一种喷淋装置及处理设备的制作方法

本申请涉及喷淋设备，具体涉及一种喷淋装置及处理设备。

背景技术：

1、为了确保反应腔室内成膜的均匀性，通常气源通入腔室后需借助匀气结构将气源均一弥散在反应腔室内部，现有技术中，用于原子层沉积的匀气结构为喷淋板，将外部气源汇入喷淋板内部，通过板内集成的精密流道和小孔，将气源均匀吹入反应腔。

2、喷淋板材质多为不锈钢或铝合金，为了在板内集成的精密流道，往往需要对其进行深孔加工。深孔加工虽然现已是成熟的加工工艺，但加工喷淋板仍然存在诸多问题，如气体流道之间的相对位置及气体流道内部的光洁度问题，深孔的深度越深，光洁度越难保证，并且，深孔在加工过程中钻孔容易偏，尤其在交汇流道处极易产生错位，加工难度较大，另外，部分流道的端头还需要用堵头封堵，长时间使用后，粉尘等会附着于该堵头使得堵头咬死，给维护和拆装带来极大不便。

3、同时，由于流道集成在喷淋板内部，当流道变多时，喷淋板尺寸变大，整体重量加重，安装变得困难，若喷淋板安装在其它运动部件上时，对部件结构的要求也变高。

4、现有喷淋板结构复杂、加工困难且成本高、重量大，而如何解决此问题，是本领域技术人员所亟需解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种喷淋装置及处理设备，能够简化喷淋装置的整体结构、降低加工难度、降低成本并减轻整体重量。

2、为解决上述技术问题，本申请提供一种喷淋装置，包括板体，以及至少一组固设于所述板体的喷淋组件；所述喷淋组件包括进气部、至少两根分配管和多根平行并列设置的喷淋管，所述分配管分别与所述进气部以及各所述喷淋管连通，各所述分配管沿所述喷淋管的轴向间隔设置；所述喷淋管位于所述板体的出气侧，且所述喷淋管朝向出气侧的壁面沿长度方向间隔设置有多喷淋孔。

3、采用与板体固定的管件连通组成气体流道，气源提供气体能够由气体流道喷出至反应腔室内，各管件可采用内部抛光的标准管即可，取材方便。由于管道外置于板体，便于拆装和维修操作。板体内无需加工流道，并且，板体的侧表面无需加工，可有效简化加工工艺、降低成本。由于板体仅用于安装各管体以及封堵反应腔室的进气口端，所以板体的厚度可大大减小，该板体可采用5mm-10mm厚的不锈钢板，如此能够降低该板体的体积、重量和成本。各管体之间的连通可通过焊接密封实现即可。

4、每组喷淋组件的分配管的数量为至少两根，每根分配管都分别与进气部连通，并且每根分配管都分别与各喷淋管连通，并在连通处形成一个进气点，不难理解，进气点越多，喷淋管内的气体分布越均匀，由喷淋孔喷出的工艺气体越均匀。

5、以喷淋组件包括两根分配管为例，两根分配管分别与喷淋管的两端连通，通过两根分配管将气体从两个进气点通入喷淋管内，相较于仅通过一端向喷淋管内通入气体的方案来说，能够使得喷淋管内的气体分布更均匀，保证由喷淋管喷出至反应腔室内的气体更均匀，进而保证该处理设备的处理效果。

6、当然，每组喷淋组件也可以包括三根或更多根的分配管，各分配管是沿喷淋管的轴向间隔设置的，相当于喷淋管沿轴向方向间隔设置有多个进气点，如此能够保证各喷淋管内的气体分布更均匀，进而保证由喷淋孔喷出的气体均匀。

7、而两根分配管的设置，能够在保证喷淋管内气体分布均匀的同时，还能够简化整体结构和安装操作。分配管的数量可根据喷淋管的长度设置即可，喷淋管的长度较长时，可适当增加分配管的数量，以保证喷淋管内部气体的分布均匀性，进而保证喷淋气体的均匀性。

