一种用于纤维丝镀膜设备的装置的制作方法

本技术涉及一种用于纤维丝镀膜设备的装置。

背景技术：

1、在现有的纤维丝磁控溅射镀膜设备中，主要是通过2个平面阴极相对安装的结构来实现。其主要缺点为溅射的时候，很多溅射物会溅射到其它地方，导致腔体污染很快，更换周期短，增加了生产成本。

技术实现思路

1、本实用新型针对上述问题，提供一种用于纤维丝镀膜设备的装置，能最大限度提高靶材利用率，并有效的提高靶材的溅射效率。

2、为此，本实用新型采取如下技术方案：一种用于纤维丝镀膜设备的装置，包括壳体，壳体的两端安装固定法兰，其特征在于所述的壳体内设置桶状结构的阴极体组件，所述的阴极体组件包括磁轭，磁轭上均匀间隔布置多个磁铁，相邻布置的两个磁铁磁极相反，所述的纤维丝布置在阴极体组件的中心区域，从入口法兰处穿过阴极体组件，从出口法兰处引出。

3、作为优选，所述桶状结构的截面呈跑道形。

4、作为优选，所述磁轭的内壁贴靠设置冷却水路板，所述的冷却水路板连通冷却水嘴，所述的冷却水嘴穿出外露于固定法兰。

5、作为优选，所述的冷却水路板的内侧布置桶状的靶材。

6、作为优选，所述靶材的内侧布置铜背板。

7、作为优选，所述的阴极体组件整体加上300-500v的负电压。

8、作为优选，所述的壳体为不锈钢材质。

9、本实用新型的有益效果如下：通过磁场模拟，将平面阴极的磁场重新设定与定义，建立新的磁场模式，采用桶状的阴极结构，有效了避免了靶材的浪费，多个环状的溅射等离子体发生与传统的条形的磁控溅射跑道布置不同，充分利用立体空间实现了磁场的回旋。打破了长期以来磁控溅射都是沿着靶材长度方向布置跑道的习惯，通过移动靶材的方法，可以最大限度提高靶材利用率。并有效的提高靶材的溅射效率。

技术特征：

1.一种用于纤维丝镀膜设备的装置，包括壳体(4)，壳体的两端安装固定法兰，其特征在于所述的壳体(4)内设置桶状结构的阴极体组件，所述的阴极体组件包括磁轭(5)，磁轭(5)上均匀间隔布置多个磁铁(6)，相邻布置的两个磁铁(6)磁极相反，所述的纤维丝(10)布置在阴极体组件的中心区域，从入口法兰处穿过阴极体组件，从出口法兰处引出。

2.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述桶状结构的截面呈跑道形。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述磁轭(5)的内壁贴靠设置冷却水路板(7)，所述的冷却水路板连通冷却水嘴(3)，所述的冷却水嘴穿出外露于固定法兰。

4.根据权利要求3所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述冷却水路板(7)的内侧布置桶状的靶材(1)。

5.根据权利要求4所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述靶材(1)的内侧布置铜背板(8)。

6.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述的阴极体组件整体加上300-500v的负电压。

7.根据权利要求1所述的一种用于纤维丝镀膜设备的装置，其特征在于所述的壳体(4)为不锈钢材质。

技术总结
本技术涉及一种用于纤维丝镀膜设备的装置。现有的纤维丝磁控溅射镀膜设备中，很多溅射物会溅射到其它地方，导致腔体污染很快，更换周期短，增加了生产成本。本技术包括壳体，壳体的两端安装固定法兰，其特征在于所述的壳体内设置桶状结构的阴极体组件，所述的阴极体组件包括磁轭，磁轭上均匀间隔布置多个磁铁，相邻布置的两个磁铁磁极相反，所述的纤维丝布置在阴极体组件的中心区域，从入口法兰处穿过阴极体组件，从出口法兰处引出。本技术能最大限度提高靶材利用率，并有效的提高靶材的溅射效率。

技术研发人员：文继志,高畅
受保护的技术使用者：晓睿真空设备（嘉兴）有限公司
技术研发日：20230629
技术公布日：2024/1/5