一种新型防污挡板机构的制作方法

本申请涉及离子源挡板，具体涉及一种新型防污挡板机构。

背景技术：

1、现在真空镀膜设备中，除去溅射阴极，多数设备根据工艺需求还需要配置离子源，离子源用于在镀膜前对产品进行预清洗；在连续性生产线中，溅射阴极和离子源前面均不需要配置挡板机构，但是在半连续镀膜设备、单体镀膜设备以及实验设备中，溅射阴极和离子源前面均会配置挡板机构，用于在不同工艺下，避免离子源、不同溅射阴极之间的污染。

2、传统技术中，离子源以及溅射阴极安装在腔体室壁上，挡板机构设置在真空室内，从真空腔体外部引入挡板转动传动机构，挡板机构与离子源、溅射阴极机构完全独立，挡板形状根据腔体形状而定，尺寸大小根据腔体内各部件的分布位置而定，挡板占用空间较大，若腔体内出现多阴极靶位、多离子源的情况下，则会出现彼此之间的挡板无法避让，或者挡板机构过于复杂。尤其是对于特殊类设备，离子源位置不在单体设备的圆筒壁上，而在平面封头上时，现有结构的挡板无法实现。

3、现有离子源应用受污染不可避免，受污染后要把离子源整体定期拆卸下来，进行清洗，表面打磨处理等工序，最后再重新组装，这样做不仅费事费力，影响生产效率，最重要的是对离子源的核心部分会有一定的损伤，影响离子源的使用效果及使用寿命。

技术实现思路

1、本申请为了解决上述技术问题，提供一种结构简单，占用空间小的新型防污挡板机构。

2、一种新型防污挡板机构，包括离子源，设于所述离子源上的驱动机构以及设于所述离子源上侧的挡板组件，所述挡板组件通过连接轴与所述驱动机构传动连接，所述驱动机构可驱动所述连接轴带动所述挡板组件旋转，以相对所述离子源呈展开状态和闭合状态。

3、如上所述的新型防污挡板机构，所述挡板组件包括相对设置的第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板分别通过连接轴与所述驱动机构传动连接，所述驱动机构可驱动所述连接轴带动所述第一挡板和所述第二挡板的远离所述连接轴的一端，绕所述连接轴轴向翻转，以相对所述离子源呈展开状态和闭合状态。

4、如上所述的新型防污挡板机构，所述连接轴一端与所述挡板组件连接，另一端设有用于限位所述挡板组件相对所述离子源呈闭合状态的限位机构。

5、如上所述的新型防污挡板机构，所述限位机构包括设于所述连接轴一端转动件，以及设于所述转动件一侧用于限位所述转动件的定位件，当所述转动件抵靠于所述定位件的下侧时，所述挡板组件相对所述离子源呈展开状态；当所述转动件抵靠于所述定位件的上侧时，所述挡板组件相对所述离子源呈闭合状态。

6、如上所述的新型防污挡板机构，所述第一挡板和所述第二挡板为对称设置，所述第一挡板和所述第二挡板均设有l型折弯部，所述折弯部与所述连接轴通过紧固件连接。

7、如上所述的新型防污挡板机构，所述驱动机构包括壳体，设于所述壳体内的驱动件以及与所述连接轴传动连接的传动组件，所述驱动件用于驱动所述传动组件转动并带动所述连接轴，以使所述挡板组件相对所述离子源呈展开状态和闭合状态。

8、如上所述的新型防污挡板机构，所述传动组件包括设于所述驱动件上的驱动轮，设于所述驱动轮一侧并与所述驱动轮传动连接的第二从动轮，设于所述第二从动轮远离所述驱动轮的一侧的第一从动轮以及设于所述驱动轮远离所述第二从动轮一侧的第三从动轮，所述第一从动轮和所述第三从动轮分别与连接轴连接。

9、如上所述的新型防污挡板机构，所述壳体上开设有连接口，所述连接轴穿设于所述连接口内并与所述传动组件连接。

10、如上所述的新型防污挡板机构，所述连接口与所述连接轴之间还设有轴承件。

11、与现有技术相比，本申请的有益效果如下：

12、本申请提供一种新型防污挡板机构，通过将挡板组件与驱动机构传动连接，将挡板组件的结构简单化，以使其占用空间较小，大大提高空间利用；通过增加离子源挡板，解决了离子源受靶材污染的问题，减少清洗离子源周期，提高了生产效率，保证产品质量；可以根据工艺要求，在镀膜过程中调节离子源的开口，更好地包裹离子源，保证溅射过程中离子源受到的污染大大减少；挡板机构和离子源机构集合在一起，不受真空腔体形状影响，对特殊类设备也适用，实用性高。

