一种蒸发镀膜机的制作方法

本技术涉及蒸发镀膜，具体为一种蒸发镀膜机。

背景技术：

1、蒸发镀膜机是一种用于薄膜镀膜的设备。薄膜镀膜是一种常见的表面处理技术，通过将薄膜材料以固体形态加热至其蒸发温度，使其转变为气相，然后在待处理物体表面冷凝形成薄膜层。蒸发镀膜机的基本组成包括以下几个部分：真空腔体、加热源、蒸发源和控制系统。

2、蒸发镀膜机可用于制备各种薄膜材料，如金属膜、氧化物膜、氮化物膜等，常应用于光学、电子、显示器件等领域。它具有高精度、可重复性好的特点，可满足不同应用的要求。在进行真空蒸发镀膜时，蒸发装置上的靶材蒸发会由于基片的摆放位置影响附着厚度，且基片进行往复运动的稳定性较差，进而导致镀膜不够均匀的情况出现；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种蒸发镀膜机。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种蒸发镀膜机，具备摆放位置工整、往复运动稳定性高的有益效果，解决了上述背景技术中所提到传统的真空蒸发镀膜设备在对靶材进行蒸发时，会由于基片的摆放位置及往复运动稳定性影响附着厚度，进而导致镀膜不够均匀的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种蒸发镀膜机，包括真空腔体和蒸发镀膜组件，真空腔体的内腔底部安装有蒸发镀膜组件，所述真空腔体还包括移动控制组件，所述移动控制组件设置在真空腔体的内部一侧，所述移动控制组件包括方位调控部件，所述方位调控部件的一侧底部安装有摆放部件；

3、所述蒸发镀膜组件包括加热源，所述加热源的顶部安装有蒸发源，所述蒸发源的顶部还开设有若干组投射孔。

4、作为本实用新型所述蒸发镀膜机的一种可选方案，其中：所述真空腔体的内部开设有气密空腔，所述气密空腔的内壁一侧设置有两组水平滑轨。

5、作为本实用新型所述蒸发镀膜机的一种可选方案，其中：所述方位调控部件包括水平移动箱，所述水平移动箱的一侧设置有升降调节器。

6、作为本实用新型所述蒸发镀膜机的一种可选方案，其中：所述升降调节器包括升降滑轨，所述升降滑轨安装在水平移动箱的一侧，所述升降滑轨的外侧滑动连接有转移托架。

7、作为本实用新型所述蒸发镀膜机的一种可选方案，其中：所述转移托架的底部一侧开设有t型卡槽，所述转移托架靠近t型卡槽的内部两侧还开设有若干组第一固定孔。

8、作为本实用新型所述蒸发镀膜机的一种可选方案，其中：所述摆放部件包括支撑板件，所述支撑板件的一端设置有t型卡板，所述t型卡板与t型卡槽结构相匹配，所述t型卡板与t型卡槽之间为卡接配合，所述支撑板件靠近t型卡板的一端顶部还开设有若干组第二固定孔，所述第二固定孔与第一固定孔构造相同。

9、作为本实用新型所述蒸发镀膜机的一种可选方案，其中：所述支撑板件的底端安装有连接板片，所述连接板片与支撑板件的中部之间连接有两组减震器，所述连接板片的底部还设置有镀膜基片。

10、作为本实用新型所述蒸发镀膜机的一种可选方案，其中：所述水平移动箱的背部开设有两组限位滑槽，所述限位滑槽与水平滑轨结构相匹配，两组所述限位滑槽的内部两侧分别传动连接有移动滚轮，所述移动滚轮与水平滑轨之间为滚动接触。

11、本实用新型具备以下有益效果：

12、1、该蒸发镀膜机，在使用时，通过在气密空腔内壁一侧加装的两组水平滑轨，以及在水平移动箱背部开设的两组限位滑槽，可以将移动控制组件限位在真空腔体的内壁一侧，通过在两组限位滑槽内部两侧分别传动连接的移动滚轮，因移动滚轮与水平滑轨之间为滚动接触，当移动滚轮被电机等驱动部件进行顺时针方向或者逆时针方向传动时，限位在真空腔体内壁一侧的移动控制组件可以进行往复位移运动，通过上述可知，通过对电机等驱动部件匀速的控制，可以有效的提升移动控制组件在真空腔体内壁一侧往复位移的稳定性和均匀性，以此来解决该蒸发装置上的靶材蒸发因镀膜基片的往复运动稳定性较差而导致镀膜不够均匀的问题。

