一种新型挡圈结构的制作方法

本申请涉及晶圆挡圈，具体涉及一种新型挡圈结构。

背景技术：

1、硅晶圆被广泛用作半导体器件的基板材料。通过对单晶硅锭依次进行如下工序来制造硅晶圆：外周磨削、切片、研磨(lapping)、蚀刻、双面抛光、单面抛光、清洗等。其中，单面抛光工序为去除晶圆表面的凹凸或起伏以提高平坦度的必要工序，使用cmp(chemicalmechanical polishing：化学机械抛光)法进行镜面加工。

2、在对晶圆抛光时，驱动机构通过导向机构将挡圈升起，阻止研磨头在研磨过程中抛光液等液体飞溅在抛光单元中，升降挡圈环绕在抛光盘周围，包括挡圈、驱动机构和导向机构三部分。挡圈上端开口向内收拢一定角度，可防止抛光时液体四处飞溅。挡圈安装在导向机构顶部，导向机构安装在驱动机构上，在实际研磨过程中，挡圈的实际情况是根据气缸是否升降来判定，而当实际如果出现导向机构的螺丝松动或者气缸卡顿时，就会出现挡圈一个气缸或者多个气缸并未升起或降落，会导致研磨头与挡圈相撞，或者液体飞溅到腔体内部。

3、基于此，需要一种新技术方案。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种新型挡圈结构，可在抛光的过程中避免因气缸卡顿导致气缸为升起或降落，研磨头与挡圈相撞。

2、本说明书实施例提供以下技术方案：一种新型挡圈结构，包括环形基座、挡圈和发射件，晶圆设置于所述环形基座内，所述环形基座沿周向开设有滑槽，所述挡圈设置于环形基座的滑槽内，所述挡圈可沿环形基座的滑槽滑动，所述发射件用于控制挡圈的展开和收缩，当所述挡圈处于展开状态时，所述挡圈分布于晶圆的四周，当所述挡圈处于收缩状态时，所述挡圈分布于晶圆的一侧。

3、可选地，所述挡圈连接有支撑部，所述挡圈为可折叠的特氟龙材质，所述支撑部连接有滑轮，所述滑轮置于环形基座的滑槽中。

4、可选地，所述挡圈一侧的支撑部连接有齿条，所述挡圈另一侧的支撑部与环形基座固定连接，所述齿条与环形基座内的凹槽滑动连接，所述发射件为驱动电机，所述驱动电机通过齿轮带动齿条沿环形凹槽滑动。

5、可选地，所述挡圈和发射件均设置有两个，两所述发射件相邻设置。

6、可选地，两所述发射件之间设置有开口，当所述挡圈收缩时，所述齿条的一部分通过开口设置于环形基座之外。

7、可选地，新型挡圈结构还包括连接支架，当所述挡圈处于展开状态时，所述挡圈与连接支架接触，所述连接支架对挡圈进行固定。

8、可选地，所述连接支架开设凹槽，所述连接支架连接有定位销，当所述挡圈置于凹槽中，所述定位销与挡圈卡接，当需要所述挡圈收缩时，所述定位销与挡圈脱离接触。

9、可选地，所述连接支架的两侧均开设有凹槽，所述连接支架位于两挡圈之间。

10、可选地，所述驱动电机设置有传感器，所述传感器分别与驱动电机和定位销电连接。

11、可选地，两所述挡圈同步移动。

12、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

13、本申请中发射件控制挡圈沿环形基座上的滑槽展开或收缩，挡圈展开时可避免抛光液四处飞溅，挡圈展开时可避免因某一气缸未升起或降落导致研磨头与挡圈相撞，提高了装置的安全性。

技术特征：

1.一种新型挡圈结构，其特征在于：包括环形基座、挡圈和发射件，晶圆设置于所述环形基座内，所述环形基座沿周向开设有滑槽，所述挡圈设置于环形基座的滑槽内，所述挡圈可沿环形基座的滑槽滑动，所述发射件用于控制挡圈的展开和收缩，当所述挡圈处于展开状态时，所述挡圈分布于晶圆的四周，当所述挡圈处于收缩状态时，所述挡圈分布于晶圆的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：所述挡圈连接有支撑部，所述挡圈为可折叠的特氟龙材质，所述支撑部连接有滑轮，所述滑轮置于环形基座的滑槽中。

3.根据权利要求2所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：所述挡圈一侧的支撑部连接有齿条，所述挡圈另一侧的支撑部与环形基座固定连接，所述齿条与环形基座内的凹槽滑动连接，所述发射件为驱动电机，所述驱动电机通过齿轮带动齿条沿环形凹槽滑动。

4.根据权利要求3所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：所述挡圈和发射件均设置有两个，两所述发射件相邻设置。

5.根据权利要求4所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：两所述发射件之间设置有开口，当所述挡圈收缩时，所述齿条的一部分通过开口设置于环形基座之外。

6.根据权利要求5所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：还包括连接支架，当所述挡圈处于展开状态时，所述挡圈与连接支架接触，所述连接支架对挡圈进行固定。

7.根据权利要求6所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：所述连接支架开设凹槽，所述连接支架连接有定位销，当所述挡圈置于凹槽中，所述定位销与挡圈卡接，当需要所述挡圈收缩时，所述定位销与挡圈脱离接触。

8.根据权利要求7所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：所述连接支架的两侧均开设有凹槽，所述连接支架位于两挡圈之间。

9.根据权利要求4所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：所述驱动电机设置有传感器，所述传感器分别与驱动电机和定位销电连接。

10.根据权利要求9所述的一种新型挡圈结构，其特征在于：两所述挡圈同步移动。

技术总结
本申请提供一种新型挡圈结构，应用于晶圆挡圈技术领域，其中，包括环形基座、挡圈和发射件，晶圆设置于所述环形基座内，所述环形基座沿周向开设有滑槽，所述挡圈设置环形基座的滑槽内，所述发射件用于控制挡圈的展开和收缩，当所述挡圈处于展开状态时，所述挡圈分布于晶圆的四周，当所述挡圈处于收缩状态时，所述挡圈分布于晶圆的一侧。通过发射件控制挡圈沿环形基座上的滑槽展开或收缩，挡圈展开时可避免抛光液四处飞溅，省去了气缸控制升降的步骤，可避免因某一气缸未升起或降落导致研磨头与挡圈相撞，提高了装置的安全性。

技术研发人员：黄峰,杨俊男,闫晓晖
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：20230919
技术公布日：2024/5/19