一种硅晶圆研磨防护装置的制作方法

本技术涉及晶圆加工，尤其涉及一种硅晶圆研磨防护装置。

背景技术：

1、行业内硅晶圆研磨工艺绝大部分都设置于一般环境区域生产，该区域粉尘、碎晶屑及其他杂质异物较多，若是上述粉尘、碎晶屑、异物等在研磨加工过程中进入研磨机台或者研磨定盘、研磨液管路后，在机台设定压力及转速作用下就会对正在加工的晶片造成表面划伤，更有甚者可能会造成晶片破碎或者导致定盘面损坏等，造成巨大的制程良率及经济损失。

2、经检索，现有授权公告号cn218461854u的文件，公开了一种硅晶圆研磨防护装置，通过设置防护罩单元和连接件，可与机台横梁无间隙贴合，将机台上方完全封闭，避免非研磨液类物质(粉尘、碎晶屑、异物等)进入研磨加工环境(机台缝隙、研磨定盘、研磨液管路、晶片表面等)，有助于提高晶圆研磨品质。

3、但是该方案在实施过程中，仍有不足，防护罩单元与横梁连接，而不与机台研磨盘的升降机构连接，导致防护罩单元无法进行升降，其始终罩在研磨机台上，这样就会导致给研磨机台上下料比较困难，也不方便对研磨机台进行维护作业。

4、因此，有必要提供一种硅晶圆研磨防护装置解决上述技术问题。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术缺陷，本实用新型提供了一种硅晶圆研磨防护装置能够方便硅晶圆的上下料，方便对研磨机台的维护作业。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

3、硅晶圆研磨防护装置，包括：设于研磨机台上的横梁，横梁架设在研磨机台的上方，所述横梁上安装有用于承载研磨盘升降的升降柱，升降柱由安装在所述横梁上的液压缸驱动，液压缸驱动升降柱升降，从而使研磨盘升降，研磨盘配合研磨机台对硅晶圆进行研磨，所述升降柱上安装有防护罩，所述防护罩与研磨机台相适配，防护罩罩在研磨盘上并与研磨盘同步升降。

4、优选的，所述防护罩上均匀安装有多个进气管，所述进气管通过进气总管相互连通，所述横梁上安装有气泵，所述气泵与所述进气总管通过软管连接，软管采用橡胶材质，所述软管与所述气泵之间安装有过滤器。

5、优选的，所述防护罩的侧面开设有多个竖条状的排气孔，所述排气孔上安装有调节板，调节板沿着排空上下移动，进而对排气孔的部分区域进行遮挡，改变空气通过排气孔的流通速度。

6、优选的，所述防护罩的底部开设有环形的卡槽，卡槽与研磨机台的顶部侧边相适配。

7、优选的，所述排气孔的内外两侧均设有活动槽，所述调节板包括内板、外板和连接板，连接板的两侧分别与内板、外板连接，所述连接板与所述排气孔相适配，所述内板、外板与所述活动槽相适配。

8、优选的，所述防护罩的顶部安装有固定管，所述固定管与所述升降柱相适配，固定管的一侧安装有限位螺丝。

9、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

10、(1)本实用新型通过设置在研磨盘的升降柱上安装与研磨机台相适配的防护罩，能够将研磨机台上方全包围覆盖，防止粉尘、碎晶屑等异物进入研磨机台内，避免废水四处飞溅，污染周围的待研磨晶片、夹具等物料，同时，防护罩跟随研磨盘同步升降，方便硅晶圆的上下料以及方便对研磨机台的维护作业；

11、(2)本实用新型通过设置气泵、进气管、进气总管、软管和过滤器，能够对防护罩内充入洁净空气，降低粉尘和碎晶屑等异物进入防护罩内的可能性，并加速防护罩内外空气对流，降低温差，减少凝液的产生；

12、(3)本实用新型通过设置排气孔和调节板，能够排出防护罩内空气，并调节防护罩内气压，具有排气和调节防尘的作用；

13、(4)本实用新型通过设置防护罩的底部开设有环形的卡槽，能够使卡槽与研磨机台卡接，防止外界粉尘和异物进入研磨机台上；

14、(5)本实用新型通过设置活动槽、内板、外板和连接板，能够使调节板上下移动，进而改变对排气孔的遮挡范围；

15、(6)本实用新型通过设置防护罩的顶部安装有固定管，能够方便将连接柱与防护罩之间进行连接。

技术特征：

1.一种硅晶圆研磨防护装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆研磨防护装置，其特征在于，所述防护罩上均匀安装有多个进气管，所述进气管通过进气总管相互连通，所述横梁上安装有气泵，所述气泵与所述进气总管通过软管连接，所述软管与所述气泵之间安装有过滤器。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆研磨防护装置，其特征在于，所述防护罩的侧面开设有多个排气孔，所述排气孔上安装有调节板。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆研磨防护装置，其特征在于，所述防护罩的底部开设有与所述研磨机台相适配的卡槽。

5.根据权利要求3所述的一种硅晶圆研磨防护装置，其特征在于，所述排气孔的内外两侧均开设有活动槽，所述调节板包括内板、外板和连接板。

6.根据权利要求1所述的一种硅晶圆研磨防护装置，其特征在于，所述防护罩的顶部安装有与所述升降柱相适配的固定管。

技术总结
本技术公开了一种硅晶圆研磨防护装置。硅晶圆研磨防护装置，包括：安装在研磨机台上的横梁，所述横梁上安装有升降柱，所述升降柱由安装在所述横梁上的液压缸驱动，所述升降柱上安装有防护罩，所述防护罩与所述研磨机台相适配。本技术提供的硅晶圆研磨防护装置通过设置在研磨盘的升降柱上安装与研磨机台相适配的防护罩，能够将研磨机台上方全包围覆盖，防止粉尘、碎晶屑等异物进入研磨机台内，避免废水四处飞溅，污染周围的待研磨晶片、夹具等物料，同时，防护罩跟随研磨盘同步升降，方便硅晶圆的上下料以及方便对研磨机台的维护作业。

技术研发人员：侯承明,施宁娣,薛伸伸,曹海洋
受保护的技术使用者：百克晶半导体科技（苏州）有限公司
技术研发日：20230522
技术公布日：2024/1/15