉装炉架,其特征在于,所述盖板开合驱动结构为结构相同的多组并与多组所述装炉挂钩(3)之间一一对应设置。

4.根据权利要求1所述的一种真空离子镀膜炉装炉架,其特征在于,所述装炉挂钩(3)为挂载下坠物体的钩子其上端部具有向上延伸的纵杆(6)。

5.根据权利要求4所述的一种真空离子镀膜炉装炉架,其特征在于,所述盖板开合驱动结构包括:

6.根据权利要求5所述的一种真空离子镀膜炉装炉架,其特征在于,所述开合联动驱动结构包括:


技术总结
本技术为一种真空离子镀膜炉装炉架,涉及真空离子镀膜领域。包括:主支撑轴,其竖直的可转动设置在所述真空离子镀膜炉内部,所述主支撑轴上端部设有支撑转盘;装炉挂钩,其设置在所述支撑转盘上;防脱盖板,其一端铰链连接在所述装炉挂钩上、另一端向下翻转至盖在所述装炉挂钩的钩子上,所述防脱盖板反向延伸出有摆动杆;以及盖板开合驱动结构,其设置在所述装炉挂钩与所述支撑转盘之间用以在所述装炉挂钩挂载加工件之后、通过所述盖板开合驱动结构驱动所述防脱盖板盖在所述装炉挂钩上。通过装炉挂钩挂载工件时,利用盖板开合驱动结构驱动防脱盖板盖在装炉挂钩上,以防止工件从装炉挂钩上滑脱造成工件的损伤以及工件镀膜失败的情况。

技术研发人员:王军杰,丁白瑜,缪兴绪,王泽文,王泽宁
受保护的技术使用者:青岛华庆鑫悦科技发展有限公司
技术研发日:20230404
技术公布日:2024/1/13
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