一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器的制作方法

本技术主要涉及pi/pet/pp膜加工设备的，具体为一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器。

背景技术：

1、业界制作复合集流体，常用设备为使用一台磁控溅射设备在3.5-6微米的pi/pet/pp膜双面均溅射一层打底层（氧化物）然后双面溅射薄薄的一层铜，作为水镀的电极层，再将双面溅镀的膜，放入卷对卷水平镀铜线进行加厚镀至每面1微米厚；但是，现有技术操作复杂，操作流程较多，导致pi/pet/pp膜加工效率下降，同时，双面溅镀的膜转入卷对卷水平镀铜线进行加厚镀的转运过程中，容易受到外界因素影响，导致pi/pet/pp膜整体的加工质量下降。因此，我们提供一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器来解决现有技术存在的缺陷。

技术实现思路

1、本实用新型主要提供了一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，用以解决上述背景技术中提出的技术问题。

2、本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：

3、一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，包括底柜，所述底柜顶部左侧固定连接有密封箱，所述密封箱前侧转动连接有密封盖，所述密封箱内部设有放卷轮，所述密封箱内部且位于放卷轮上方设有收卷轮，所述放卷轮与收卷轮之间设有pi/pet/pp膜，所述底柜顶部且位于密封箱右侧固定连接有真空沉积孵化器壳体，所述真空沉积孵化器壳体内部从左往右依次设有腔体一、腔体二和腔体三，所述腔体一内部固定连接有两个呈对称设置的射频电源，所述腔体一内部且位于两个射频电源上方固定连接有磁控溅射靶座，两个所述射频电源相对一侧均固定连接有靶座，所述腔体二内部固定连接有两组呈上下设置的高频感应蒸发坩埚，所述高频感应蒸发坩埚上侧固定连接有飞弧溅射靶座，所述飞弧溅射靶座上侧固定连接有电子枪，所述腔体三内部底端固定连接有磁控溅射靶座，所述真空沉积孵化器壳体内部设有多组呈对称设置的导向辊。

4、进一步的，所述放卷轮外侧绕设的pi/pet/pp膜通过多组导向辊穿插过腔体一、腔体二和腔体三与收卷轮固定连接，所述pi/pet/pp膜分别穿插过相对称设置的靶座之间，且所述磁控溅射靶座共设有两个，每个所述磁控溅射靶座输出端均朝向正上方。

5、进一步的，所述放卷轮内部活动插接有旋转圆杆，所述旋转圆杆后端与密封箱后侧内壁固定连接，所述收卷轮内部活动插接有方形杆，所述密封箱后侧内壁固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端与方形杆后端固定连接。

6、进一步的，所述pi/pet/pp膜的厚度在3.5-6微米之间。

7、进一步的，所述底柜前侧底部通过合页转动连接有柜门，所述底柜前侧且位于柜门上方固定连接有控制单元。

8、进一步的，所述真空沉积孵化器壳体前侧转动连接有密封顶盖，所述真空沉积孵化器壳体后侧固定连接有真空管，所述真空管外侧固定套设有真空泵。

9、进一步的，所述真空管分别与腔体一、腔体二和腔体三内部连通。

10、本实用新型的有益效果为：

11、本实用新型通过腔体一、腔体二和腔体三一体化配合使用，pi/pet/pp膜通过放卷轮放出，并将pi/pet/pp膜源头与收卷轮连接，通过转动收卷轮实现pi/pet/pp膜的收卷，通过启动真空泵在真空管的作用下，将腔体一、腔体二和腔体三内部抽成真空状态，在真空状态下，当pi/pet/pp膜进入腔体一内部时，通过安装射频电源和靶座，对3.5-6微米的pi/pet/pp膜双面均溅射一层打氧化物底层然后双面溅射薄薄的一层铜后进入腔体二内部，再依次经过腔体三、腔体二和腔体一最后返回进入密封箱内部，腔体二内部安装的飞弧溅射靶座、高频感应蒸发坩埚和电子枪一步到位进行加厚镀至每面1微米厚后，通过腔体三和腔体一内部安装的磁控溅射靶座对腔体二完成的镀铜层进行致密表层加工，控制达因值在32-45之间，通过采用一步到位方法，制作多腔一体真空沉积孵化器对膜进行加工，提高膜的加工效率，保证膜整体的加工质量。

