一种旋转陶瓷靶材端部修型装置的制作方法

本技术涉及靶材加工设备，尤其涉及一种旋转陶瓷靶材端部修型装置。

背景技术：

1、很多大型旋转陶瓷靶材，比如旋转硅铝靶材、旋转硅靶材、旋转氧化钛靶材以及旋转银氧化钛靶材等，都是采用等离子喷涂的工艺生产，如图3所示，该种靶材由在不锈钢材质的背管1外表面喷涂一定厚度的靶材材料11所得，因为等离子喷涂工艺自身的限制，靶材材料11的两端距离背管1端部的距离没办法直接控制到图纸要求的尺寸，并且靶材材料11的端部比较疏松不能满足质量要求，所以在实际生产时，要先在等离子喷涂工序将靶材材料11端部距离背管1端部的尺寸控制在小于图纸要求的尺寸(如图3中右端的虚线所示)，喷涂完成后，再对靶材材料11的端部进行修型加工，使其距离端口的尺寸满足要求。目前，对靶材材料11的端部进行修型加工一般是在车床上进行，由于等离子喷涂工艺得到的陶瓷靶材强度较低且较脆，在车加工时靶材材料11的端部容易开裂，导致整根靶材报废。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题，是针对上述存在的技术不足，提供了一种旋转陶瓷靶材端部修型装置，在对靶材材料的端部进行修型加工时靶材材料的端部不容易开裂。

2、为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转陶瓷靶材端部修型装置，包括背板，所述背板的一侧设置有夹持柱，所述背板的另一侧设置有旋转板，所述旋转板远离背板的一侧设置有多个导向柱，所述导向柱滑动连接有活动板，所述导向柱的端部设置有防止活动板掉落的阻挡帽，所述旋转板与活动板之间设置有弹簧，所述活动板远离旋转板的一侧设置有轴线平行于背管轴线的滚轮和延伸方向垂直于背管轴线的金刚石锉刀段，所述金刚石锉刀段远离滚轮的一侧其远离活动板的一条棱与滚轮外圆周所在的圆柱面相切。

3、进一步优化本技术方案，所述背板远离夹持柱的一侧的中央设置有轴孔，所述背板的一端设置有贯穿其两侧的第一定位孔，所述旋转板的一侧设置有与轴孔转动连接的转轴，所述旋转板的两端都设置有第二定位孔，该两个第二定位孔关于转轴对称分布，所述第一定位孔的轴线与转轴轴线之间的距离等于第二定位孔与转轴轴线之间的距离，还包括能同时插入第一定位孔和第二定位孔中以将旋转板固定的定位销。

4、进一步优化本技术方案，所述导向柱远离旋转板的一端设置有螺纹孔，所述阻挡帽的一侧设置有螺柱，所述螺柱与螺纹孔螺纹连接。

5、进一步优化本技术方案，所述定位销的一端设置有帽部，所述定位销靠近帽部的一端设置有外螺纹部，所述第一定位孔远离旋转板的一侧设置有内螺纹部。

6、与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：1、活动板与旋转板之间设置有弹簧，使得金刚石锉刀段能够向后退让，靶材材料的端部不容易开裂，此外，由于滚轮的存在，磨削过的背管处不会残留靶材材料；2、旋转板能够旋转180°，从而能使在修型加工完旋转靶材的一端后再加工另一端时不需要重新装夹本装置，比较方便。

技术特征：

1.一种旋转陶瓷靶材端部修型装置，其特征在于：包括背板(2)，所述背板(2)的一侧设置有夹持柱(21)，所述背板(2)的另一侧设置有旋转板(3)，所述旋转板(3)远离背板(2)的一侧设置有多个导向柱(33)，所述导向柱(33)滑动连接有活动板(5)，所述导向柱(33)的端部设置有防止活动板(5)掉落的阻挡帽(34)，所述旋转板(3)与活动板(5)之间设置有弹簧(4)，所述活动板(5)远离旋转板(3)的一侧设置有轴线平行于背管(1)轴线的滚轮(51)和延伸方向垂直于背管(1)轴线的金刚石锉刀段(52)，所述金刚石锉刀段(52)远离滚轮(51)的一侧其远离活动板(5)的一条棱与滚轮(51)外圆周所在的圆柱面相切。

2.根据权利要求1所述的一种旋转陶瓷靶材端部修型装置，其特征在于：所述背板(2)远离夹持柱(21)的一侧的中央设置有轴孔，所述背板(2)的一端设置有贯穿其两侧的第一定位孔(22)，所述旋转板(3)的一侧设置有与轴孔转动连接的转轴(31)，所述旋转板(3)的两端都设置有第二定位孔(32)，该两个第二定位孔(32)关于转轴(31)对称分布，所述第一定位孔(22)的轴线与转轴(31)轴线之间的距离等于第二定位孔(32)与转轴(31)轴线之间的距离，还包括能同时插入第一定位孔(22)和第二定位孔(32)中以将旋转板(3)固定的定位销(6)。

3.根据权利要求1-2任意一项所述的一种旋转陶瓷靶材端部修型装置，其特征在于：所述导向柱(33)远离旋转板(3)的一端设置有螺纹孔，所述阻挡帽(34)的一侧设置有螺柱，所述螺柱与螺纹孔螺纹连接。

4.根据权利要求2所述的一种旋转陶瓷靶材端部修型装置，其特征在于：所述定位销(6)的一端设置有帽部，所述定位销(6)靠近帽部的一端设置有外螺纹部，所述第一定位孔(22)远离旋转板(3)的一侧设置有内螺纹部。

技术总结
本技术涉及靶材加工设备技术领域，尤其涉及一种旋转陶瓷靶材端部修型装置。包括背板，所述述背板的一侧设置有夹持柱，所述背板的另一侧设置有旋转板，所述旋转板远离背板的一侧设置有多个导向柱，所述导向柱滑动连接有活动板，所述导向柱的端部设置有防止活动板掉落的阻挡帽，所述旋转板与活动板之间设置有弹簧，所述活动板远离旋转板的一侧设置有轴线平行于背管轴线的滚轮和延伸方向垂直于背管轴线的金刚石锉刀段，所述金刚石锉刀段远离滚轮的一侧其远离活动板的一条棱与滚轮外圆周所在的圆柱面相切。本技术在对靶材材料的端部进行修型加工时靶材材料的端部不容易开裂。

技术研发人员：施玉良
受保护的技术使用者：法柯特科技（江苏）有限公司
技术研发日：20230616
技术公布日：2024/1/15