8、可选地，所述喷淋组件包括两根所述分配管。

9、可选地，所述喷淋组件包括两组所述进气部，两组所述进气部分别与所述分配管的两侧端连通。

10、可选地，所述进气部包括进气管和主管，所述进气管与所述主管连通，所述主管分别与各所述分配管连通。

11、可选地，所述主管和所述分配管位于所述板体的同侧，所述主管和所述分配管直接连通。

12、可选地，所述主管和所述分配管分别位于所述板体的两侧，所述主管和所述分配管之间通过第一连通管连通，所述第一连通管穿过所述板体。

13、可选地，所述喷淋组件的数量为至少两组，各组所述喷淋组件的所述喷淋管平行，并沿所述板体的出气侧的表面间隔错开布置。

14、可选地，所述分配管位于所述板体的出气侧，各所述喷淋组件的所述喷淋管沿所述板体的厚度方向间隔设置。

15、可选地，所述分配管位于所述板体背离所述出气侧的一侧，所述分配管和所述喷淋管之间通过第二连通管连通，所述第二连通管穿过所述板体，且各组所述喷淋组件的所述喷淋管的轴线共面并与所述板体面平行。

16、可选地，还包括罩体，所述罩体沿周向设置，并固设于所述板体的出气侧。

17、可选地，所述板体沿厚度方向还贯穿设有通气孔。

18、本申请还提供了一种处理设备，包括载具以及如上所述的喷淋装置，所述载具设有反应腔室，所述喷淋装置的所述板体能够封堵所述反应腔室的气体入口，且所述板体的出气侧朝向所述反应腔室。

19、具有如上所述的喷淋装置的处理设备，其技术效果与上述喷淋装置的技术效果类似，为节约篇幅，在此不再赘述。

技术特征：

1.一种喷淋装置，其特征在于，包括板体(1)以及至少一组固设于所述板体(1)的喷淋组件(2)；

2.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋组件(2)包括两根所述分配管(22)。

3.根据权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋组件(2)包括两组所述进气部(21)，两组所述进气部(21)分别与所述分配管(22)的两侧端连通。

4.根据权利要求1-3任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述进气部(21)包括进气管(211)和主管(212)，所述进气管(211)与所述主管(212)连通，所述主管(212)分别与各所述分配管(22)连通。

5.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，所述主管(212)和所述分配管(22)位于所述板体(1)的同侧，所述主管(212)和所述分配管(22)直接连通。

6.根据权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于，所述主管(212)和所述分配管(22)分别位于所述板体(1)的两侧，所述主管(212)和所述分配管(22)之间通过第一连通管(24)连通，所述第一连通管(24)穿过所述板体(1)。

7.根据权利要求1-3任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋组件(2)的数量为至少两组，各组所述喷淋组件(2)的所述喷淋管(23)平行，并沿所述板体(1)的出气侧的表面间隔错开布置。

8.根据权利要求7所述的喷淋装置，其特征在于，所述分配管(22)位于所述板体(1)的出气侧，各所述喷淋组件(2)的所述喷淋管(23)沿所述板体(1)的厚度方向间隔设置。

9.根据权利要求7所述的喷淋装置，其特征在于，所述分配管(22)位于所述板体(1)背离所述出气侧的一侧，所述分配管(22)和所述喷淋管(23)之间通过第二连通管连通，所述第二连通管穿过所述板体(1)，且各组所述喷淋组件(2)的所述喷淋管(23)的轴线共面并与所述板体(1)面平行。

10.根据权利要求1-3任一项所述的喷淋装置，其特征在于，还包括罩体，所述罩体沿周向设置，并固设于所述板体(1)的出气侧。

11.根据权利要求1-3任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述板体(1)沿厚度方向还贯穿设有通气孔。

12.一种处理设备，其特征在于，包括载具(200)以及如权利要求1-11任一项所述的喷淋装置，所述载具(200)设有反应腔室(210)，所述喷淋装置的所述板体(1)能够封堵所述反应腔室(210)的气体入口，且所述板体(1)的出气侧朝向所述反应腔室(210)。

技术总结
本申请涉及一种喷淋装置及处理设备，其中，喷淋装置包括板体以及至少一组固设于板体的喷淋组件；喷淋组件包括进气部、至少两根分配管和多根平行并列设置的喷淋管，分配管分别与进气部以及各喷淋管连通，各分配管沿喷淋管的轴向间隔设置；喷淋管位于板体的出气侧，且喷淋管朝向出气侧的壁面沿长度方向间隔设置有多喷淋孔。本方案能够简化喷淋装置的整体结构、降低加工难度、降低成本并减轻整体重量。

技术研发人员：施述鹏,康旭
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：20230928
技术公布日：2024/5/16