具有阴极保护组件的溅射靶材装置的制作方法

：本技术涉及溅射镀膜设备，具体的说是一种能够有效减少靶材背板侧边污染、克服异常放电问题的具有阴极保护组件的溅射靶材装置。

背景技术

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背景技术：

1、磁控溅射镀膜技术利用高能电子轰击靶材，使靶材表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，在成膜腔内部，在磁场和电场的共同作用下，溅射物会最大程度的溅射在基板表面，并且最终沉积在基板表面，形成薄膜。

2、对于靶材的固定和绝缘处理，传统的方式是靶材固定后，外边安装绝缘接地护罩，然后在绝缘接地护罩上方安装压板，通过压板对铜背板进行遮挡，由于绝缘接地保护罩与靶材之间还需要留有一定的绝缘安全距离，这样就给靶材与绝缘接地护罩之间的铜背板留下来裸露区域，因裸露区域没有进行有效遮挡，在磁控溅射过程中，裸露的铜背板区域会不断的被镀上膜，这种膜的膜质疏松，很容易剥落，剥落的膜不仅能造成基板表面的异物污染，严重的还有可能造成阴极和阳极之间距离的减少，从而导致短路现象的发生。另外在溅射放电过程中压板和靶材间经常会有打火情况发生，这种情况不仅会造成产品品质的异常，严重的还会对溅射电源和溅射设备造成损伤。

技术实现思路

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技术实现要素：

1、本实用新型针对现有技术中存在的缺点和不足，提出了一种能够有效减少靶材背板侧边污染、克服异常放电问题的具有阴极保护组件的溅射靶材装置。

2、本实用新型通过以下措施达到：

3、一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，设有靶材、铜背板、靶材固定框、绝缘接地护罩，其中靶材经铜背板固定在靶材固定框上，绝缘接地护罩具有框式主体，绝缘接地护罩绕靶材外周设置且绝缘接地护罩与靶材之间保持绝缘距离，其特征在于，还设有阴极保护组件，所述阴极保护组件包括压板和绝缘陶瓷挡板，所述绝缘陶瓷挡板的横截面呈u型，绝缘陶瓷挡板的u型端口朝外固定在靶材外侧，并绕靶材外周设置，压板一侧与绝缘接地保护罩固定连接，压板的另一侧伸入绝缘陶瓷挡板的u型端口内以压合固定绝缘陶瓷挡板。

4、本实用新型所述绝缘陶瓷挡板采用厚度不低于1mm的陶瓷材料一次成型，以提供良好的绝缘保护效果。

5、本实用新型所述绝缘陶瓷挡板的上表面与固定在铜背板上的靶材的上表面平齐设置。

6、本实用新型所述压板伸入绝缘陶瓷挡板的u型端口的长度不低于5mm，以保证对绝缘陶瓷挡板的有效固定。

7、本实用新型所述压板与绝缘陶瓷挡板的外表面上设有喷砂层，用于提高外表面的粗糙度，防止产生的镀膜异物脱落影响产品质量或造成短路故障。

8、本实用新型所述绝缘陶瓷挡板具有三个平整的外表面，用于与所述靶材侧面以及铜背板表面紧密贴合。

9、本实用新型所述靶材固定框下方设有绝缘垫板，绝缘垫板设置在作为溅射靶材阳极的不锈钢底板上，所述绝缘接地保护罩经螺钉固定在所述不锈钢底板上。

10、本实用新型所述靶材固定框内还设有与所述铜背板的下表面固定的磁铁和磁轭，进一步，所述靶材固定框内还设有用于为铜背板进行降温散热处理的水冷组件。

11、本实用新型通过在靶材和绝缘接地护罩之间增加开口向外u型绝缘陶瓷挡板以及压板，针对金属靶材溅射物具有导电性的特性，保证了靶材放电时的绝缘要求，还有效防止了长期放电导致靶材铜背板上的不良膜累积，可以方便的定期进行更换，与现有技术相比，不但提高了镀膜基板的品质，还有效的保护了镀膜设备和电源。

技术特征：

1.一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，设有靶材、铜背板、靶材固定框、绝缘接地护罩，其中靶材经铜背板固定在靶材固定框上，绝缘接地护罩具有框式主体，绝缘接地护罩绕靶材外周设置且绝缘接地护罩与靶材之间保持绝缘距离，其特征在于，还设有阴极保护组件，所述阴极保护组件包括压板和绝缘陶瓷挡板，所述绝缘陶瓷挡板的横截面呈u型，绝缘陶瓷挡板的u型端口朝外固定在靶材外侧，并绕靶材外周设置，压板一侧与绝缘接地保护罩固定连接，压板的另一侧伸入绝缘陶瓷挡板的u型端口内以压合固定绝缘陶瓷挡板。

2.根据权利要求1所述的一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，其特征在于，所述绝缘陶瓷挡板采用厚度不低于1mm的陶瓷材料一次成型。

3.根据权利要求1所述的一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，其特征在于，所述绝缘陶瓷挡板的上表面与固定在铜背板上的靶材的上表面平齐设置。

4.根据权利要求1所述的一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，其特征在于，所述压板伸入绝缘陶瓷挡板的u型端口的长度不低于5mm，以保证对绝缘陶瓷挡板的有效固定。

5.根据权利要求1所述的一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，其特征在于，所述压板与绝缘陶瓷挡板的外表面上设有喷砂层。

6.根据权利要求1所述的一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，其特征在于，所述绝缘陶瓷挡板具有三个平整的外表面，用于与所述靶材侧面以及铜背板表面紧密贴合。

7.根据权利要求1所述的一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，其特征在于，所述靶材固定框下方设有绝缘垫板，绝缘垫板设置在作为溅射靶材阳极的不锈钢底板上，所述绝缘接地保护罩经螺钉固定在所述不锈钢底板上。

8.根据权利要求1所述的一种具有阴极保护组件的溅射靶材装置，其特征在于，所述靶材固定框内还设有与所述铜背板的下表面固定的磁铁和磁轭，所述靶材固定框内还设有用于为铜背板进行降温散热处理的水冷组件。

技术总结
本技术涉及溅射镀膜设备技术领域，具体的说是一种能够有效减少靶材背板侧边污染、克服异常放电问题的具有阴极保护组件的溅射靶材装置，还设有阴极保护组件，所述阴极保护组件包括压板和绝缘陶瓷挡板，所述绝缘陶瓷挡板的横截面呈U型，绝缘陶瓷挡板的U型端口朝外固定在靶材外侧，并绕靶材外周设置，压板一侧与绝缘接地保护罩固定连接，压板的另一侧伸入绝缘陶瓷挡板的U型端口内以压合固定绝缘陶瓷挡板，与现有技术相比，不但提高了镀膜基板的品质，还有效的保护了镀膜设备和电源。

技术研发人员：迟善述,于强,永野真一郎,张庆祝
受保护的技术使用者：山东华菱电子股份有限公司
技术研发日：20231018
技术公布日：2024/6/13