破真空装置和蒸镀机的制作方法

本技术涉及破真空，更具体地，涉及一种破真空装置，以及包括该破真空装置的蒸镀机。

背景技术：

1、蒸镀机在真空蒸镀后，需要设置破真空装置对蒸镀腔进行破真空。现有技术中，破真空装置的气流量恒定，当蒸镀腔内的真空度较高时，通过破真空装置进入蒸镀腔的气体膨胀量较大，容易对腔体产生冲击，从而增加蒸镀腔漏气的风险，降低蒸镀腔的使用寿命；当蒸镀腔内的真空度较低时，通过破真空装置进入蒸镀腔的气体膨胀量较小，导致破真空时间长，破真空效率低。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种破真空装置的新技术方案，至少能够解决现有技术中对蒸镀腔的腔体冲击大、破真空效率低的问题中的一个。

2、本实用新型还提供了一种蒸镀机，包括上述破真空装置。

3、根据本实用新型的第一方面，提供了一种破真空装置，包括：管道组件，所述管道组件具有进气口和出气口，所述进气口与外部连通，所述出气口与待破真空的目标腔室连通，所述管道组件限定有第一气道和第二气道，所述第一气道的第一端和所述第二气道的第一端分别连通所述进气口，所述第一气道的第二端和所述第二气道的第二端分别连通所述出气口，第一通气组件，所述第一通气组件设于所述第一气道，所述第一通气组件可活动以封堵或连通所述第一气道；第二通气组件，所述第二通气组件设于所述第二气道，所述第二通气组件可活动以封堵或连通所述第二气道；其中，当所述目标腔室内的真空度大于预设真空度时，所述第一通气组件断开所述第一气道的第一端和第二端，所述第二通气组件连通所述第二气道的第一端和第二端，当所述目标腔室内的真空度小于或等于预设真空度时，所述第一通气组件连通所述第一气道的第一端和第二端。

4、可选地，所述管道组件包括：第一管道，所述第一管道限定有所述第一气道；第二管道，所述第二管道的两端分别与所述第一管道连接，且所述第二管道限定有所述第二气道，所述第二气道的第一端和第二端间隔开并分别与所述第一气道连通，所述第二气道的第一端位于所述进气口与所述第一通气组件之间，所述第二气道的第二端位于所述出气口与所述第一通气组件之间。

5、可选地，所述第一气道沿第一方向延伸，所述管道组件还包括：两个第三管道，两个所述第三管道沿所述第一方向间隔开设于所述第一管道，并分别与所述第二管道的两端对应连接，所述第一通气组件位于两个所述第三管道之间，每个所述第三管道限定有沿第二方向延伸的第三气道，所述第二气道的第一端与一个所述第三气道连通，所述第二气道的第二端与另一个所述第三气道连通。

6、可选地，所述第二管道的数量为多个，多个所述第二管道沿所述第二方向间隔开排布，且每个所述第二气道的第一端与一个所述第三气道连通，每个所述第二气道的第二端与另一个所述第三气道连通。

7、可选地，所述第一通气组件包括：插板阀，所述插板阀设于所述第一管道，以封堵或连通所述第一气道。

8、可选地，所述第二通气组件包括：挡板阀，所述挡板阀设于所述第二管道，以封堵或连通所述第二气道；节流阀，所述节流阀设于所述第二管道，以调节所述第二气道的流量，在气体从所述进气口向所述出气口流动的方向上，所述节流阀位于所述挡板阀远离所述进气口的一侧。

9、可选地，破真空装置还包括：检测器，所述检测器设于所述目标腔室并测量所述目标腔室的真空度；控制器，所述控制器与所述检测器、所述挡板阀和所述插板阀电连接，并根据所述检测器检测的结果控制所述挡板阀和所述插板阀活动。

10、可选地，所述挡板阀与所述第二管道之间、所述节流阀与所述第二管道之间通过紧固件和密封件密封连接。

11、可选地，破真空装置还包括：第四管道，所述第四管道的两端分别与两个所述第三管道连接，且所述第四管道限定有第四气道，所述第四气道的第一端与一个所述第三气道连通，所述第四气道的第二端与另一个所述第三气道连通；手动阀，所述手动阀设于所述第四管道并封堵或连通所述第四气道。

12、可选地，破真空装置还包括：过滤器，所述过滤器设于所述进气口，以对进入所述目标腔室内的气体进行过滤。

13、可选地，所述过滤器包括：支撑管，所述支撑管与所述管道组件连接并连通所述进气口，所述支撑管的管壁上设有沿自身径向贯通的多个第一透气孔；透气管，所述透气管套设在所述支撑管的外周侧，且所述透气管远离所述进气口的一端封闭，所述透气管的管壁上设有沿自身径向贯通的第二透气孔，所述第二透气孔和所述第一透气孔配合以使所述进气口与外部连通；滤芯，所述滤芯设于所述支撑管的外壁面与所述透气管的内壁面之间以对进入透气管的气体进行过滤。

14、根据本实用新型的第二方面，提供了一种蒸镀机，包括上述实施例中任一所述的破真空装置。

15、根据本实用新型的破真空装置，通过设置连通管道组件的进气口和出气口的两个气道，并在每个气道内设置对应的通气组件以封堵或连通对应的气道，在目标腔室内真空度较大时，可以通过第二气道将目标腔室的进气量控制得较小，以减少气体进入目标腔室对腔体造成的冲击，降低目标腔室漏气的风险，在目标腔室内真空度较小时，可以通过第一气道将目标腔室的进气量控制得较大，以减少破真空所需的时间，提高破真空的效率。

16、通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。

技术特征：

1.一种破真空装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的破真空装置，其特征在于，所述管道组件包括：

3.根据权利要求2所述的破真空装置，其特征在于，所述第一气道沿第一方向延伸，所述管道组件还包括：

4.根据权利要求3所述的破真空装置，其特征在于，所述第二管道的数量为多个，多个所述第二管道沿所述第二方向间隔开排布，且每个所述第二气道的第一端与一个所述第三气道连通，每个所述第二气道的第二端与另一个所述第三气道连通。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的破真空装置，其特征在于，所述第一通气组件包括：

6.根据权利要求5所述的破真空装置，其特征在于，所述第二通气组件包括：

7.根据权利要求6所述的破真空装置，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求6所述的破真空装置，其特征在于，所述挡板阀与所述第二管道之间、所述节流阀与所述第二管道之间通过紧固件和密封件密封连接。

9.根据权利要求3所述的破真空装置，其特征在于，还包括：

10.根据权利要求1所述的破真空装置，其特征在于，还包括：

11.根据权利要求10所述的破真空装置，其特征在于，所述过滤器包括：

12.一种蒸镀机，其特征在于，包括：权利要求1-11中任一项所述的破真空装置。

技术总结
本技术提供了一种破真空装置和蒸镀机，其中，破真空装置包括：管道组件，具有与外部连通的进气口和与待破真空的目标腔室连通的出气口，管道组件限定有第一气道和第二气道，第一气道的第一端和第二气道的第一端分别连通进气口，第一气道的第二端和第二气道的第二端分别连通出气口，第一通气组件，设于第一气道；第二通气组件，设于第二气道；当目标腔室内的真空度大于预设真空度时，第一通气组件断开第一气道的第一端和第二端，第二通气组件连通第二气道的第一端和第二端，当目标腔室内的真空度小于或等于预设真空度时，第一通气组件连通第一气道的第一端和第二端。本实施例的破真空装置，可以降低对目标腔室腔体的冲击，并减少破真空所需的时间。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：无锡先导智能装备股份有限公司
技术研发日：20230508
技术公布日：2024/1/15