一种晶棒夹持装置和晶棒抛光系统的制作方法

本技术涉及光伏，特别是涉及一种晶棒夹持装置和晶棒抛光系统。

背景技术：

1、随着光伏产业的快速发展，市场对硅片的需求日益增加。硅片由硅棒切片而成，硅棒由单晶硅材料通过单晶工序拉制而成。由硅棒得到硅片之前，硅棒需要流转至机加工序先后进行切断、切方、抛光工段，抛光机作为机加工工序中最后一步，对产品质量有关键性影响。

2、目前，在抛光工序阶段，需要使用抛光一体机的旋转支撑夹头从动座和主动座夹持晶棒的两端，受晶棒的重力影响，旋转支撑夹头从动座内的轴承需要同时受轴向力和径向力，由于抛光工序过程中需要持续进行冷却液喷淋，旋转支撑夹头从动座处于此环境中，密封措施不当，容易造成液体进入轴承内，导致轴承损坏、使用寿命降低，最终使得晶棒抛光加工质量不合格。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，提出了本实用新型实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种晶棒夹持装置和晶棒抛光系统。

2、为了解决上述问题，第一方面，本实用新型实施例公开了一种晶棒夹持装置，包括：固定支架、转动轴、第一端盖、第二端盖、用于夹持晶棒的夹持机构以及至少两个滚动轴承，所述固定支架上设置有沿所述转动轴的轴向导通的第一通孔，所述第二端盖上设置有与所述第一通孔连通的第二通孔，其中，

3、所述第一端盖和所述第二端盖分别设置于所述固定支架的相对两侧，分别封堵所述第一通孔的两端，并与所述固定支架围合形成密封腔；

4、所述转动轴分别穿设于所述第一通孔和所述第二通孔，并分别转动连接于所述第一通孔和所述第二通孔，所述转动轴与所述第二通孔密封连接，所述转动轴的一端伸出所述第二通孔并与所述夹持机构固定连接；

5、至少两个所述滚动轴承沿所述转动轴的轴向依次套设于所述转动轴外，所述滚动轴承设置于所述密封腔内，所述滚动轴承的内圈和外圈分别与所述转动轴和所述固定支架固定连接。

