一种高效节能铝箔退火炉的制作方法

本技术涉及工业生产设备领域，具体为一种高效节能铝箔退火炉。

背景技术：

1、退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

2、但是其仍旧存在一些缺点，例如：目前使用的退火炉没有垃圾收集和清理装置，退火炉在焚烧时产生的垃圾不能及时的清理影会响使用者的使用，给使用者带来了诸多的不利影响，且目前使用的退火炉不能有效的控制氧气的输入，从而就无法精准控制设备主体内部的火势，导致在焚烧时存在诸多的弊端。

3、为解决上述问题，本申请中提出一种高效节能铝箔退火炉。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高效节能铝箔退火炉，以解决上述背景技术中提出的现有技术中垃圾收集及退火炉高效节能的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效节能铝箔退火炉，包括设备主体，所述设备主体的前端外表面活动连接有前置门，所述设备主体的一侧外表面固定连接有锁门器，所述设备主体的下端外表面固定连接有废料收集装置，所述设备主体的后端外表面活动连接有后置门，所述设备主体的上端外表面固定连接有排烟口，所述废料收集装置包括回收主体箱、工具放置箱、移动控火门、废料进入槽、焚烧材料放置板与格栅网

3、优选的，所述回收主体箱的上端外表面与设备主体的下端外表面固定连接，所述回收主体箱的另一侧外白面固定连接有工具放置箱，所述回收主体箱的一侧外表面活动套接有移动控火门，所述回收主体箱的上端外表面开设有废料进入槽，所述回收主体箱的上端外表面活动连接有焚烧材料放置板，所述焚烧材料放置板的上端外表面固定连接有格栅网。

4、优选的，所述设备主体的前端外表面活动套接有铝箔放置平台，所述设备主体的一侧表面固定连接有内置保温层，所述内置保温层与焚烧材料放置板之间为活动套接，所述设备主体的下端外表面固定框架有高低调节柱。

5、优选的，所述移动控火门包括控火门转动开关、移动化槽、移动轮、传动滑齿连接横杆与调节齿轮，所述控火门转动开关的下端外表面与移动控火门的上端外表面活动套接，所述移动控火门的下端内表面开设有移动化槽。

6、优选的，所述移动控火门的下端外表面固定套接有移动轮，所述移动轮与移动化槽之间为活动套接，所述控火门转动开关与移动控火门之间为活动连接，所述移动控火门的上端外表面固定连接有传动滑齿，所述传动滑齿与控火门转动开关之间活动套接。

7、优选的，所述控火门转动开关的下端外表面固定连接有连接横杆，所述连接横杆的外壁固定连接有调节齿轮，所述调节齿轮与移动化槽之间为活动套。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型通过设置的废料收集装置可以有效的收集设备主体内燃料在燃烧时产生的垃圾，避免垃圾过多导致燃烧室的堵塞，影响设备的使用，提何时能了设备的实用性和便捷性。

10、本实用新型通过设置的移动控火门可以有效的控制氧气的输入量从而达到控制设备主体内部火势的目的，同时避免回收主体箱内的废料向外溢出，移动控火门的设置既能起到节省能源的作用又能提升设备的实际使用价值。

技术特征：

1.一种高效节能铝箔退火炉，包括设备主体（1），其特征在于：所述设备主体（1）的前端外表面活动连接有前置门（2），所述设备主体（1）的一侧外表面固定连接有锁门器（3），所述设备主体（1）的下端外表面固定连接有废料收集装置（4），所述设备主体（1）的后端外表面活动连接有后置门（5），所述设备主体（1）的上端外表面固定连接有排烟口（6）；

2.根据权利要求1所述的一种高效节能铝箔退火炉，其特征在于：所述回收主体箱（10）的上端外表面与设备主体（1）的下端外表面固定连接，所述回收主体箱（10）的另一侧外白面固定连接有工具放置箱（11），所述回收主体箱（10）的一侧外表面活动套接有移动控火门（12），所述回收主体箱（10）的上端外表面开设有废料进入槽（13），所述回收主体箱（10）的上端外表面活动连接有焚烧材料放置板（14），所述焚烧材料放置板（14）的上端外表面固定连接有格栅网（15）。

3.根据权利要求1所述的一种高效节能铝箔退火炉，其特征在于：所述设备主体（1）的前端外表面活动套接有铝箔放置平台（8），所述设备主体（1）的一侧表面固定连接有内置保温层（9），所述内置保温层（9）与焚烧材料放置板（14）之间为活动套接，所述设备主体（1）的下端外表面固定框架有高低调节柱（7）。

4.根据权利要求2所述的一种高效节能铝箔退火炉，其特征在于：所述移动控火门（12）包括控火门转动开关（16）、移动化槽（17）、移动轮（18）、传动滑齿（19）连接横杆（20）与调节齿轮（21），所述控火门转动开关（16）的下端外表面与移动控火门（12）的上端外表面活动套接，所述移动控火门（12）的下端内表面开设有移动化槽（17）。

5.根据权利要求4所述的一种高效节能铝箔退火炉，其特征在于：所述移动控火门（12）的下端外表面固定套接有移动轮（18），所述移动轮（18）与移动化槽（17）之间为活动套接，所述控火门转动开关（16）与移动控火门（12）之间为活动连接，所述移动控火门（12）的上端外表面固定连接有传动滑齿（19），所述传动滑齿（19）与控火门转动开关（16）之间活动套接。

6.根据权利要求5所述的一种高效节能铝箔退火炉，其特征在于：所述控火门转动开关（16）的下端外表面固定连接有连接横杆（20），所述连接横杆（20）的外壁固定连接有调节齿轮（21），所述调节齿轮（21）与移动化槽（17）之间为活动套。

技术总结
本技术涉及工业生产设备领域，公开了一种高效节能铝箔退火炉，包括设备主体，所述设备主体的前端外表面活动连接有前置门，所述设备主体的一侧外表面固定连接有锁门器，所述设备主体的下端外表面固定连接有废料收集装置，所述设备主体的后端外表面活动连接有后置门，所述设备主体的上端外表面固定连接有排烟口，所述废料收集装置包括回收主体箱、工具放置箱、移动控火门、废料进入槽、焚烧材料放置板与格栅网，在使用本装置时，通过设置的废料收集装置可以有效的收集设备主体内燃料在燃烧时产生的垃圾，避免垃圾过多导致燃烧室的堵塞，影响设备的使用，提何时能了设备的实用性和便捷性，从而可以带来更好的使用前景。

技术研发人员：石淮罡,宁厚聪,杨小平
受保护的技术使用者：江西万泰新材料有限公司
技术研发日：20230912
技术公布日：2024/5/29