一种激光折射镜冷却载放台的制作方法

本技术属于激光折射镜冷却，具体涉及一种激光折射镜冷却载放台。

背景技术：

1、脉冲激光沉积是一种物理真空镀膜技术。脉冲激光沉积技术最重要的优点之一就是能保持靶材与薄膜成分一致，有利于多组分化合物薄膜的镀膜。目前已广泛用于多组分超导薄膜、氧化物铁电、压电、热电、半导体、超硬、铁磁等薄膜材料。

2、在利用脉冲激光进行镀膜时，需要利用激光折射镜将激光呈对应的角度在高温环境下进进行折射以此来完成镀膜工作，激光折射镜长期处于高温环境下容易衰减使用寿命，且高温下的激光折射镜，会影响激光折射的效果，因此，特提供一种激光折射镜冷却载放台来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术中的激光折射镜长期在真空高温环境下使用，存在容易衰减使用寿命和影响激光折射效果的问题，本实用新型提供一种激光折射镜冷却载放台，通过设置第一循环冷却管组和第二循环冷却管组，并将两者分别安装在激光折射镜a的上方及激光折射镜b的前方，能够对激光折射镜a和激光折射镜b进行降温，以保证激光折射镜的寿命和激光折射的效果，有效解决了现有技术中激光折射镜长期处于高温环境下容易衰减使用寿命，且高温下的激光折射镜，会影响激光折射的效果的问题。其具体技术方案如下：

2、一种激光折射镜冷却载放台，包括载台，所述载台的台面上固定安装有第一固定架和第二固定架，所述第一固定架的前方固定安装有激光折射镜a，所述第二固定架的后方固定安装有激光折射镜b，所述载台的台面上固定安装有两个用于安装真空波纹管的真空波纹管连接件，左侧所述真空波纹管连接件内贯穿安装有第一循环冷却管组，所述第一循环冷却管组环绕在第二固定架与激光折射镜b之间，右侧所述真空波纹管连接件内贯穿安装有第二循环冷却管组，所述第二循环冷却管组盘绕在激光折射镜a的上方，所述第一循环冷却管组和第二循环冷却管组均通过导水管连接外部冷水循环系统。

3、上述技术方案中，所述第一循环冷却管组内设置有空腔块，所述空腔块与第一循环冷却管组相连通，且空腔块位于激光折射镜a的前方。

4、上述技术方案中，所述空腔块为铜块。

5、上述技术方案中，所述第二循环冷却管组的外表面固定安装有导温板，所述导温板位于激光折射镜a的凹槽内。

6、上述技术方案中，所述第一固定架和第二固定架之间固定安装有多个支撑杆，所述支撑杆均贯穿导温板的外表面。

7、上述技术方案中，所述载台的上表面固定安装有第一c型限位件，所述第一固定架的前表面固定安装有两个第二c型限位件，所述激光折射镜a位于第一c型限位件和第二c型限位件之间，且第一c型限位件和第二c型限位件的外表面均贯穿安装有固定螺栓，所述激光折射镜a通过多个固定螺栓抵紧后固定。

8、上述技术方案中，所述第二固定架的下表面固定安装有两个l型限位件，所述激光折射镜b位于两个所述l型限位件之间，所述第二固定架的前表面贯穿安装有多个抵紧螺栓，所述抵紧螺栓的后端均固定安装有u型抵紧件，所述激光折射镜b被夹持在u型抵紧件与l型限位件之间。

9、上述技术方案中，所述u型抵紧件卡接在第一循环冷却管组的外表面。

10、本实用新型的一种激光折射镜冷却载放台，与现有技术相比，有益效果为：

11、一、本实用新型通过设置第一循环冷却管组和第二循环冷却管组，并将两者分别安装在激光折射镜a的上方及激光折射镜b的前方，能够利用第一循环冷却管组和第二循环冷却管组对激光折射镜a和激光折射镜b进行降温，以保证激光折射镜的寿命和激光折射的效果。

12、二、本实用新型通过在第一循环冷却管组内设置铜制的空腔块，在利用第一循环冷却管组对激光折射镜b进行降温的同时，还能够利用空腔块对激光折射镜a的前方进行降温，能够进一步加强降温效果。

