一种用于EncoreTaN装置外杯罩的熔射治具的制作方法

本技术涉及半导体装置加工的，尤其涉及一种用于encore tan装置外杯罩的熔射治具。

背景技术：

1、encore tan装置是半导体集成电路pvd制程领域的关键设备。一套encore tan会有七个外杯罩(outer cup)配套，在加工过程中，需要对outer cup熔射，目的是为了增大表面粗糙度，在上机过程中方便膜质附着在其表面，其次熔射的材质是铝丝，便于膜质附着在outer cup上后，容易再将膜质去除。现有的熔射治具一次只能熔射一个outer cup，比较费时、费人力；且底座为方形，不容易与熔射转盘固定，在熔射时会有倾倒可能。

技术实现思路

1、本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种用于encore tan装置外杯罩的熔射治具。

2、本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

3、一种用于encore tan装置外杯罩的熔射治具，包括圆盘，圆盘底部防倾倒支架组件，圆盘顶部圆周均布有若干熔射支撑组件，熔射支撑组件包括固定在圆盘上的支撑柱，支撑柱顶部螺纹旋装有螺栓，螺栓的螺杆上穿设有橡胶塞。

4、防倾倒支架组件包括圆周均匀固定在圆盘底部的若干三角支架，三角支架由两个斜板一体成型设置，两个斜板顶部连接固定在圆盘底部，两个斜板底部平齐设置。

5、支撑柱顶部设有螺纹孔，螺栓的螺杆旋紧在支撑柱的螺纹孔内。

6、圆盘顶部的熔射支撑组件共有七个。

7、防倾倒支架组件供包括三个三角支架。

8、本实用新型的有益效果是：本实用新型可以一次放置多个产品熔射，效率较高，圆盘与熔射转盘连接稳固，不容易发生倾倒现象。

技术特征：

1.一种用于encore tan装置外杯罩的熔射治具，其特征在于，包括圆盘(1)，圆盘(1)底部防倾倒支架组件(2)，圆盘(1)顶部圆周均布有若干熔射支撑组件(3)，熔射支撑组件(3)包括固定在圆盘(1)上的支撑柱(31)，支撑柱(31)顶部螺纹旋装有螺栓(32)，螺栓(32)的螺杆上穿设有橡胶塞(33)。

2.根据权利要求1所述的一种用于encore tan装置外杯罩的熔射治具，其特征在于，防倾倒支架组件(2)包括圆周均匀固定在圆盘(1)底部的若干三角支架(21)，三角支架(21)由两个斜板一体成型设置，两个斜板顶部连接固定在圆盘(1)底部，两个斜板底部平齐设置。

3.根据权利要求2所述的一种用于encore tan装置外杯罩的熔射治具，其特征在于，支撑柱(31)顶部设有螺纹孔，螺栓(32)的螺杆旋紧在支撑柱(31)的螺纹孔内。

4.根据权利要求3所述的一种用于encore tan装置外杯罩的熔射治具，其特征在于，圆盘(1)顶部的熔射支撑组件(3)共有七个。

5.根据权利要求4所述的一种用于encore tan装置外杯罩的熔射治具，其特征在于，防倾倒支架组件(2)供包括三个三角支架(21)。

技术总结
本技术是一种用于Encore TaN装置外杯罩的熔射治具，包括圆盘，圆盘底部防倾倒支架组件，圆盘顶部圆周均布有若干熔射支撑组件，熔射支撑组件包括固定在圆盘上的支撑柱，支撑柱顶部螺纹旋装有螺栓，螺栓的螺杆上穿设有橡胶塞。防倾倒支架组件包括圆周均匀固定在圆盘底部的若干三角支架，三角支架由两个斜板一体成型设置，两个斜板顶部连接固定在圆盘底部，两个斜板底部平齐设置。本技术可以一次放置多个产品熔射，效率较高，圆盘与熔射转盘连接稳固，不容易发生倾倒现象。

技术研发人员：穆帅帅,郭志瑾
受保护的技术使用者：富乐德科技发展（天津）有限公司
技术研发日：20230905
技术公布日：2024/5/12