上料装置以及真空镀膜设备的制作方法

本技术涉及真空镀膜，特别涉及一种上料装置以及真空镀膜设备。

背景技术：

1、靶材是镀膜工艺中不可或缺的溅射源，在进行真空镀膜的过程中需要通过上料装置的顶杆持续地添加靶材。因此，顶杆需要耐高温，并且与靶材接触需要绝缘等特性。相关技术中，顶杆由脆性非金属材料制成。然而，脆性非金属工件在安装固定过程中容易碎裂。因此导致上料装置的制造成本以及维护成本较高。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种上料装置，能够降低上料装置的制造成本以及维护成本。

2、本实用新型还提供了一种包括上述上料装置的真空镀膜设备。

3、根据本实用新型的第一方面实施例的上料装置，包括：顶杆以及驱动机构。

4、顶杆，所述顶杆包括推杆以及支撑件，所述推杆与所述支撑件为分体式结构，所述支撑件连接于所述推杆，并用于承载靶材，所述推杆由高强度耐高温材料制成，所述支撑件由耐高温绝缘材料制成，所述驱动机构连接于所述推杆，用于驱动所述顶杆移动，以输送靶材。

5、根据本实用新型实施例的上料装置，至少具有如下有益效果：

6、顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，其中支撑件为耐高温绝缘材料制成，用于支撑靶材，以使顶杆与靶材绝缘，并满足镀膜工艺的高温需求。驱动机构连接于推杆，由于推杆由耐高温高强度材料制成，以使得推杆在安装过程中不易损坏。因此，顶杆中的支撑件与推杆根据不同的使用要求选用不同的材料制成，以使顶杆在满足耐高温，以及与靶材绝缘的前提下，安装方便不易损坏，从而降低上料装置的制造成本以及维护成本。

7、根据本实用新型的一些实施例，所述支撑件与所述推杆可拆卸连接。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述支撑件具有安装孔，所述推杆具有安装部，所述安装部连接于所述安装孔内。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述安装部的直径小于所述安装孔的直径，所述安装部还具有第一连接孔，所述第一连接孔贯穿所述安装部，所述支撑件还具有与所述安装孔连通的第二连接孔，所述顶杆还包括锁紧件；

10、所述锁紧件穿设于所述第二连接孔，并连接于所述第一连接孔内，且所述锁紧件抵紧于所述支撑件的外壁；或者，

11、所述锁紧件能够穿过所述第二连接孔以伸入所述第一连接孔，且所述锁紧件自所述第一连接孔背离所述第二连接孔的一端凸出以抵紧所述支撑件的内壁。

12、根据本实用新型的一些实施例，所述上料装置还包括均力件，所述均力件夹持于所述安装孔的内壁与所述安装部之间，所述锁紧件抵持于所述均力件。

13、根据本实用新型的一些实施例，所述均力件套设于所述安装部的外部，所述均力件具有缺口，所述缺口位于所述第一连接孔的一端开口处，所述锁紧件能够自所述缺口穿过并伸入所述第一连接孔。

14、根据本实用新型的一些实施例，所述上料装置还包括支架，所述支架具有导向孔，所述驱动机构安装于所述支架，所述驱动机构还包括移动件，所述顶杆的一端连接于所述移动件，另一端穿设于所述导向孔。

15、根据本实用新型的一些实施例，所述上料装置还包括柔性套，所述柔性套套设于所述顶杆的外部，且所述柔性套的一端与所述支架密封连接，另一端与所述移动件密封连接，所述柔性套能够随所述移动件的移动而压缩或者伸展。

16、根据本实用新型的一些实施例，所述推杆沿长度方向包括相互连接的第一段和第二段，所述支撑件连接于所述第一段，所述第一段的直径小于所述第二段的直径。

17、根据本实用新型的第二方面实施例的真空镀膜设备，包括：第一方面实施例所述的上料装置。

18、根据本实用新型实施例的真空镀膜设备，至少具有如下有益效果：

19、采用第一方面实施例的顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，其中支撑件为耐高温绝缘材料制成，用于支撑靶材，以使顶杆与靶材绝缘。驱动机构连接于推杆，由于推杆由耐高温高强度材料制成，以使得推杆在安装过程中安装不易损坏。因此，顶杆中的支撑件与推杆根据不同的使用要求选用不同的材料制成，而无需采用同种材料加工形成一体式结构。以使顶杆在满足耐高温，以及与靶材绝缘的前提下，安装方便不易损坏，从而降低上料装置的制造成本以及维护成本。

20、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.上料装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的上料装置，其特征在于，所述支撑件与所述推杆可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的上料装置，其特征在于，所述支撑件具有安装孔，所述推杆具有安装部，所述安装部连接于所述安装孔内。

4.根据权利要求3所述的上料装置，其特征在于，所述安装部的直径小于所述安装孔的直径，所述安装部还具有第一连接孔，所述支撑件还具有与所述安装孔连通的第二连接孔，所述顶杆还包括锁紧件；

5.根据权利要求4所述的上料装置，其特征在于，所述上料装置还包括均力件，所述均力件夹持于所述安装孔的内壁与所述安装部之间，所述锁紧件抵持于所述均力件。

6.根据权利要求5所述的上料装置，其特征在于，所述均力件套设于所述安装部的外部，所述均力件具有缺口，所述缺口位于所述第一连接孔的一端开口处，所述锁紧件能够自所述缺口穿过并伸入所述第一连接孔。

7.根据权利要求1所述的上料装置，其特征在于，所述上料装置还包括支架，所述支架具有导向孔，所述驱动机构安装于所述支架，所述驱动机构还包括移动件，所述顶杆的一端连接于所述移动件，另一端穿设于所述导向孔。

8.根据权利要求7所述的上料装置，其特征在于，所述上料装置还包括柔性套，所述柔性套套设于所述顶杆的外部，且所述柔性套的一端与所述支架密封连接，另一端与所述移动件密封连接，所述柔性套能够随所述移动件的移动而压缩或者伸展。

9.根据权利要求1所述的上料装置，其特征在于，所述推杆沿长度方向包括相互连接的第一段和第二段，所述支撑件连接于所述第一段，所述第一段的直径小于所述第二段的直径。

10.真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的上料装置。

技术总结
本技术公开了一种上料装置以及真空镀膜设备，其中上料装置包括：顶杆以及驱动机构。顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，支撑件连接于推杆，用于承载靶材，推杆由耐高温高强度的材料制成，支撑件为耐高温绝缘结构，驱动机构连接于推杆，用于驱动顶杆移动，以输送靶材。由于支撑件为耐高温绝缘材料制成，使得顶杆能够与靶材绝缘。由于推杆由耐高温高强度材料制成，使得推杆在安装过程中安装不易损坏。因此，顶杆中的支撑件与推杆根据不同的使用要求选用不同的材料制成，而无需采用同种材料加工形成一体式结构。以使顶杆在满足耐高温，以及与靶材绝缘的前提下，安装方便不易损坏，从而降低上料装置的制造成本以及维护成本。

技术研发人员：余仲,葛光星,王应斌,张凡
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：20230706
技术公布日：2024/2/19