技术特征：

1.一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，包括底柜（1），其特征在于：所述底柜（1）顶部左侧固定连接有密封箱（108），所述密封箱（108）前侧转动连接有密封盖（109），所述密封箱（108）内部设有放卷轮（104），所述密封箱（108）内部且位于放卷轮（104）上方设有收卷轮（105），所述放卷轮（104）与收卷轮（105）之间设有pi/pet/pp膜（106），所述底柜（1）顶部且位于密封箱（108）右侧固定连接有真空沉积孵化器壳体（5），所述真空沉积孵化器壳体（5）内部从左往右依次设有腔体一（2）、腔体二（3）和腔体三（4），所述腔体一（2）内部固定连接有两个呈对称设置的射频电源（201），所述腔体一（2）内部且位于两个射频电源（201）上方固定连接有磁控溅射靶座（401），两个所述射频电源（201）相对一侧均固定连接有靶座（202），所述腔体二（3）内部固定连接有两组呈上下设置的高频感应蒸发坩埚（301），所述高频感应蒸发坩埚（301）上侧固定连接有飞弧溅射靶座（302），所述飞弧溅射靶座（302）上侧固定连接有电子枪（303），所述腔体三（4）内部底端固定连接有磁控溅射靶座（401），所述真空沉积孵化器壳体（5）内部设有多组呈对称设置的导向辊（107）。

2.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述放卷轮（104）外侧绕设的pi/pet/pp膜（106）通过多组导向辊（107）穿插过腔体一（2）、腔体二（3）和腔体三（4）与收卷轮（105）固定连接，所述pi/pet/pp膜（106）分别穿插过相对称设置的靶座（202）之间，且所述磁控溅射靶座（401）共设有两个，每个所述磁控溅射靶座（401）输出端均朝向正上方。

3.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述放卷轮（104）内部活动插接有旋转圆杆（103），所述旋转圆杆（103）后端与密封箱（108）后侧内壁固定连接，所述收卷轮（105）内部活动插接有方形杆（111），所述密封箱（108）后侧内壁固定连接有驱动电机（110），所述驱动电机（110）输出端与方形杆（111）后端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述pi/pet/pp膜（106）的厚度在3.5-6微米之间。

5.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述底柜（1）前侧底部通过合页转动连接有柜门（101），所述底柜（1）前侧且位于柜门（101）上方固定连接有控制单元（102）。

6.根据权利要求1所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述真空沉积孵化器壳体（5）前侧转动连接有密封顶盖（501），所述真空沉积孵化器壳体（5）后侧固定连接有真空管（502），所述真空管（502）外侧固定套设有真空泵（503）。

7.根据权利要求6所述的一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，其特征在于：所述真空管（502）分别与腔体一（2）、腔体二（3）和腔体三（4）内部连通。

技术总结
本技术提供了一种新能源复合箔材多腔一体真空沉积孵化器，包括底柜，所述底柜顶部左侧固定连接有密封箱，所述密封箱前侧转动连接有密封盖，所述密封箱内部设有放卷轮，所述密封箱内部且位于放卷轮上方设有收卷轮，所述放卷轮与收卷轮之间设有PI/PET/PP膜，所述底柜顶部且位于密封箱右侧固定连接有真空沉积孵化器壳体，所述真空沉积孵化器壳体内部从左往右依次设有腔体一、腔体二和腔体三，本技术通过腔体一、腔体二和腔体三一体化配合使用，通过采用一步到位方法，制作多腔一体真空沉积孵化器对膜进行加工，提高膜的加工效率，保证膜整体的加工质量。

技术研发人员：沈晓宇,戴兴根,沈敏华,胡飞艳,贾廷平,王修雄
受保护的技术使用者：浙江东尼电子股份有限公司
技术研发日：20230712
技术公布日：2024/1/15