13、2、该蒸发镀膜机，在使用时，通过在水平移动箱一侧加装的升降滑轨，以及在升降滑轨外侧滑动连接的转移托架，移动控制组件可以根据使用情况调节镀膜基片的高度，能够根据镀膜基片的厚度规格合理调节摆放部件与蒸发镀膜组件之间的距离，从而可以解决该蒸发装置上的靶材蒸发因镀膜基片的摆放位置而影响镀膜附着厚度的问题。

14、3、该蒸发镀膜机，在使用时，通过在转移托架底部一侧开设的t型卡槽，以及在支撑板件一端加装的t型卡板，因t型卡板与t型卡槽结构相匹配，可以将底部加装有镀膜基片的支撑板件限位连接在摆放部件的一侧底部，配合第一固定孔和第二固定孔结构，还可以对限位连接在摆放部件一侧底部的支撑板件进行螺栓固定，通过上述可知，移动控制组件可以根据使用情况对镀膜基片进行限位摆放和拆分的同时，还可以有效的提升两组之间连接的稳定性，避免了镀膜基片因摆放位置不稳定而影响镀膜附着的厚度。

技术特征：

1.一种蒸发镀膜机，包括真空腔体(1)和蒸发镀膜组件(3)，真空腔体(1)的内腔底部安装有蒸发镀膜组件(3)，其特征在于：所述真空腔体(1)还包括移动控制组件(2)，所述移动控制组件(2)设置在真空腔体(1)的内部一侧，所述移动控制组件(2)包括方位调控部件(4)，所述方位调控部件(4)的一侧底部安装有摆放部件(5)；

2.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机，其特征在于：所述真空腔体(1)的内部开设有气密空腔(6)，所述气密空腔(6)的内壁一侧设置有两组水平滑轨(7)。

3.根据权利要求2所述的一种蒸发镀膜机，其特征在于：所述方位调控部件(4)包括水平移动箱(11)，所述水平移动箱(11)的一侧设置有升降调节器(12)。

4.根据权利要求3所述的一种蒸发镀膜机，其特征在于：所述升降调节器(12)包括升降滑轨(13)，所述升降滑轨(13)安装在水平移动箱(11)的一侧，所述升降滑轨(13)的外侧滑动连接有转移托架(14)。

5.根据权利要求4所述的一种蒸发镀膜机，其特征在于：所述转移托架(14)的底部一侧开设有t型卡槽(15)，所述转移托架(14)靠近t型卡槽(15)的内部两侧还开设有若干组第一固定孔(16)。

6.根据权利要求5所述的一种蒸发镀膜机，其特征在于：所述摆放部件(5)包括支撑板件(17)，所述支撑板件(17)的一端设置有t型卡板(18)，所述t型卡板(18)与t型卡槽(15)结构相匹配，所述t型卡板(18)与t型卡槽(15)之间为卡接配合，所述支撑板件(17)靠近t型卡板(18)的一端顶部还开设有若干组第二固定孔(19)，所述第二固定孔(19)与第一固定孔(16)构造相同。

7.根据权利要求6所述的一种蒸发镀膜机，其特征在于：所述支撑板件(17)的底端安装有连接板片(20)，所述连接板片(20)与支撑板件(17)的中部之间连接有两组减震器(21)，所述连接板片(20)的底部还设置有镀膜基片(22)。

8.根据权利要求7所述的一种蒸发镀膜机，其特征在于：所述水平移动箱(11)的背部开设有两组限位滑槽(23)，所述限位滑槽(23)与水平滑轨(7)结构相匹配，两组所述限位滑槽(23)的内部两侧分别传动连接有移动滚轮(24)，所述移动滚轮(24)与水平滑轨(7)之间为滚动接触。

技术总结
本技术涉及蒸发镀膜领域，且公开了一种蒸发镀膜机，包括真空腔体和蒸发镀膜组件，真空腔体的内腔底部安装有蒸发镀膜组件，通过水平滑轨和限位滑槽结构，可以将移动控制组件限位在真空腔体的内壁一侧，通过在两组限位滑槽内部两侧分别传动连接的移动滚轮，当移动滚轮被电机等驱动部件进行顺时针方向或者逆时针方向传动时，限位在真空腔体内壁一侧的移动控制组件可以进行往复位移运动，该蒸发镀膜机，在使用时，通过对电机等驱动部件匀速的控制，可以有效的提升移动控制组件在真空腔体内壁一侧往复位移的稳定性和均匀性，以此来解决该蒸发装置上的靶材蒸发因镀膜基片的往复运动稳定性较差而导致镀膜不够均匀的问题。

技术研发人员：肖安林
受保护的技术使用者：宁波鸿宇真空科技有限公司
技术研发日：20230713
技术公布日：2024/1/15