一种真空腔体内推拉杆机构的制作方法

本技术属于镀膜设备，尤其涉及一种真空腔体内推拉杆机构。

背景技术：

1、真空技术可以满足提高产品质量和生产工艺要求的提高，应用较为广泛的真空镀膜技术，在真空中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜，一般的薄膜制备方式都需要经历抽真空、加热、镀膜等一系列过程，在镀膜之前将真空设备抽真空，完成镀膜工作，目前在真空设备中推拉杆机构多为磁耦合式或齿轮、齿条式，运行不稳定，基片在传递过程中偶尔发生掉片问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供结构简单的一种真空腔体内推拉杆机构。

2、为了实现本实用新型的目的，本实用新型所采用的技术方案为：利用直线导轨副组件控制推拉杆精确运动方向，链传动与减速机、伺服电机机构控制推拉杆移动距离，抓取块的特殊结构，解决掉片问题。

3、其具体技术方案为：

4、一种真空腔体内推拉杆机构，包括设置在壳体内的底板，壳体上固定电极法兰组件；在底板上固定竖安装板，竖安装板上固定真空专用直线导轨、从动轮组件；所述磁流体组件通过减速机连接伺服电机，传动组件连接磁流体组件，磁流体组件与主动轮组件连接；支撑连接块与真空专用直线导轨的滑块固定，支撑连接块与推拉杆、连接板固定，从动轮组件的底座和主动轮组件的底座均固定在连接板上；推拉杆固定抓取块，从动轮组件和主动轮组件之间通过链条连接。

5、上述技术方案中，所述竖安装板上还固定涨紧组件，涨紧组件位于链条之间。

6、上述技术方案中，所述涨紧组件包括中间轴连接的轴承，竖安装板上设置支撑柱，支撑柱上套件弹簧。

7、上述技术方案中，所述连接板竖截面是直角。

8、上述技术方案中，所述推拉杆设置抓取块，抓取块设置抓手。

9、本实用新型利用伺服电机软启动的特性，使基片在交接过程中运动更加平稳，满足基片交接要求，提高镀膜工艺的一次合格率。可有效提高磁控溅射、热蒸发、离子镀等镀膜工艺效率，对降低运行成本起到决定性作用。

技术特征：

1.一种真空腔体内推拉杆机构，其特征在于：包括设置在壳体内的底板，壳体上固定电极法兰组件；在底板上固定竖安装板，竖安装板上固定真空专用直线导轨、从动轮组件；从动轮组件和主动轮组件之间通过链条连接，磁流体组件与主动轮组件连接，所述磁流体组件通过减速机连接伺服电机，传动组件连接磁流体组件；支撑连接块与真空专用直线导轨的滑块固定，支撑连接块与推拉杆、连接板固定，从动轮组件的底座和主动轮组件的底座均固定在连接板上；推拉杆固定抓取块。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔体内推拉杆机构，其特征在于：所述竖安装板上还固定涨紧组件，涨紧组件位于链条之间。

3.根据权利要求2所述的一种真空腔体内推拉杆机构，其特征在于：所述涨紧组件包括中间轴连接的轴承，竖安装板上设置支撑柱，支撑柱上套件弹簧。

4.根据权利要求1所述的一种真空腔体内推拉杆机构，其特征在于：所述连接板竖截面是直角。

5.根据权利要求4所述的一种真空腔体内推拉杆机构，其特征在于：所述推拉杆设置抓取块，抓取块设置抓手。

技术总结
本技术公开一种真空腔体内推拉杆机构，包括设置在壳体内的底板，壳体上固定电极法兰组件；在底板上固定竖安装板，竖安装板上固定真空专用直线导轨、从动轮组件；磁流体组件连接伺服电机，传动组件连接磁流体组件，磁流体组件与主动轮组件连接；支撑连接块与真空专用直线导轨的滑块固定，支撑连接块与推拉杆、连接板固定，从动轮组件的底座和主动轮组件的底座均固定在连接板上；推拉杆固定抓取块，从动轮组件和主动轮组件之间通过链条连接。本技术使基片在交接过程中运动更加平稳，满足基片交接要求，提高镀膜工艺的一次合格率，可有效提高磁控溅射、热蒸发、离子镀等镀膜工艺效率，对降低运行成本起到决定性作用。

技术研发人员：董亮,任鸿庆,张军国
受保护的技术使用者：沈阳慧宇真空技术有限公司
技术研发日：20230619
技术公布日：2024/1/15