用于热炉的喷淋装置及热炉的制作方法

本技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种用于热炉的喷淋装置及热炉。

背景技术：

1、硅片需要经过多道化学处理才能变为光伏电池片，化学气相沉积是光伏电池片加工过程中一种重要的处理方式。化学气相沉积法不仅广泛应用于光伏电池片加工领域，在半导体加工领域也发挥着重要作用。在光伏电池片加工领域，常见的化学气相沉积工艺包括常压化学沉积、低压化学沉积、等离子体增强化学沉积等等。除了化学沉积方法，扩散工艺也广泛应用在光伏电池片加工环节，例如硼扩散、磷扩散等等。化学沉积设备和扩散设备，都是采用气体扩散的方式对硅片进行加工。随着光伏加工设备硅片装载量逐渐增大，如何保证高温炉内硅片镀膜均匀性是光伏电池片加工的关键核心之一。为保证高温炉内硅片镀膜的均匀性，可以从提高温度场的均匀性和提高气流场的均匀性两方面着手。

2、提高高温炉内气流的均匀性是行业内的难题之一，传统的化学气相沉积设备或者扩散设备中，进气管为直管，进气管从炉头(或者炉尾)伸入炉膛内部。进气管上分布有一系列出气口，气体可以从进气管的喷淋口喷出，通过调节喷淋口的位置，可以提高炉膛内轴向的均匀性。但因为进气管一般放置于炉膛内左右两侧或者上下两侧，因此炉膛内径向的气流均匀性难以调节。

技术实现思路

1、本实用新型的第一个目的在于提出一种用于热炉的喷淋装置，该喷淋装置能够较好地保证炉体内部的气流均匀性，从而有利于提升制造良率。

2、本实用新型的第二个目的在于提出一种热炉，该热炉的炉内气流较为均匀，产品制造良率较高。

3、为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

4、本实用新型公开了一种用于热炉的喷淋装置，包括喷淋管，所述喷淋管包括多个沿炉体的轴向间隔设置的弧形结构，每个所述弧形结构上设有多个沿其周向间隔分布的喷淋孔。

5、在一些实施例中，所述喷淋管为多个，多个所述喷淋管沿所述炉体的周向间隔设置。

6、在一些实施例中，沿所述炉体的径向，所述喷淋管相对设置的两侧均止抵于所述炉体的内侧壁。

7、在一些实施例中，所述用于热炉的喷淋装置还包括进气管，所述进气管连接于所述喷淋管的进气端，且所述进气管的延伸方向与所述炉体的轴向平行设置。

8、在一些实施例中，所述喷淋管和所述进气管均为多个，多个所述进气管与多个所述喷淋管一一对应连接。

9、在一些实施例中，多个所述弧形结构沿所述炉体的轴向均匀间隔分布，由所述喷淋管的进气端朝向出气端的方向上，所述弧形结构上的所述喷淋孔的孔径依次增大。

10、在一些实施例中，多个所述弧形结构沿所述炉体的轴向间隔分布，由所述喷淋管的进气端朝向出气端的方向上，相邻两个弧形结构的间距逐渐减小。

11、在一些实施例中，所述喷淋管为两个，其中一个所述喷淋管为左螺旋管，另一个所述喷淋管为右螺旋管。

12、在一些实施例中，每个所述弧形结构上设有多个所述喷淋孔，多个所述喷淋孔的喷射方向沿所述炉体的径向方向。

13、在一些实施例中，所述喷淋管出气端封闭设置。

14、本实用新型还公开了一种热炉，包括炉体、炉门前文所述的用于热炉的喷淋装置，所述炉体的一端敞开设置，所述炉门配合在所述炉体的敞开端，所述热炉的喷淋装置的进气端穿设于所述炉体的封闭端，且伸入所述炉体。