13、三、本实用新型通过在第二循环冷却管组的外表面设置导温板，并将导温板伸入到激光折射镜a的凹槽内，能够进一步加强第二循环冷却管组对激光折射镜a的降温效果。

技术特征：

1.一种激光折射镜冷却载放台，包括载台(1)，所述载台(1)的台面上固定安装有第一固定架(2)和第二固定架(3)，所述第一固定架(2)的前方固定安装有激光折射镜a(4)，所述第二固定架(3)的后方固定安装有激光折射镜b(5)，其特征在于，所述载台(1)的台面上固定安装有两个用于安装真空波纹管的真空波纹管连接件(9)，左侧所述真空波纹管连接件(9)内贯穿安装有第一循环冷却管组(7)，所述第一循环冷却管组(7)环绕在第二固定架(3)与激光折射镜b(5)之间，右侧所述真空波纹管连接件(9)内贯穿安装有第二循环冷却管组(8)，所述第二循环冷却管组(8)盘绕在激光折射镜a(4)的上方，所述第一循环冷却管组(7)和第二循环冷却管组(8)均通过导水管连接外部冷水循环系统。

2.根据权利要求1所述的一种激光折射镜冷却载放台，其特征在于，所述第一循环冷却管组(7)内设置有空腔块(71)，所述空腔块(71)与第一循环冷却管组(7)相连通，且空腔块(71)位于激光折射镜a(4)的前方。

3.根据权利要求2所述的一种激光折射镜冷却载放台，其特征在于，所述空腔块(71)为铜块。

4.根据权利要求1所述的一种激光折射镜冷却载放台，其特征在于，所述第二循环冷却管组(8)的外表面固定安装有导温板(81)，所述导温板(81)位于激光折射镜a(4)的凹槽内。

5.根据权利要求4所述的一种激光折射镜冷却载放台，其特征在于，所述第一固定架(2)和第二固定架(3)之间固定安装有多个支撑杆(6)，所述支撑杆(6)均贯穿导温板(81)的外表面。

6.根据权利要求1所述的一种激光折射镜冷却载放台，其特征在于，所述载台(1)的上表面固定安装有第一c型限位件(11)，所述第一固定架(2)的前表面固定安装有两个第二c型限位件(21)，所述激光折射镜a(4)位于第一c型限位件(11)和第二c型限位件(21)之间，且第一c型限位件(11)和第二c型限位件(21)的外表面均贯穿安装有固定螺栓，所述激光折射镜a(4)通过多个固定螺栓抵紧后固定。

7.根据权利要求1所述的一种激光折射镜冷却载放台，其特征在于，所述第二固定架(3)的下表面固定安装有两个l型限位件(31)，所述激光折射镜b(5)位于两个所述l型限位件(31)之间，所述第二固定架(3)的前表面贯穿安装有多个抵紧螺栓(32)，所述抵紧螺栓(32)的后端均固定安装有u型抵紧件(33)，所述激光折射镜b(5)被夹持在u型抵紧件(33)与l型限位件(31)之间。

8.根据权利要求7所述的一种激光折射镜冷却载放台，其特征在于，所述u型抵紧件(33)卡接在第一循环冷却管组(7)的外表面。

技术总结
一种激光折射镜冷却载放台，所属激光折射镜冷却技术领域，包括载台，载台的台面上固定安装有第一固定架和第二固定架，第一固定架的前方固定安装有激光折射镜A，第二固定架的后方固定安装有激光折射镜B，载台的台面上固定安装有两个用于安装真空波纹管的真空波纹管连接件，左侧真空波纹管连接件内贯穿安装有第一循环冷却管组，右侧真空波纹管连接件内贯穿安装有第二循环冷却管组，第二循环冷却管组盘绕在激光折射镜A的上方，第一循环冷却管组和第二循环冷却管组均通过导水管连接外部冷水循环系统，本技术能够利用第一循环冷却管组和第二循环冷却管组对激光折射镜A和激光折射镜B进行降温，以保证激光折射镜的寿命和激光折射的效果。

技术研发人员：王实博,李岩,王明岩
受保护的技术使用者：沈阳成功科技有限公司
技术研发日：20230915
技术公布日：2024/4/24