高真空卷绕式镀膜机的制作方法

本技术涉及镀膜机，具体涉及一种高真空卷绕式镀膜机。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

2、传统的真空镀膜机内具有放卷辊和收卷辊，由于放卷辊和收卷辊上所卷绕薄膜量的不同，这就导致在放卷辊和收卷辊之间的薄膜呈倾斜状，此时，蒸镀源朝向薄膜喷射的金属离子由于薄膜呈倾斜状而出现分布不均的现象，影响对薄膜的镀膜效果。

技术实现思路

1、为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种高真空卷绕式镀膜机。

2、为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案包括机壳，所述机壳内形成镀膜腔室，所述镀膜腔室内设置有镀膜机构；

3、所述镀膜机还包括收放卷机构，设置在所述镀膜腔室内，用于放卷和收卷薄膜；

4、所述收放卷机构包括：

5、放卷辊筒，用于放出其所卷绕的薄膜；

6、收卷辊筒，用于卷绕所述放卷辊筒放出的薄膜；

7、所述镀膜机还包括调位机构，设置在所述镀膜腔室内，所述调位机构用于调节所述放卷辊筒的高度，以使所述收卷辊筒卷绕薄膜后的底部与所述放卷辊筒放卷薄膜后的底部相对平齐。

8、本申请通过设置调位机构以将放卷辊筒竖直移动，从而实现放卷辊筒的高度调节，继而实现放卷辊筒和收卷辊筒之间的薄膜始终处于水平状态，使得向该部分薄膜喷射的金属离子能够均匀的分布在其上，提高本申请对于薄膜的蒸镀效果。

9、在上述高真空卷绕式镀膜机的优选技术方案中，所述收卷辊筒和所述放卷辊筒通过皮带连接，所述机壳上安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机用以驱动所述收卷辊筒或所述放卷辊筒转动。

10、在上述高真空卷绕式镀膜机的优选技术方案中，所述调位机构包括：

11、第二驱动电机，安装在所述机壳，所述第二驱动电机的驱动轴端安装螺杆；

12、耳板，设于所述螺杆并被限制成仅沿所述螺杆长度方向移动，所述耳板与所述螺杆螺纹连接；

13、支架，铰接在所述耳板上部，所述支架顶端用于形成对所述放卷辊筒的支撑。

14、在上述高真空卷绕式镀膜机的优选技术方案中，所述镀膜机还包括张紧机构，所述张紧机构设于所述镀膜腔室内，所述张紧机构用于将连接所述收卷辊筒和放卷辊筒的皮带进行绷紧。

15、在上述高真空卷绕式镀膜机的优选技术方案中，所述张紧机构包括底座，所述底座安装在镀膜腔室内壁，所述底座上竖直活动安装有张紧轮，所述底座上设有弹性件，借助于所述弹性件的弹力，所述张紧轮始终抵接在所述皮带上以将所述皮带绷紧。

16、在上述高真空卷绕式镀膜机的优选技术方案中，所述底座通过螺栓安装在所述镀膜腔室内壁。

17、在上述高真空卷绕式镀膜机的优选技术方案中，所述弹性件为弹簧或弹性钢。

18、本实用新型的有益效果是，本申请通过第二驱动电机控制螺杆转动，螺杆驱动耳板在螺杆上移动，从而使得支架角度发生改变，以此实现对放卷辊筒高度的调节，继而实现放卷辊筒和收卷辊筒之间的薄膜始终处于水平状态，使得向该部分薄膜喷射的金属离子能够均匀的分布在其上，提高薄膜的蒸镀效果。

技术特征：

1.一种高真空卷绕式镀膜机，其特征在于，包括机壳，所述机壳内形成镀膜腔室，所述镀膜腔室内设置有镀膜机构；

2.根据权利要求1所述的高真空卷绕式镀膜机，其特征在于：所述收卷辊筒和所述放卷辊筒通过皮带连接，所述机壳上安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机用以驱动所述收卷辊筒或所述放卷辊筒转动。

3.根据权利要求1所述的高真空卷绕式镀膜机，其特征在于：所述调位机构包括：

4.根据权利要求2所述的高真空卷绕式镀膜机，其特征在于：所述镀膜机还包括张紧机构，所述张紧机构设于所述镀膜腔室内，所述张紧机构用于将连接所述收卷辊筒和放卷辊筒的皮带进行绷紧。

5.根据权利要求4所述的高真空卷绕式镀膜机，其特征在于：所述张紧机构包括底座，所述底座安装在镀膜腔室内壁，所述底座上竖直活动安装有张紧轮，所述底座上设有弹性件，借助于所述弹性件的弹力，所述张紧轮始终抵接在所述皮带上以将所述皮带绷紧。

6.根据权利要求5所述的高真空卷绕式镀膜机，其特征在于：所述底座通过螺栓安装在所述镀膜腔室内壁。

7.根据权利要求5所述的高真空卷绕式镀膜机，其特征在于：所述弹性件为弹簧或弹性钢。

技术总结
本技术公开了一种高真空卷绕式镀膜机，包括机壳，所述机壳内形成镀膜腔室，所述镀膜腔室内设置有镀膜机构；所述镀膜机还包括收放卷机构，设置在所述镀膜腔室内，用于放卷和收卷薄膜；所述收放卷机构包括：放卷辊筒，用于放出其所卷绕的薄膜；收卷辊筒，用于卷绕所述放卷辊筒放出的薄膜；所述镀膜机还包括调位机构，设置在所述镀膜腔室内，所述调位机构用于调节所述放卷辊筒的高度，以使所述收卷辊筒卷绕薄膜后的底部与所述放卷辊筒放卷薄膜后的底部相对平齐；本技术可解决由于放卷辊和收卷辊之间的薄膜呈倾斜状，蒸镀源朝向薄膜喷射的金属离子不能均匀分布在其上，影响对薄膜镀膜效果的问题。

技术研发人员：武俊伟,翁伟嘉
受保护的技术使用者：江苏英联复合集流体有限公司
技术研发日：20230831
技术公布日：2024/1/25