6、可选地，所述晶棒夹持装置包括第一o型密封圈，所述第一端盖包括端盖本体和第一环形凸起；

7、所述端盖本体固定连接于所述固定支架，并用于封堵所述第一通孔；

8、所述第一环形凸起设置于所述端盖本体朝向所述固定支架的一侧；

9、所述第一环形凸起嵌设于所述第一通孔内；

10、所述第一o型密封圈套设于所述第一环形凸起，且所述第一o型密封圈分别与所述第一环形凸起和所述第一通孔的内壁抵接。

11、可选地，所述晶棒夹持装置还包括锁紧螺母，所述转动轴包括沿其轴向依次连接的第一轴段、第二轴段、第三轴段和第四轴段；

12、所述第二轴段的直径大于所述第一轴段的直径，且小于所述第三轴段的直径；

13、所述滚动轴承套设于所述第二轴段，且与所述第三轴段抵接；

14、所述锁紧螺母与所述第一轴段螺纹连接；

15、所述第三轴段穿设于所述第二通孔并与所述第二通孔的内壁密封连接；

16、所述第四轴段与所述夹持机构固定连接。

17、可选地，所述晶棒夹持装置还包括油封；

18、所述油封套设于所述第三轴段，所述油封分别与所述第二通孔的内壁和所述第三轴段抵接。

19、可选地，所述晶棒夹持装置还包括孔用挡圈，所述第二通孔的内壁上设置有第一卡槽；

20、所述孔用挡圈套设于所述第三轴段，设置于所述滚动轴承和所述油封之间；

21、所述孔用挡圈嵌设于所述第一卡槽内，所述孔用挡圈与所述油封对应，用于限制所述油封沿所述转动轴的轴向窜动。

22、可选地，所述晶棒夹持装置还包括格莱圈，所述第二通孔的内壁上设置有第二卡槽；

23、所述格莱圈嵌设于所述第二卡槽内，且所述格莱圈设置于所述油封远离所述孔用挡圈的一侧；

24、所述格莱圈套设于所述第三轴段，所述格莱圈与所述第三轴段抵接并与所述第三轴段转动连接。

25、可选地，所述夹持机构还包括法兰；

26、所述法兰套设于所述第四轴段，并与所述第四轴段固定连接；

27、所述第二端盖远离所述固定支架的一侧设置有第一限位槽和第一限位凸起，所述法兰上设置有第二限位槽和第二限位凸起；

28、所述第一限位凸起嵌设于所述第一限位槽内，所述第二限位凸起嵌设于所述第二限位槽内，以使所述第二端盖与所述法兰扣合连接。

29、可选地，所述晶棒夹持装置还包括第二o型密封圈；

30、所述第二o型密封圈套设于所述法兰的外周，且所述第二o型密封圈与所述第二端盖抵接。

31、可选地，所述滚动轴承包括：调心滚子轴承、交叉滚子轴承、圆锥滚子轴承以及角接触球轴承中的一种。

32、第二方面，本实用新型实施例还公开了一种晶棒抛光系统，包括：旋转支撑夹持装置、导轨以及上述晶棒夹持装置；

33、所述晶棒夹持装置的固定支架上设置有第一滑块，所述旋转支撑夹持装置上设置有第二滑块；

34、所述第一滑块和所述第二滑块均滑动连接于所述导轨，以调整所述晶棒夹持装置和所述旋转支撑夹持装置之间的间隙。

35、本实用新型实施例包括以下优点：

36、在本实用新型实施例中，至少两个所述滚动轴承沿所述转动轴的轴向依次套设于所述转动轴外，可以使用至少两个所述滚动轴承分担承载力，而且，所述第一端盖和所述第二端盖分别与所述固定支架的两侧密封连接，所述第一端盖、所述第二端盖和所述固定支架可以围合形成容纳腔，转动轴与第二通孔密封连接，这样，将所述滚动轴承放置在所述容纳腔内，可以避免滚动轴承的液油外泄，以及避免外部液体进入所述滚动轴承。在本实用新型实施例中，采用至少两个滚动轴承分担承载力，且避免滚动轴承的液油外泄，以及避免外部液体进入所述滚动轴承，可以避免所述滚动轴承损坏而造成精度异常，进而提升晶棒的抛光加工质量，提升合格率。

技术特征：

1.一种晶棒夹持装置，其特征在于，包括：固定支架、转动轴、第一端盖、第二端盖、用于夹持晶棒的夹持机构以及至少两个滚动轴承，所述固定支架上设置有沿所述转动轴的轴向导通的第一通孔，所述第二端盖上设置有与所述第一通孔连通的第二通孔，其中，

2.根据权利要求1所述的晶棒夹持装置，其特征在于，所述晶棒夹持装置包括第一o型密封圈，所述第一端盖包括端盖本体和第一环形凸起；

3.根据权利要求1所述的晶棒夹持装置，其特征在于，所述晶棒夹持装置还包括锁紧螺母，所述转动轴包括沿其轴向依次连接的第一轴段、第二轴段、第三轴段和第四轴段；

4.根据权利要求3所述的晶棒夹持装置，其特征在于，所述晶棒夹持装置还包括油封；

5.根据权利要求4所述的晶棒夹持装置，其特征在于，所述晶棒夹持装置还包括孔用挡圈，所述第二通孔的内壁上设置有第一卡槽；

6.根据权利要求5所述的晶棒夹持装置，其特征在于，所述晶棒夹持装置还包括格莱圈，所述第二通孔的内壁上设置有第二卡槽；

7.根据权利要求3所述的晶棒夹持装置，其特征在于，所述夹持机构还包括法兰；

8.根据权利要求7所述的晶棒夹持装置，其特征在于，所述晶棒夹持装置还包括第二o型密封圈；

9.根据权利要求1所述的晶棒夹持装置，其特征在于，所述滚动轴承包括：调心滚子轴承、交叉滚子轴承、圆锥滚子轴承以及角接触球轴承中的一种。

10.一种晶棒抛光系统，其特征在于，包括：旋转支撑夹持装置、导轨以及权利要求1-9任一项所述的晶棒夹持装置；

技术总结
本技术实施例提供了一种晶棒夹持装置和晶棒抛光系统，第一端盖和第二端盖分别设置于固定支架的相对两侧，分别封堵第一通孔的两端，并与固定支架围合形成密封腔；转动轴分别穿设于第一通孔和第二通孔，并分别转动连接于第一通孔和第二通孔，转动轴与第二通孔密封连接，转动轴的一端伸出第二通孔并与夹持机构固定连接；至少两个滚动轴承沿转动轴的轴向依次套设于转动轴外，滚动轴承设置于密封腔内，滚动轴承的内圈和外圈分别与转动轴和固定支架固定连接。可以避免滚动轴承损坏而造成精度异常，提升晶棒的抛光加工质量，提升合格率。

技术研发人员：闫涛,曾春严,蒋发根,蒋宗辉,韩越,梁千,张伟,马学芳,周梦园,马军,杨建宁,魏永亮,张向阳
受保护的技术使用者：银川隆基硅材料有限公司
技术研发日：20230524
技术公布日：2024/1/15