防倒灌组件、真空系统及处理设备的制作方法

本技术涉及真空镀膜，特别是涉及一种防倒灌组件、真空系统及处理设备。

背景技术：

1、镀膜设备在镀膜时，工艺反应通常在反应腔中进行，而反应腔高度依赖真空泵获取真空反应环境，一旦真空泵因卡粉或者真空泵发生机械/电气等故障出现停机，大气将会自真空泵快速倒灌进入反应腔，破坏反应腔中的工艺反应，造成被镀器件的损坏，严重的还可能发生安全事故。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对真空泵卡粉或者异常停机时大气易发生倒灌进入反应腔而破坏工艺反应的问题，提供一种防倒灌组件、真空系统及处理设备。

2、一种防倒灌组件，包括：

3、本体，其上开设有流体通道；

4、导向件，安装于所述本体，并沿第一方向延伸；

5、封堵板，滑动安装于所述导向件，所述封堵板可沿所述第一方向滑动，以能够使所述流体通道在常开状态与暂闭状态之间切换；

6、其中，当所述流体通道处于所述常开状态时，所述流体通道允许流体正向流过，所述封堵板远离所述流体通道的第一通行口；当流体逆向流动时，所述封堵板封堵所述第一通行口，使所述流体通道从所述常开状态切换至所述暂闭状态，以阻止流体逆向流过所述流体通道。

7、在其中一个实施例中，所述封堵板能够在重力作用下远离所述第一通行口，使所述流体通道处于所述常开状态。

8、在其中一个实施例中，所述防倒灌组件还包括弹性件，所述弹性件连接所述封堵板与所述本体；

9、其中，所述封堵板能够在所述弹性件施加的弹力作用下远离所述第一通行口，使所述流体通道处于所述常开状态；当流体逆向流动时，所述封堵板能够受到外部作用力，克服所述弹性件的弹力封堵所述第一通行口，以使所述流体通道从所述常开状态切换至所述暂闭状态。

10、在其中一个实施例中，当流体逆向流动时，流体在逆向的压力大于正向的压力并产生压力差，所述封堵板能够在所述压力差作用下封堵所述第一通行口，以使所述流体通道从所述常开状态切换至所述暂闭状态。

11、在其中一个实施例中，所述本体包括主体及安装架，所述主体在轴向上贯穿设有容纳腔，所述安装架设于所述容纳腔内并与所述主体的内壁相连，所述导向件与所述安装架相连并收容于所述容纳腔中；

12、其中，所述安装架开设有所述第一通行口，以沿所述第一方向形成所述流体通道，所述第一方向与所述主体的轴向相平行。

13、在其中一个实施例中，所述导向件与所述安装架螺纹连接。

14、在其中一个实施例中，所述第一通行口至少有两个；

15、所述流体通道的第一通行口环绕所述导向件均匀分布于所述安装架。

16、在其中一个实施例中，所述防倒灌组件还包括密封件，所述密封件设于所述本体和/或所述封堵板上，当所述流体通道处于所述暂闭状态时，所述密封件与所述本体和/或所述封堵板配合，密封所述流体通道。

17、一种真空系统，包括反应腔、真空泵及如上述任一项所述的防倒灌组件，所述防倒灌组件设于所述反应腔与所述真空泵之间；

18、当所述流体通道处于所述常开状态时，所述真空泵能够提供使得流体经所述反应腔正向流过所述流体通道的驱动力。

19、一种处理设备，包括上述所述的真空系统。

20、上述防倒灌组件、真空系统及处理设备，当应用于镀膜设备中时，在真空泵的作用下，反应腔中的气体能够经流体通道正向流出，而当真空泵卡粉或者出现故障时，封堵板能够使得流体通道从常开状态切换至暂闭状态，封堵板阻挡外界气体逆向流动至反应腔中，保证了反应腔中工艺反应的正常进行，不会导致被镀器件损坏。同时，导向件起到了导向封堵板的作用，避免了封堵板在运动过程中跑偏，有效保证防倒灌效果和生产安全。

技术特征：

1.一种防倒灌组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的防倒灌组件，其特征在于，所述封堵板(30)能够在重力作用下远离所述第一通行口(111)，使所述流体通道(11)处于所述常开状态。

3.根据权利要求1所述的防倒灌组件，其特征在于，所述防倒灌组件还包括弹性件(50)，所述弹性件(50)连接所述封堵板(30)与所述本体(10)；

4.根据权利要求1-3任一项所述的防倒灌组件，其特征在于，当流体逆向流动时，流体在逆向的压力大于正向的压力并产生压力差，所述封堵板(30)能够在所述压力差作用下封堵所述第一通行口(111)，以使所述流体通道(11)从所述常开状态切换至所述暂闭状态。

5.根据权利要求1所述的防倒灌组件，其特征在于，所述本体(10)包括主体(12)及安装架(13)，所述主体(12)在轴向上贯穿设有容纳腔(121)，所述安装架(13)设于所述容纳腔(121)内并与所述主体(12)的内壁相连，所述导向件(20)与所述安装架(13)相连并收容于所述容纳腔(121)中；

6.根据权利要求5所述的防倒灌组件，其特征在于，所述导向件(20)与所述安装架(13)螺纹连接。

7.根据权利要求5所述的防倒灌组件，其特征在于，所述第一通行口(111)至少有两个；所述第一通行口(111)环绕所述导向件(20)均匀分布于所述安装架(13)。

8.根据权利要求1所述的防倒灌组件，其特征在于，所述防倒灌组件还包括密封件(40)，所述密封件(40)设于所述本体(10)和/或所述封堵板(30)上，当所述流体通道(11)处于所述暂闭状态时，所述密封件(40)与所述本体(10)和/或所述封堵板(30)配合，密封所述流体通道(11)。

9.一种真空系统，其特征在于，包括反应腔、真空泵及如权利要求1-8任一项所述的防倒灌组件，所述防倒灌组件设于所述反应腔与所述真空泵之间；

10.一种处理设备，其特征在于，包括如权利要求9所述的真空系统。

技术总结
本技术涉及一种防倒灌组件、真空系统及处理设备，包括：本体，其上开设有流体通道；导向件，安装于本体，并沿第一方向延伸；封堵板，滑动安装于导向件，封堵板可沿第一方向滑动，以能够使流体通道在常开状态与暂闭状态之间切换；当流体通道处于常开状态时，流体通道允许流体正向流过，封堵板远离流体通道的第一通行口；当流体逆向流动时，封堵板封堵第一通行口，使流体通道从常开状态切换至暂闭状态以阻止流体逆向流过流体通道。在真空泵作用下，反应腔中的气体能够经流体通道正向流出，而当真空泵卡粉或者出现故障时，封堵板能够使得流体通道从常开状态切换至暂闭状态，以阻挡外界气体逆向流动至反应腔中，防止工件损坏并保证生产安全。

技术研发人员：高世松,李挺,徐兴文,严大
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：20230621
技术公布日：2024/1/15