15、本实用新型的用于热炉的喷淋装置的有益效果：相比于现有技术中形成为直管的喷淋管，本实用新型的喷淋管包括多个沿炉体的轴向间隔设置的弧形结构，这样能够保证在炉体轴向上气流的均匀度，与此同时，由于每个弧形结构上设置多个沿其周向间隔分布的喷淋孔，这样喷淋孔的喷射方向都是朝向炉体的径向或者与炉体的径向呈一定夹角的方向，这样就能够保证在炉体径向上气流的均匀度，使得本实用新型的喷淋装置在实际工作过程中能够沿炉体的轴向和径向两个方向保证气流的均匀性，从而极大地提升了炉体内部的气流均匀性，有利于提升产品制造良率，并且由于喷淋管包括多个沿炉体的轴向间隔设置的弧形结构，弧形结构可以直接止抵于炉体的内侧壁，使得喷淋管能够依靠自身结构固定在炉体内，无需额外的安装结构，不仅简化了炉体的结构，还能够方便喷淋管的安装和拆卸。

16、本实用新型的热炉的有益效果：由于具有前文所述的用于热炉的喷淋装置，使得在实际工作过程中能够沿炉体的轴向和径向两个方向保证气流的均匀性，从而提升了产品制造良率。

17、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.用于热炉的喷淋装置，其特征在于，包括喷淋管(100)，所述喷淋管(100)包括多个沿炉体(300)的轴向间隔设置的弧形结构(110)，每个所述弧形结构(110)上设有多个沿其周向间隔分布的喷淋孔(111)。

2.根据权利要求1所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管(100)为多个，多个所述喷淋管(100)沿所述炉体(300)的周向间隔设。

3.根据权利要求1所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，沿所述炉体(300)的径向，所述喷淋管(100)相对设置的两侧均止抵于所述炉体(300)的内侧壁。

4.根据权利要求1所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，所述用于热炉的喷淋装置还包括进气管(200)，所述进气管(200)连接于所述喷淋管(100)的进气端。

5.根据权利要求4所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管(100)和所述进气管(200)均为多个，多个所述进气管(200)与多个所述喷淋管(100)一一对应连接。

6.根据权利要求1所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，多个所述弧形结构(110)沿所述炉体(300)的轴向均匀间隔分布，由所述喷淋管(100)的进气端朝向出气端的方向上，所述弧形结构(110)上的所述喷淋孔(111)的孔径依次增大。

7.根据权利要求1所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，多个所述弧形结构(110)沿所述炉体(300)的轴向间隔分布，由所述喷淋管(100)的进气端朝向出气端的方向上，相邻两个所述弧形结构(110)的间距逐渐减小。

8.根据权利要求1所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管(100)为两个，其中一个所述喷淋管(100)为左螺旋管，另一个所述喷淋管(100)为右螺旋管。

9.根据权利要求1所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，每个所述弧形结构(110)上设有多个所述喷淋孔(111)，多个所述喷淋孔(111)的喷射方向沿所述炉体(300)的径向方向。

10.根据权利要求1所述的用于热炉的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管(100)出气端封闭设置。

11.热炉，其特征在于，包括炉体(300)、炉门(400)如权利要求1-10中任一项所述的用于热炉的喷淋装置，所述炉体(300)的一端敞开设置，所述炉门(400)配合在所述炉体(300)的敞开端，所述热炉的喷淋装置的进气端穿设于所述炉体(300)的封闭端，且伸入所述炉体(300)。

技术总结
本技术公开了一种用于热炉的喷淋装置及热炉，用于热炉的喷淋装置包括喷淋管，喷淋管包括多个沿炉体的轴向间隔设置的弧形结构，每个弧形结构上设有多个沿其周向间隔分布的喷淋孔。相比于现有技术中形成为直管的喷淋管，本技术的喷淋管包括多个炉体的轴向间隔设置的弧形结构，且由于多个喷淋管沿炉体的周向间隔设置，且每个弧形结构上设置多个沿其周向间隔分布的喷淋孔，使得该喷淋装置在实际工作过程中能够沿炉体的轴向和径向两个方向保证气流的均匀性，从而极大地提升了炉体内部的气流均匀性，有利于提升产品制造良率。

技术研发人员：朱太荣,梁笑,林佳继,张武
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230518
技术公布日：2024/1/14