一种小型真空设备中的可调角度样品台的制作方法

本技术涉及样品台，具体为一种小型真空设备中的可调角度样品台。

背景技术：

1、在真空设备中进行的薄膜生长研究，无论是以磁控溅射的方式或者是以分子束外延方式进行薄膜生长，研究者希望在不破坏真空的情况下直接在生长设备中观测薄膜状态，所以需要用到可调节的样品台进行观测。

2、根据专利网公开的一种小型真空设备中的可调角度样品台(授权公告号为：cn217895739 u)中所描述“本实用新型公开了一种小型真空设备中的可调角度样品台，包括法兰和万向节组件,所述法兰上固定连接有磁流体及磁流体电机，所述法兰上设置有支板和滑块固定板，所述法兰通过支板与滑块固定板固定，所述磁流体与传动杆的一端固定连接，所述传动杆另一端设置有传动杆接头，所述传动杆通过传动杆接头与万向节组件连接，所述万向节组件固定连接有样品托，本实用新型采用万向节组件和传动杆接头共同调节，以达到研究人员调整样品托任意角度的需求，设计合理实用，解决了常规样品台无法调整角度的问题，本实用新型传动部分设计合理，整个样品台小巧，专门针对实验室条件研发制造，配合本司优选的驱动程序，为研究者提供便利的研究条件。”

3、针对上述描述内容，申请人认为存在以下问题：

4、该实用新型在使用过程中，由于是通过电机带动传动杆，传动杆再通过万向节带动样品托进行位置调整，但是该装置只能通过万向节带动样品托进行角度调节，如果需要升高或者降低来使观察更清楚，则该装置无法满足，因此需要改进出一种小型真空设备中的可调角度样品台来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种小型真空设备中的可调角度样品台，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种小型真空设备中的可调角度样品台，包括样品托所述样品托的底部设置有倾斜机构，所述倾斜机构的内部设置有升降机构。

3、所述升降机构包括升降组件与驱动组件，所述升降组件设置在倾斜机构的内部，所述驱动组件设置在升降组件的底部。

4、优选的，所述倾斜机构包括第一槽块，所述第一槽块固定连接在样品托的底部，所述第一槽块的内部转动连接有第一滚珠，所述第一滚珠的外部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定连接有底板，所述底板的底部固定连接有支撑腿，用于倾斜样品托。

5、优选的，所述第一槽块在第一滚珠的对应位置开设有槽，且所述第一滚珠在槽内部转动，便于第一滚珠在第一槽块内部转动。

6、优选的，所述升降组件包括转动轴，所述转动轴固定连接在底板的内部，所述样品托的底部固定连接有第二槽块，所述第二槽块的内部转动连接有第二滚珠，所述第二滚珠的外部固定连接有螺杆，所述螺杆滑动连接在转动轴的内部，用于升降样品托。

7、优选的，所述转动轴的内部设置有凸块，且所述螺杆在凸块的对应位置开设有滑槽，且滑槽在凸块的外部滑动，对螺杆进行限位。

8、优选的，所述驱动组件包括电机，所述电机固定连接在底板的底部，所述电机的输出端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮的外部啮合有第二齿轮，所述第二齿轮的内部固定连接有连接块，所述连接块转动连接在转动轴的外部，所述连接块的底部固定连接有螺母，所述螺母螺纹连接在螺杆的外部，用于驱动升降组件。

9、优选的，所述连接块在螺杆的对应位置开设有通孔，且所述螺杆穿过通孔，用于连接螺母。

10、与现有技术相比，本实用新型提供了一种小型真空设备中的可调角度样品台，具备以下有益效果：

11、1、该小型真空设备中的可调角度样品台，在使用过程中，通过设置的螺母转动使螺杆升降，螺杆在转动轴内部滑动来推动样品托的整体升降，第二槽块在第二滚珠的外部转动，螺杆不会影响样品托的倾斜，通过升降样品托，可使观察更加方便，更加清楚。

12、2、该小型真空设备中的可调角度样品台，在使用过程中，通过设置的电动伸缩杆升降，对应的电动伸缩杆升降即可使样品托向对应方向倾斜，可使装置在真空设备内部，且不需要直接接触装置，就能进行调节样品托，使实验时更加便捷不受影响。

技术特征：

1.一种小型真空设备中的可调角度样品台，包括样品托(1)，其特征在于：所述样品托(1)的底部设置有倾斜机构(2)，所述倾斜机构(2)的内部设置有升降机构(3)；

2.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台，其特征在于：所述第一槽块(21)在第一滚珠(22)的对应位置开设有槽，且所述第一滚珠(22)在槽内部转动。

3.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台，其特征在于：所述升降组件(31)包括转动轴(311)，所述转动轴(311)固定连接在底板(24)的内部，所述样品托(1)的底部固定连接有第二槽块(312)，所述第二槽块(312)的内部转动连接有第二滚珠(313)，所述第二滚珠(313)的外部固定连接有螺杆(314)，所述螺杆(314)滑动连接在转动轴(311)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台，其特征在于：所述转动轴(311)的内部设置有凸块，且所述螺杆(314)在凸块的对应位置开设有滑槽，且滑槽在凸块的外部滑动。

5.根据权利要求3所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台，其特征在于：所述驱动组件(32)包括电机(321)，所述电机(321)固定连接在底板(24)的底部，所述电机(321)的输出端固定连接有第一齿轮(322)，所述第一齿轮(322)的外部啮合有第二齿轮(323)，所述第二齿轮(323)的内部固定连接有连接块(324)，所述连接块(324)转动连接在转动轴(311)的外部，所述连接块(324)的底部固定连接有螺母(325)，所述螺母(325)螺纹连接在螺杆(314)的外部。

6.根据权利要求5所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台，其特征在于：所述连接块(324)在螺杆(314)的对应位置开设有通孔，且所述螺杆(314)穿过通孔。

技术总结
本技术涉及样品台技术领域，且公开了一种小型真空设备中的可调角度样品台，包括样品托所述样品托的底部设置有倾斜机构，所述倾斜机构的内部设置有升降机构，所述升降机构包括升降组件与驱动组件，所述升降组件设置在倾斜机构的内部，所述驱动组件设置在升降组件的底部，所述倾斜机构包括第一槽块，所述第一槽块固定连接在样品托的底部，所述第一槽块的内部转动连接有第一滚珠。该小型真空设备中的可调角度样品台，在使用过程中，通过设置的螺母转动使螺杆升降，螺杆在转动轴内部滑动来推动样品托的整体升降，第二槽块在第二滚珠的外部转动，螺杆不会影响样品托的倾斜，通过升降样品托，可使观察更加方便，更加清楚。

技术研发人员：董顺
受保护的技术使用者：沈阳鹏程真空技术有限责任公司
技术研发日：20230911
技术公布日：2024/6/23