一种旋转ITO靶材扩缝装置的制作方法

本技术涉及靶材绑定，尤其涉及一种旋转ito靶材扩缝装置。

背景技术：

1、ito靶材属于铟锡复合氧化物陶瓷，是一种重要的光电功能材料，常作为磁控溅射靶材在玻璃、塑料等基板材料上制备透明导电膜，用于生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备。

2、目前ito靶材在生产时需要将多个靶材绑定在背管上，而靶材与靶材之间的间隙太大，在使用时会将背管上的材料溅射到产品上，影响使用，靶材与靶材之间的间隙太小，镀膜时靶材温度会升高，长度方向靶材会膨胀，靶材会有开裂的风险，所以在绑定时靶材间隙要比要求的小一些，后期人工进行扩缝相对产品一次性通过率高，而人工扩缝容易造成靶材崩边角、破裂、靶材间隙大小不一，并且人工扩缝单位工时长，成本较高，且出货效率较慢。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种旋转ito靶材扩缝装置，以解决人工扩缝造成靶材崩边角、靶材间隙大小不一、效率低下的问题。

2、基于上述目的，本实用新型提供了一种旋转ito靶材扩缝装置，包括：移动机构，其固定连接于抛光机本体上；固定架，其固定连接于移动机构上，所述固定架表面对称开设有滑槽；扩缝机构，其贯穿转动连接于滑槽内；所述扩缝机构包括运动部和扩缝部，将所述扩缝部移动至靶材间隙处，所述运动部带动扩缝部深入靶材间隙进行扩缝。

3、可选的，所述移动机构包括滑动连接于抛光机本体的支撑台，所述抛光机本体一侧固定连接有齿条，所述支撑台上固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有齿轮。

4、可选的，所述运动部包括贯穿转动连接于其中一个滑槽内的螺纹杆，所述螺纹杆上套设螺纹连接有第一滑块，另一个所述滑槽内贯穿固定连接有导杆，所述导杆上套设有第二滑块，所述固定架的一侧固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端通过连接轴与螺纹杆固定连接。

5、可选的，所述扩缝部包括第一固定块和第二固定块，所述第一固定块固定连接于第一滑块位于滑槽外的一侧，所述第二固定块固定连接于第二滑块位于滑槽外的一侧，所述第一固定块和第二固定块之间固定连接有金刚丝。

6、可选的，所述齿轮与齿条之间相互啮合。

7、可选的，所述第一固定块和第二固定块之间固定连接有连接杆。

8、本实用新型的有益效果：通过设置的移动机构和扩缝机构，移动机构将带动扩缝机构移动至各个靶材间隙处，使扩缝机构能够连接对多个靶材间隙进行扩缝，扩缝机构将对靶材间隙进行扩缝，加快扩缝效率，减少人工成本，减少靶材崩边、破裂、间隙大小不一的问题。

技术特征：

1.一种旋转ito靶材扩缝装置，其特征在于，包括：移动机构（2），其固定连接于抛光机本体（1）上；固定架（3），其固定连接于移动机构（2）上，所述固定架（3）表面对称开设有滑槽（4）；扩缝机构（5），其贯穿转动连接于滑槽（4）内；所述扩缝机构（5）包括运动部和扩缝部，将所述扩缝部移动至靶材间隙处，所述运动部带动扩缝部深入靶材间隙进行扩缝。

2.根据权利要求1所述的一种旋转ito靶材扩缝装置，其特征在于，所述移动机构（2）包括滑动连接于抛光机本体（1）的支撑台（6），所述抛光机本体（1）一侧固定连接有齿条（7），所述支撑台（6）上固定连接有第一电机（8），所述第一电机（8）的输出端固定连接有齿轮（9）。

3.根据权利要求1所述的一种旋转ito靶材扩缝装置，其特征在于，所述运动部包括贯穿转动连接于其中一个滑槽（4）内的螺纹杆（10），所述螺纹杆（10）上套设螺纹连接有第一滑块（11），另一个所述滑槽（4）内贯穿固定连接有导杆（12），所述导杆（12）上套设有第二滑块（13），所述固定架（3）的一侧固定连接有第二电机（14），所述第二电机（14）的输出端通过连接轴与螺纹杆（10）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种旋转ito靶材扩缝装置，其特征在于，所述扩缝部包括第一固定块（15）和第二固定块（16），所述第一固定块（15）固定连接于第一滑块（11）位于滑槽（4）外的一侧，所述第二固定块（16）固定连接于第二滑块（13）位于滑槽（4）外的一侧，所述第一固定块（15）和第二固定块（16）之间固定连接有金刚丝（17）。

5.根据权利要求2所述的一种旋转ito靶材扩缝装置，其特征在于，所述齿轮（9）与齿条（7）之间相互啮合。

6.根据权利要求4所述的一种旋转ito靶材扩缝装置，其特征在于，所述第一固定块（15）和第二固定块（16）之间固定连接有连接杆（18）。

技术总结
本技术涉及靶材绑定技术领域，具体涉及一种旋转ITO靶材扩缝装置，包括：移动机构，其固定连接于抛光机本体上；固定架，其固定连接于移动机构上，所述固定架表面对称开设有滑槽；扩缝机构，其贯穿转动连接于滑槽内；所述扩缝机构包括运动部和扩缝部，将所述扩缝部移动至靶材间隙处，所述运动部带动扩缝部深入靶材间隙进行扩缝，本技术通过设置的移动机构和扩缝机构，移动机构将带动扩缝机构移动至各个靶材间隙处，使扩缝机构能够连接对多个靶材间隙进行扩缝，扩缝机构将对靶材间隙进行扩缝，加快扩缝效率，减少人工成本，减少靶材崩边、破裂、间隙大小不一的问题。

技术研发人员：陈光园,曾探,王志强,曾墩风,马建保
受保护的技术使用者：芜湖映日科技股份有限公司
技术研发日：20230420
技术公布日：2024/1/15