夹持体及夹持装置的制作方法

本技术属于晶硅加工，具体而言，涉及一种夹持体及夹持装置。

背景技术：

1、在光伏制造行业中，无论是单晶还是多晶硅加工都需要在开方后对晶棒表面进行磨削加工。有效磨削的前提是在加工前将晶棒两端进行夹紧固定。由于晶棒的端面并不是平整竖直的，而现有的固定式夹头端面与晶棒端面之间存在间隙，因此，其在磨削时无法稳定地夹紧晶棒，进而导致晶棒移位、磨削质量降低。

2、基于上述内容，本申请要解决的技术问题是：如何夹紧晶棒。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种夹持体及夹持装置，解决了现有技术夹头夹持时无法与晶棒端面紧贴的问题。本申请方案的技术效果是：夹紧晶棒，提高晶棒磨削时的稳定性。

2、本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种夹持体，包括固定组件；活动组件，所述活动组件包括：活动单元，所述活动单元活动设置于所述固定组件上，所述活动单元具有一顶压端，所述顶压端用于顶压工件；弹性单元，所述弹性单元设置于所述固定组件与所述活动单元之间，可使所述活动单元始终具有与所述工件相抵的趋势；其中，所述活动组件至少具有2组，各组所述活动组件的顶压端可分别作用于所述工件表面的不同区域。

3、可以理解的是，通过设置多组活动组件，多组活动组件分别配置可以活动的活动单元以及具有弹性的弹性单元，弹性单元可使活动单元的位置或者角度随工件的平面度变化而适应性调整。示例性的，如工件受力表面具有凸出区域和凹陷区域，则工件与顶压端相抵时，其中一个弹性单元的弹性形变程度大于另一个弹性单元的弹性形变程度，或者其中一个弹性单元的弹性形变方向与另一个弹性单元的弹性形变方向互不平行。

4、在上述的夹持体中，所述顶压端具有粗糙层和/或弹性层和/或粘接层。

5、示例性的，所述粗糙层包括粗糙表面和/或凹凸表面，通过增加粗糙层可以增加摩擦力，防止顶压时滑动错位；所述弹性层可采用弹性材料制成，通过设置弹性层，可以实现小面积的倾斜微调，特别适用于工件受力表面呈倾斜状的情况；所述粘接层可通过涂敷粘接剂，优选可以方便清洗去除的粘接剂，或者设置魔术贴等方式制成，通过设置粘接层同样可以防止顶压时错位。

6、在上述的夹持体中，所述活动单元上设有吸附结构，所述吸附结构作用于顶压端，可使所述顶压端与所述工件相贴。可以理解的是，通过设置吸附结构可以保证顶压端与工件之间吸合紧贴，顶压工件或磨削工件时，工件不易滑动，保证工件加工位置的精度。

7、在上述的夹持体中，所述吸附结构包括：吸附部，所述吸附部设置于所述顶压端上；空腔，所述空腔设置于所述活动单元内，且所述空腔内形成有负压；其中，所述吸附部与所述空腔相通。

8、示例性的，吸附部可以配置成孔状或槽状，通过提供一个带有负压的空腔，并将空腔和吸附部连通，使得吸附部附近产生负压吸附力，容易快速地将顶压端与工件相贴，并且也可以防止两者滑动错位。作为形成负压空腔的一种实现方式，可通过在空腔内通入一种反应物，将空腔内的气体与该反应物反应，以减少气体含量，进而产生负压。

9、在上述的夹持体中，所述空腔内设有真空发生单元，或，所述空腔外接有真空发生单元；所述真空发生单元可使所述空腔内形成负压。

10、可以理解的是，真空发生单元可以使得空腔转为真空状态，至于真空发生单元的位置不限于空腔内或者空腔外，仅需于空腔相通即可。

11、在上述的夹持体中，所述活动单元至少部分插接/滑动连接于所述固定组件上，所述活动单元可相对于固定组件线性运动，或，

12、所述活动单元至少部分具有转动自由度，所述活动单元可相对于固定组件转动。

13、可以理解的是，插接/或滑动连接两种结构均可以保证活动单元相对固定组件进行线性运动；关于活动单元的转动自由度，可通过活动单元与固定组件铰接或活动单元上设置可转动的部分等方式实现，其中，活动单元可转动的部分可被工件或弹性单元顶压。

