一种防止压合板变形的蒸镀装置的制作方法

本技术涉及显示面板生产设备，尤其涉及一种防止压合板变形的蒸镀装置。

背景技术：

1、oled，即有机发光二极管(organic light-emitting diode)，因具有自发光、轻薄、宽视角、高响应等特点，使其成为继lcd后新一代的显示器。其制程工艺主要在真空环境下利用蒸发源将有机材料加热后蒸发，蒸发的材料再沉积在tft基板上，形成电子注入、电子传输、有机发光、空穴传输、空穴注入、阴极金属等oled器件的各膜层。蒸镀过程需先将基板与金属掩膜板(mask)进行对位。现有的蒸镀对位机构一般包括磁板1、ccd(图中未示出)、金属掩膜板4、压合板2(touchplate)、基板承接机构(图中未示出)，如图1。基板由机械手臂传送至压合板2与金属掩膜板4之间，承接机构接收基板后，机械手臂退出，然后承接机构再把基板下放至金属掩膜板4上。压合板2通过连接机构3安装于磁板1的下方，且连接机构3能够相对于磁板1滑动，压合板2下压基板时，压合板2和磁板1的间距减小。

2、蒸镀过程中，压合板2、基板11、金属掩膜板4(mask)贴合在一起，如图2，使有机材料可以透过掩膜板的镂空位置精确沉积在基板上特定位置。蒸镀完成，基板传出蒸镀腔体，压合板通过4个连接机构(guide)悬挂于磁板下方，如图3。压合板悬挂时间长了，会产生一些变形，压合板变形后会产生以下问题：

3、1、压合板变形后，蒸镀过程中压合板、基板、金属掩膜板就无法紧密贴合在一起，导致有机材料无法准确沉积在基板上特定位置，生产出来的产品容易产生混色问题。

4、2、压合板变形后，压合板压在基板上的时候，基板因受力不均匀，易产生破裂问题。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种防止压合板变形的蒸镀装置，可大量缩短压合板的悬挂时间，提高压合板寿命，从而减少因压合板更换导致设备宕机时间，减少因压合板变形产生的不良产品。

2、本实用新型是这样实现的：

3、本实用新型提供了一种防止压合板变形的蒸镀装置，包括有磁板、连接机构以及压合板，所述压合板通过连接机构安装于磁板的下方，所述蒸镀装置还包括有支撑板、载台以及安装在载台中部的金属掩膜板；所述支撑板的中部开设有与金属掩膜板相匹配的贯通槽；

4、所述载台开设有用于容纳支撑板的凹槽，所述凹槽沿金属掩膜板的外缘设置在载台的顶部，所述载台连接有驱动支撑板移动的升降装置；

5、所述支撑板具有以下两个位置状态：

6、状态一：蒸镀过程中，升降装置缩回，所述支撑板被收纳在凹槽中；

7、状态二：蒸镀完成后，升降装置伸出，所述支撑板与压合板的底部相贴合，以减少压合板悬挂时间。

8、进一步的，所述凹槽的深度小于支撑板的厚度，所述凹槽的宽度大于支撑板的宽度。

9、进一步的，所述凹槽与载台顶部的交界处设置有倒角。

10、进一步的，所述升降装置包括有安装在载台底部的气缸，所述凹槽的底部开设有通孔，所述气缸的输出端穿过通孔与支撑板连接。

11、进一步的，所述支撑板顶部开设有用于避让基板承接机构的方形槽。

12、进一步的，所述支撑板顶部开设有用于安装缓冲机构的安装槽，所述缓冲机构包括有缓冲壳和缓冲杆，所述缓冲壳内腔设置有缓冲件，所述缓冲杆的一端贯穿缓冲壳顶壁与缓冲件连接，且所述缓冲杆未受压时，缓冲杆的上端部高于支撑板。

13、进一步的，所述缓冲件为弹簧或由阻尼材料制成的缓冲块。

14、进一步的，所述阻尼材料为丁基橡胶或聚氨酯泡沫。

15、进一步的，所述支撑板上表面镀有与压合板外层材质相同的保护层。

16、本实用新型的优点在于：在蒸镀完成后，压合板可由支撑板支撑起来，从而大量减少压合板的悬挂时间，提高压合板寿命，继而减少因压合板变形而导致的产品混色问题，减少因压合板变形而导致的基板破裂问题，提高产品良率，减少生产成本。

技术特征：

1.一种防止压合板变形的蒸镀装置，包括有磁板、连接机构以及压合板，所述压合板通过连接机构安装于磁板的下方，其特征在于：所述蒸镀装置还包括有支撑板、载台以及安装在载台中部的金属掩膜板；所述支撑板的中部开设有与金属掩膜板相匹配的贯通槽；

2.如权利要求1所述的一种防止压合板变形的蒸镀装置，其特征在于：所述凹槽的深度小于支撑板的厚度，所述凹槽的宽度大于支撑板的宽度。

3.如权利要求2所述的一种防止压合板变形的蒸镀装置，其特征在于：所述凹槽与载台顶部的交界处设置有倒角。

4.如权利要求1所述的一种防止压合板变形的蒸镀装置，其特征在于：所述升降装置包括有安装在载台底部的气缸，所述凹槽的底部开设有通孔，所述气缸的输出端穿过通孔与支撑板连接。

5.如权利要求1所述的一种防止压合板变形的蒸镀装置，其特征在于：所述支撑板顶部开设有用于避让基板承接机构的方形槽。

6.如权利要求1所述的一种防止压合板变形的蒸镀装置，其特征在于：所述支撑板顶部开设有用于安装缓冲机构的安装槽，所述缓冲机构包括有缓冲壳和缓冲杆，所述缓冲壳内腔设置有缓冲件，所述缓冲杆的一端贯穿缓冲壳顶壁与缓冲件连接，且所述缓冲杆未受压时，缓冲杆的上端部高于支撑板。

7.如权利要求6所述的一种防止压合板变形的蒸镀装置，其特征在于：所述缓冲件为弹簧或由阻尼材料制成的缓冲块。

8.如权利要求7所述的一种防止压合板变形的蒸镀装置，其特征在于：所述阻尼材料为丁基橡胶或聚氨酯泡沫。

9.如权利要求1所述的一种防止压合板变形的蒸镀装置，其特征在于：所述支撑板上表面镀有与压合板外层材质相同的保护层。

技术总结
本技术提供一种防止压合板变形的蒸镀装置，包括有磁板、连接机构以及压合板，蒸镀装置还包括有支撑板、载台以及金属掩膜板；载台开设有凹槽，凹槽沿金属掩膜板的外缘设置在载台的顶部，载台连接有驱动支撑板移动的升降装置；支撑板具有以下两个位置状态：状态一：蒸镀过程中，升降装置缩回，支撑板被收纳在凹槽中；状态二：蒸镀完成后，升降装置伸出，支撑板与压合板的底部相贴合，以减少压合板悬挂时间。在蒸镀完成后，压合板可由支撑板支撑起来，从而大量减少压合板的悬挂时间，提高压合板寿命，继而减少因压合板变形而导致的产品混色问题，减少因压合板变形而导致的基板破裂问题，提高产品良率，减少生产成本。

技术研发人员：郑国清,林志斌,林泽
受保护的技术使用者：福建华佳彩有限公司
技术研发日：20231017
技术公布日：2024/5/16