一种镀膜检测用基片的制作方法

本技术涉及一种镀膜检测用基片。

背景技术：

1、在超真空环境中，通过蒸发源对样品镀膜时，一般是在圆形的硅片上进行膜层镀设的，而用于对膜层进行检测的设备则只能接受长条形的金属片，这就导致在圆形硅片上镀设的膜层受限于形状难以接受检测。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种镀膜检测用基片，既能够满足镀膜设备对镀膜基片的形状要求，又能够满足检测设备对检测基片的形状要求。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

3、一种镀膜检测用基片，包括圆形的安装板、开设于所述安装板上的且呈条形的缺口、设于所述缺口周向的插槽、可沿第一方向拔插地设于所述插槽中的且用于封堵所述缺口的检测板、设于所述插槽中的且用于锁紧所述检测板的锁紧机构；

4、所述锁紧机构包括可沿所述第一方向滑动地设于所述插槽中的滑动件、开设于所述滑动件上的导向槽、一端球面铰接在所述插槽中的拉杆、设于所述拉杆另一端的且位于所述导向槽中的钩部、一端连接在所述滑动件上的拉簧，所述拉簧的另一端连接在所述插槽中，所述拉簧和所述拉杆分别位于所述滑动件的外端和内端；

5、所述导向槽包括依次连通的导入段、锁止段和导出段，所述导入段的进口端和所述导出段的出口端相互连通；

6、所述锁紧机构还包括可沿第二方向伸缩地设于所述滑动件上的锁舌，所述检测板一侧设有用于被所述锁舌伸入的凹部。

7、优选地，所述导入段包括沿槽向倾斜设置的导入槽底，所述导出段包括沿槽向倾斜设置的导出槽底，所述锁止段包括锁止槽底；

8、所述导入槽底的出口端高于所述锁止槽底，所述锁止槽底高于所述导出槽底的入口端，所述导出槽底的出口端高于所述导入槽底的入口端。

9、优选地，所述锁止段朝向所述拉杆的铰接端弧形凸起。

10、优选地，所述导出段为直线段，所述导入段为沿远离所述导出段的方向弧形凸起的曲线段。

11、优选地，所述拉簧、所述滑动件和所述拉杆沿所述第一方向依次排列。

12、优选地，所述滑动件、所述拉杆和所述拉簧分别位于所述缺口同侧的所述插槽中。

13、优选地，所述第二方向垂直于所述第一方向，两者分别平行于所述安装板的端面。

14、优选地，所述锁舌沿插入方向的后端设有第一导向斜面，所述检测板沿所述插入方向的前端设有用于配合所述第一导向斜面的第二导向斜面。

15、优选地，所述锁舌沿插入方向的前端设有第三导向斜面，所述凹部沿所述插入方向的前端设有用于配合所述第三导向斜面的第四导向斜面。

16、优选地，所述第一方向平行于所述安装板的径向。

17、由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型镀膜检测用基片，通过设置圆形的安装板能够满足镀膜设备对镀膜基片的形状要求；通过设置条形的检测板能够满足检测设备对检测基片的形状要求；通过在插槽中设置锁紧机构，能够从侧面按压检测板以实现检测板相对安装板的插入和取出，避免划伤膜层，保证检测结果的准确性。

技术特征：

1.一种镀膜检测用基片，其特征在于：包括圆形的安装板、开设于所述安装板上的且呈条形的缺口、设于所述缺口周向的插槽、可沿第一方向拔插地设于所述插槽中的且用于封堵所述缺口的检测板、设于所述插槽中的且用于锁紧所述检测板的锁紧机构；

2.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述导入段包括沿槽向倾斜设置的导入槽底，所述导出段包括沿槽向倾斜设置的导出槽底，所述锁止段包括锁止槽底；

3.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述锁止段朝向所述拉杆的铰接端弧形凸起。

4.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述导出段为直线段，所述导入段为沿远离所述导出段的方向弧形凸起的曲线段。

5.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述拉簧、所述滑动件和所述拉杆沿所述第一方向依次排列。

6.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述滑动件、所述拉杆和所述拉簧分别位于所述缺口同侧的所述插槽中。

7.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述第二方向垂直于所述第一方向，两者分别平行于所述安装板的端面。

8.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述锁舌沿插入方向的后端设有第一导向斜面，所述检测板沿所述插入方向的前端设有用于配合所述第一导向斜面的第二导向斜面。

9.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述锁舌沿插入方向的前端设有第三导向斜面，所述凹部沿所述插入方向的前端设有用于配合所述第三导向斜面的第四导向斜面。

10.根据权利要求1所述的镀膜检测用基片，其特征在于：所述第一方向平行于所述安装板的径向。

技术总结
本技术公开了一种镀膜检测用基片，包括安装板、开设于安装板上的缺口、设于缺口周向的插槽、可拔插地设于插槽中的检测板、设于插槽中的锁紧机构；锁紧机构包括可滑动地设于插槽中的滑动件、开设于滑动件上的导向槽、一端球面铰接在插槽中的拉杆、设于拉杆另一端的且位于导向槽中的钩部、一端连接在滑动件上的拉簧，拉簧的另一端连接在插槽中；导向槽包括依次连通的导入段、锁止段和导出段，导入段的进口端和导出段的出口端相互连通；锁紧机构还包括可沿第二方向伸缩地设于滑动件上的锁舌，检测板一侧设有用于被锁舌伸入的凹部。本技术镀膜检测用基片，既能够满足镀膜设备对镀膜基片的形状要求，又能够满足检测设备对检测基片的形状要求。

技术研发人员：张磊
受保护的技术使用者：格物致寒（苏州）科学仪器有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/14