一种新型8寸晶圆用研磨机的制作方法

本技术涉及研磨机，具体为一种新型8寸晶圆用研磨机。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品；晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。

2、晶圆在生产加工的时候需要用到研磨机进行打磨，研磨时要利用研磨机上的夹持机构将晶圆夹住，然后用打磨头对晶圆进行打磨，但是现有的设备大多是打磨头固定安装在继续上或者用螺丝进行拧动，当打磨器损坏或者检修的时候，需要松动螺丝，螺丝过多且容易生锈不好拧出，比较费时间，于是，有鉴于此，针对现有的结构不足予以研究改良，提出一种新型8寸晶圆用研磨机。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种新型8寸晶圆用研磨机，以解决上述背景技术中提出的打磨头更换不便问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型8寸晶圆用研磨机，包括底板，所述底板的顶端固定连接有支架，所述支架的底端固定连接有液压杆，所述液压杆的底端固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有旋转杆，所述旋转杆的底端固定连接有安装板，所述安装板的底端卡合连接有打磨头，所述打磨头的顶端固定连接有卡块，所述安装板的外壁固定连接有弹簧，所述弹簧远离安装板一端固定连接有推块，所述推块的侧壁固定连接有手柄，所述推块的侧壁固定连接滑块，所述滑块的底端抵接有受力块，所述受力块的底端固定连接有连接块，所述连接块的侧壁固定连接有紧固块。

3、优选的，所述底板的底端固定连接有固定板，所述固定板的侧壁固定连接还有固定杆，所述底板的底端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的输出端固定连接有与固定杆外壁滑动连接的滑板，所述滑板的侧壁固定连接有连接板，所述连接板的底端固定连接有齿条，所述齿条的侧壁啮合连接有与底板固定连接的齿轮，所述连接板的顶端固定连接有竖板，所述竖板的侧壁固定连接有夹具，所述夹具的侧壁夹持连接有晶圆，所述底板的顶端固定连接有遮挡板。

4、优选的，所述紧固块通过滑块和受力块与卡块之间构成卡合结构。

5、优选的，所述滑块与受力块的接触面呈倾斜状。

6、优选的，所述卡块设置有六组，六组所述卡块的位置关系关于安装板的中心对称分布。

7、优选的，所述连接板通过伸缩杆和滑板与固定杆构成滑动结构。

8、优选的，所述齿条设置有两组，所述两组齿条的位置关于齿轮的侧壁平行分布。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1.本实用新型通过设置卡块和紧固块，当打磨头需要更换时，首先拉动手柄，通过手柄拉动推块克服弹簧的弹力，由于滑块和受力块的接触面呈倾斜状，所以滑块的上下移动可以带动受力块左右移动，通过连接块，使受力块在移动的同时能够推动连接块和紧固块进行同方向的移动，当紧固块远离卡块的两端时，卡块就可以放进或者取出安装板内部的凹槽中，方便对打磨头的固定和拆卸。

11、2.本实用新型通过设置齿条和齿轮，将晶圆放进夹具中，需要启动伸缩杆带动滑板沿着底板的底端进行滑动，同时连接板也会随着滑板的滑动沿着固定杆的外壁进行左右滑动，通过设置固定杆，避免了工作时连接板滑动不稳的状况发生，当连接板移动时，通过设置竖板，夹具会随着连接板同方向滑动，同时通过齿条和齿轮拉动另一侧的齿条进行相对运动，对晶圆进行一个夹持固定的作用。

技术特征：

1.一种新型8寸晶圆用研磨机，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶端固定连接有支架(2)，所述支架(2)的底端固定连接有液压杆(3)，所述液压杆(3)的底端固定连接有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定连接有旋转杆(5)，所述旋转杆(5)的底端固定连接有安装板(6)，所述安装板(6)的底端卡合连接有打磨头(7)，所述打磨头(7)的顶端固定连接有卡块(8)，所述安装板(6)的外壁固定连接有弹簧(9)，所述弹簧(9)远离安装板(6)一端固定连接有推块(10)，所述推块(10)的侧壁固定连接有手柄(11)，所述推块(10)的侧壁固定连接滑块(12)，所述滑块(12)的底端抵接有受力块(13)，所述受力块(13)的底端固定连接有连接块(14)，所述连接块(14)的侧壁固定连接有紧固块(15)。

2.根据权利要求1所述的一种新型8寸晶圆用研磨机，其特征在于：所述底板(1)的底端固定连接有固定板(16)，所述固定板(16)的侧壁固定连接还有固定杆(17)，所述底板(1)的底端固定连接有伸缩杆(18)，所述伸缩杆(18)的输出端固定连接有与固定杆(17)外壁滑动连接的滑板(19)，所述滑板(19)的侧壁固定连接有连接板(20)，所述连接板(20)的底端固定连接有齿条(21)，所述齿条(21)的侧壁啮合连接有与底板(1)固定连接的齿轮(22)，所述连接板(20)的顶端固定连接有竖板(23)，所述竖板(23)的侧壁固定连接有夹具(24)，所述夹具(24)的侧壁夹持连接有晶圆(25)，所述底板(1)的顶端固定连接有遮挡板(26)。

3.根据权利要求1所述的一种新型8寸晶圆用研磨机，其特征在于：所述紧固块(15)通过滑块(12)和受力块(13)与卡块(8)之间构成卡合结构。

4.根据权利要求1所述的一种新型8寸晶圆用研磨机，其特征在于：所述滑块(12)与受力块(13)的接触面呈倾斜状。

5.根据权利要求1所述的一种新型8寸晶圆用研磨机，其特征在于：所述卡块(8)设置有六组，六组所述卡块(8)的位置关系关于安装板(6)的中心对称分布。

6.根据权利要求2所述的一种新型8寸晶圆用研磨机，其特征在于：所述连接板(20)通过伸缩杆(18)和滑板(19)与固定杆(17)构成滑动结构。

7.根据权利要求2所述的一种新型8寸晶圆用研磨机，其特征在于：所述齿条(21)设置有两组，所述两组齿条(21)的位置关于齿轮(22)的侧壁平行分布。

技术总结
本技术公开了一种新型8寸晶圆用研磨机，涉及研磨机技术领域，包括底板，所述底板的顶端固定连接有支架，所述支架的底端固定连接有液压杆，所述液压杆的底端固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有旋转杆，所述旋转杆的底端固定连接有安装板，本技术通过设置卡块和紧固块，当打磨头需要更换时，首先拉动手柄，通过手柄拉动推块克服弹簧的弹力，由于滑块和受力块的接触面呈倾斜状，所以滑块的上下移动可以带动受力块左右移动，通过连接块，使受力块在移动的同时能够推动连接块和紧固块进行同方向的移动，当紧固块远离卡块的两端时，卡块就可以放进或者取出安装板内部的凹槽中，方便对打磨头的固定和拆卸。

技术研发人员：吴俊宽,林君豫
受保护的技术使用者：无锡市稳芯电子科技有限公司
技术研发日：20230712
技术公布日：2024/4/17