技术特征：

1.一种新型防污挡板机构，其特征在于：包括离子源(1)，设于所述离子源(1)上的驱动机构(3)以及设于所述离子源(1)上侧的挡板组件(2)，所述挡板组件(2)通过连接轴(4)与所述驱动机构(3)传动连接，所述驱动机构(3)可驱动所述连接轴(4)带动所述挡板组件(2)旋转，以相对所述离子源(1)呈展开状态和闭合状态；

2.根据权利要求1所述的新型防污挡板机构，其特征在于：所述挡板组件(2)包括相对设置的第一挡板(21)和第二挡板(22)，所述第一挡板(21)和所述第二挡板(22)分别通过连接轴(4)与所述驱动机构(3)传动连接，所述驱动机构(3)可驱动所述连接轴(4)带动所述第一挡板(21)和所述第二挡板(22)的远离所述连接轴(4)的一端，绕所述连接轴(4)轴向翻转，以相对所述离子源(1)呈展开状态和闭合状态。

3.根据权利要求1所述的新型防污挡板机构，其特征在于：所述连接轴(4)一端与所述挡板组件(2)连接，另一端设有用于限位所述挡板组件(2)相对所述离子源(1)呈闭合状态的限位机构(5)。

4.根据权利要求3所述的新型防污挡板机构，其特征在于：所述限位机构(5)包括设于所述连接轴(4)一端转动件(51)，以及设于所述转动件(51)一侧用于限位所述转动件(51)的定位件(50)，当所述转动件(51)抵靠于所述定位件(50)的下侧时，所述挡板组件(2)相对所述离子源(1)呈展开状态；当所述转动件(51)抵靠于所述定位件(50)的上侧时，所述挡板组件(2)相对所述离子源(1)呈闭合状态。

5.根据权利要求2所述的新型防污挡板机构，其特征在于：所述第一挡板(21)和所述第二挡板(22)为对称设置，所述第一挡板(21)和所述第二挡板(22)均设有l型折弯部(200)，所述折弯部(200)与所述连接轴(4)通过紧固件(23)连接。

6.根据权利要求5所述的新型防污挡板机构，其特征在于：所述传动组件(30)包括设于所述驱动件(31)上的驱动轮(301)，设于所述驱动轮(301)一侧并与所述驱动轮(301)传动连接的第二从动轮(302)，设于所述第二从动轮(302)远离所述驱动轮(301)的一侧的第一从动轮(303)以及设于所述驱动轮(301)远离所述第二从动轮(302)一侧的第三从动轮(304)，所述第一从动轮(303)和所述第三从动轮(304)分别与连接轴(4)连接。

7.根据权利要求5所述的新型防污挡板机构，其特征在于：所述壳体(32)上开设有连接口(320)，所述连接轴(4)穿设于所述连接口(320)内并与所述传动组件(30)连接。

8.根据权利要求7所述的新型防污挡板机构，其特征在于：所述连接口(320)与所述连接轴(4)之间还设有轴承件(6)。

技术总结
本申请提供一种新型防污挡板机构，包括离子源，设于所述离子源上的驱动机构以及设于所述离子源上侧的挡板组件，所述挡板组件通过连接轴与所述驱动机构传动连接，所述驱动机构可驱动所述连接轴带动所述挡板组件旋转，以相对所述离子源呈展开状态和闭合状态，通过将挡板组件与驱动机构传动连接，将挡板组件的结构简单化，以使其占用空间较小，大大提高空间利用；通过增加离子源挡板，解决了离子源受靶材污染的问题，减少清洗离子源周期，提高了生产效率，保证产品质量，保证溅射过程中离子源受到的污染大大减少；挡板机构和离子源机构集合在一起，不受真空腔体形状影响，对特殊类设备也适用，实用性高。

技术研发人员：李培东
受保护的技术使用者：广东生波尔光电技术有限公司
技术研发日：20230620
技术公布日：2024/3/24