14、在上述的夹持体中，所述活动单元上设有第一受力部，所述弹性单元作用于所述第一受力部，以使所述活动单元具有向靠近所述工件方向运动的趋势。

15、示例性的，第一受力部可以呈块状或条状或弧状，设置于活动单元上远离顶压端的一端或其他位置，第一受力部可抵靠或连接在弹性单元上，以便于弹性单元施加弹性作用力。

16、在上述的夹持体中，所述活动单元与固定组件之间设有限位结构，所述限位结构用于限制所述活动单元脱离固定组件。

17、在上述的夹持体中，所述限位结构包括：第二受力部，所述第二受力部设置于所述活动单元上；限位部，所述限位部设置于所述固定组件上，且位于所述活动单元的活动路径上。

18、示例性的，在一些实施方式中，限位部与第二受力部至少部分相抵接，以施加作用力，阻止活动单元继续向脱离固定组件的方向运动。在一些实施方式中，限位部与第二受力部可以采用非接触式的结构，如设置相同磁极的磁性单元，利用相互排斥的特性进行限位。

19、本实用新型的另一目的还在于提供一种夹持装置，包括：上述夹持体；驱动机构，所述驱动机构设置于所述夹持体一侧，且所述驱动机构作用于所述夹持体。可以理解的是，驱动机构可驱动夹持体进给，以对工件顶压夹持。

20、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

21、1、通过设置多组活动组件并分别配置可以活动的活动单元以及具有弹性的弹性单元，弹性单元可使活动单元的位置或者角度随工件的平面度变化而适应性调整；

22、2、通过在顶压端设置粗糙层和/或弹性层和/或粘接层，可以防止滑动错位或者提供较小的平面度调整。

23、3、通过设置吸附结构可以保证顶压端与工件之间吸合紧贴，顶压工件或磨削工件时，工件不易滑动，保证工件加工位置的精度。

技术特征：

1.一种夹持体，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的夹持体，其特征在于，所述活动单元(210)至少部分插接/滑动连接于所述固定组件(100)上，所述活动单元(210)可相对于固定组件(100)线性运动，或，所述活动单元(210)至少部分具有转动自由度，所述活动单元(210)可相对于固定组件(100)转动。

3.根据权利要求1所述的夹持体，其特征在于，所述活动单元(210)上设有第一受力部(212)，所述弹性单元(220)作用于所述第一受力部(212)，以使所述活动单元(210)具有向靠近所述工件(500)方向运动的趋势。

4.根据权利要求1所述的夹持体，其特征在于，所述活动单元(210)与固定组件(100)之间设有限位结构(230)，所述限位结构(230)用于限制所述活动单元(210)脱离固定组件(100)。

5.根据权利要求4所述的夹持体，其特征在于，所述限位结构(230)包括：

6.根据权利要求1所述的夹持体，其特征在于，所述顶压端(211)具有粗糙层(2111)和/或弹性层(2112)和/或粘接层(2113)。

7.根据权利要求1所述的夹持体，其特征在于，所述活动单元(210)上设有吸附结构(213)，所述吸附结构(213)作用于顶压端(211)，可使所述顶压端(211)与所述工件(500)相贴。

8.根据权利要求7所述的夹持体，其特征在于，所述吸附结构(213)包括：

9.根据权利要求8所述的夹持体，其特征在于，所述空腔(2132)内设有真空发生单元(2133)，或，所述空腔(2132)外接有真空发生单元(2133)；所述真空发生单元(2133)可使所述空腔(2132)内形成负压。

10.一种夹持装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的夹持体，所述夹持装置还包括驱动机构(400)，所述驱动机构(400)设置于所述夹持体一侧，且所述驱动机构(400)作用于所述夹持体。

技术总结
本技术提供了一种夹持体及夹持装置，属于晶硅加工技术领域，解决了现有技术夹头夹持时无法与晶棒端面紧贴的问题。本技术包括固定组件；活动组件，所述活动组件包括：活动单元，所述活动单元活动设置于所述固定组件上，活动单元具有一顶压端，所述顶压端用于顶压工件；弹性单元，弹性单元设置于所述固定组件与活动单元之间，可使所述活动单元始终具有与所述工件相抵的趋势；其中，活动组件至少具有2组，各组所述活动组件的顶压端可分别作用于所述工件表面的不同区域。本技术通过设置多组活动组件并分别配置可以活动的活动单元以及具有弹性的弹性单元，弹性单元可使活动单元的位置或者角度随工件的平面度变化而适应性调整。

技术研发人员：曹建伟,朱亮,王金荣,胡银纲,钟杨波
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：20230926
技术公布日：2024/5/12