一种制备镍钒溅射靶材轧制设备的制作方法

本技术属于溅射靶材，具体涉及一种制备镍钒溅射靶材轧制设备。

背景技术：

1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。镍钒合金靶材，在集成电路制作中一般用纯金做表面导电层，镍钒溅射靶材是在制备镍钒合金靶材过程中，在镍熔体中加入钒，使制备出的合金更有利于磁控溅射，结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点，可一次完成溅射镍层(粘接层)和钒层(阻挡层)。

2、在镍钒靶材溅射轧制过程中，由于磁场较强的区域刻蚀程度比周围严重，导致靶材不均匀，有的地方薄有的地方厚，工作效率低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种制备镍钒溅射靶材轧制设备，通过驱动结构，对镍钒靶材进行各个方向移动，使其刻蚀程度低的部位调节到溅射强的区域，提高工作效率，且便于将镍钒靶材安装，实用性强，适合推广。

2、本实用新型提供了如下的技术方案：一种制备镍钒溅射靶材轧制设备，包括外壳、镍钒靶材、磁芯磁块机构，所述磁芯磁块机构固定在外壳的后端，所述外壳的上端一侧固定设有第一电机，所述第一电机的输出端固定设有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆贯穿出外壳上端并与其旋转相连，所述第一螺纹杆上套设有固定套，所述固定套的下端固定设有移动框；

3、所述移动框两侧设有对称的滑槽，所述滑槽上滑动设有相对称的滑条，两根所述滑条的底部通过底部架固定相连，所述底部架的中心点处固定设有向下延伸的第二螺纹杆，所述滑槽的底部固定设有电机架，所述电机架对应第二螺纹杆的贯穿处设有旋转套，所述电机架上固定设有驱动旋转套的第二电机；

4、所述滑条相对的一侧固定设有相对称的安装架，所述安装架相对的一侧设有弹簧槽，所述弹簧槽上设有两个弹簧块，下方的弹簧块与弹簧槽底部固定相连，上方的弹簧块与弹簧槽滑动相连，两个所述弹簧块之间固定设有拉伸弹簧，所述弹簧块固定设有相对称的固定槽，所述镍钒靶材的四角固定在固定槽中。

5、优选地，固定槽前端滑动设有压板，所述固定槽上设有贯穿的固定螺栓，所述压板位于固定螺栓处固定设有螺栓套,所述螺栓套套设在固定螺栓上并与其螺纹相连。

6、优选地，外壳的上端固定设有滑轨，所述固定套的上端固定设有滑块，所述滑块与滑轨滑动相连，所述第一螺纹杆上设有第一推进螺纹，所述固定套位于第一螺纹杆的贯穿处与其螺纹相连。

7、优选地，旋转套与电机架旋转相连，所述旋转套贯穿出电机架下端并固定设有从动齿轮，所述第二电机的输出端固定设有驱动齿轮，所述驱动齿轮与从动齿轮相啮合，所述第二螺纹杆上设有第二推进螺纹，所述旋转套位于第二螺纹杆贯穿处与其螺纹相连。

8、本实用新型的有益效果：通过驱动结构，对镍钒靶材进行各个方向移动，使其刻蚀程度低的部位调节到溅射强的区域，提高工作效率，且便于将镍钒靶材安装，实用性强，具体如下：

9、(1)、本实用新型设有安装架，在镍钒靶材固定进行作业后，观察镍钒靶材的使用情况，在位于磁场较强的区域处的镍钒靶材刻蚀程度严重时，电机驱动带动镍钒靶材向不同方向运动，在第一电机运动时，带动第一螺纹杆旋转，其上的固定套因与滑轨滑动相连无法旋转，第一螺纹杆上的第一推进螺纹在扭转时，推动固定套沿第一螺纹杆滑动，从而带动所连的安装架左右平移，在第二电机运转时，带动驱动齿轮旋转，驱动齿轮带动从动齿轮旋转，从而带动整个旋转套旋转，旋转套的内部的螺纹推进第二推进螺纹，使第二螺纹杆在其内上下平移，从而带动安装架运动，使安装架上的镍钒靶材任何位置都可以平移到磁场较强的区域。

10、(2)、本实用新型设有固定槽，固定槽设有四个，上方的固定槽可以向上拉动，在对镍钒靶材进行安装时，通过将上方的固定槽向上拉起，镍钒靶材的四角可以卡到固定槽内，此时对固定螺栓进行旋转，固定螺栓在固定槽上旋转，其所套设的螺栓套随固定螺栓的旋转前后平移，带动螺栓套所连的压板移动，将镍钒靶材的四角处压紧，从而完成镍钒靶材的固定。

技术特征：

1.一种制备镍钒溅射靶材轧制设备，包括外壳(1)、镍钒靶材(12)、磁芯磁块机构(18)，所述磁芯磁块机构(18)固定在外壳(1)的后端，其特征在于，所述外壳(1)的上端一侧固定设有第一电机(2)，所述第一电机(2)的输出端固定设有第一螺纹杆(3)，所述第一螺纹杆(3)贯穿出外壳(1)上端并与其旋转相连，所述第一螺纹杆(3)上套设有固定套(5)，所述固定套(5)的下端固定设有移动框(6)；

2.根据权利要求1所述的一种制备镍钒溅射靶材轧制设备，其特征在于，所述固定槽(11)前端滑动设有压板(26)，所述固定槽(11)上设有贯穿的固定螺栓(27)，所述压板(26)位于固定螺栓(27)处固定设有螺栓套(28),所述螺栓套(28)套设在固定螺栓(27)上并与其螺纹相连。

3.根据权利要求1所述的一种制备镍钒溅射靶材轧制设备，其特征在于，所述外壳(1)的上端固定设有滑轨(19)，所述固定套(5)的上端固定设有滑块(20)，所述滑块(20)与滑轨(19)滑动相连，所述第一螺纹杆(3)上设有第一推进螺纹(4)，所述固定套(5)位于第一螺纹杆(3)的贯穿处与其螺纹相连。

4.根据权利要求1所述的一种制备镍钒溅射靶材轧制设备，其特征在于，所述旋转套(21)与电机架(13)旋转相连，所述旋转套(21)贯穿出电机架(13)下端并固定设有从动齿轮(22)，所述第二电机(14)的输出端固定设有驱动齿轮(23)，所述驱动齿轮(23)与从动齿轮(22)相啮合，所述第二螺纹杆(15)上设有第二推进螺纹(16)，所述旋转套(21)位于第二螺纹杆(15)贯穿处与其螺纹相连。

技术总结
本技术公开了一种制备镍钒溅射靶材轧制设备，涉及溅射靶材技术领域，包括外壳、磁芯磁块机构，外壳设有第一电机，第一电机设有第一螺纹杆，第一螺纹杆贯穿出外壳并与其旋转相连，第一螺纹杆上套设有固定套，固定套的下端设有移动框,移动框设有对称的滑槽，滑槽设有相对称的滑条，两根滑条的底部通过底部架固定相连，底部架设有第二螺纹杆，滑槽设有电机架，电机架设有旋转套，电机架设有旋转套的第二电机，滑条设有对称的安装架，安装架设有固定槽，镍钒靶材的四角固定在固定槽中。本技术通过驱动结构，对镍钒靶材进行各个方向移动，使其刻蚀程度低的部位调节到溅射强的区域，提高工作效率，且便于将镍钒靶材安装，实用性强，适合推广。

技术研发人员：王舒宇,王孝伟,黄家荣,聂翔
受保护的技术使用者：南京欧美达应用材料科技有限公司
技术研发日：20230824
技术公布日：2024/2/8