一种带夹边装置的磁控溅射设备的制作方法

本技术涉及磁控溅射，更具体地说，是涉及一种带夹边装置的磁控溅射设备。

背景技术：

1、复合集流体是在高分子基膜两侧镀上铜或铝的一种复合导电薄膜，用于锂电池中相比传统集流体能够提高电池的安全性和能量密度。复合集流体的制备工艺流程中，通常先通过磁控溅射的方法将高分子基膜表面金属化。在进行磁控溅射镀膜时，基膜表面分为中间的镀膜区和两侧的留白区，镀膜区内进行磁控溅射镀膜，留白区上方设置有挡板，留白区内不进行镀膜。

2、磁控溅射过程中，薄膜表面容易出现褶皱，从而对薄膜质量造成影响。为了避免膜面起皱，现有技术使用展平辊对膜面进行展平，展平辊是一根中间高两边低的弯辊。由于薄膜中部和边缘在展平辊上的走膜速度存在差异，薄膜经过展平辊后，在薄膜边缘部分容易出现褶皱。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种带夹边装置的磁控溅射设备，解决了磁控设备中薄膜经过展平辊后边缘容易起皱的问题。

2、本实用新型技术方案如下所述：一种带夹边装置的磁控溅射设备，包括真空腔室以及设置在所述真空腔室内的镀膜辊系，沿着薄膜的走带方向，所述镀膜辊系包括依次设置的展平辊、第一过辊以及设置在所述展平辊和所述第一过辊之间的第一夹边装置，所述第一夹边装置用于对薄膜的上下表面施加压力以将薄膜的边缘进行展平。

3、进一步地，所述镀膜辊系还包括第二过辊和第二夹边装置，所述第二夹边装置设置在所述第一过辊和所述第二过辊之间，所述第二夹边装置用于对薄膜的上下表面施加压力以将薄膜的边缘进行展平。

4、进一步地，所述第一夹边装置和所述第二夹边装置结构相同，所述第一夹边装置包括第一夹边轮以及与所述第一夹边轮对应设置的第二夹边轮，所述第一夹边轮和所述第二夹边轮相配合以用于分别对薄膜两侧施加压力，以使得薄膜边缘展平。

5、进一步地，所述第一夹边装置还包括底座以及设置在所述底座上的支板，所述第一夹边轮和所述第二夹边轮安装在所述支板的同一侧且分别与所述支板连接。

6、进一步地，所述支板上设置有顶升部件，所述顶升部件包括顶升杆和基座，所述基座设置在所述支板上，所述顶升杆的一端与所述第一夹边轮的连接轴连接，所述顶升杆的另一端与所述基座连接，所述基座驱动所述顶升杆上下往复运动，所述第一夹边轮在所述顶升杆的带动下绕上下方向转动，以使得所述第一夹边轮靠近或远离所述第二夹边轮。

7、进一步地，所述第一夹边装置和所述第二夹边装置均通过所述底座固定在带夹边装置的磁控溅射设备内壁的机架上。

8、进一步地，所述底座上开设有一对弧形槽，螺钉一端穿过所述弧形槽并锁紧在带夹边装置的磁控溅射设备内壁的机架上，以将所述底座固定在机架上。

9、进一步地，所述镀膜辊系还包括放卷辊、收卷辊、张力辊和主辊，所述张力辊和所述主辊设置在所述放卷辊和所述收卷辊之间，所述张力辊用于控制薄膜的张力，所述主辊用于对薄膜的表面进行镀膜。

10、进一步地，所述主辊设置有两个，两个所述主辊对称地设置于真空腔室内，且两个所述主辊外的薄膜包覆方向相反。

11、根据上述方案的本实用新型，其有益效果在于：本实用新型提供了一种带夹边装置的磁控溅射设备，包括真空腔室以及设置在真空腔室内的镀膜辊系，沿着薄膜的走带方向，镀膜辊系包括依次设置的展平辊、第一过辊以及设置在展平辊和第一过辊之间的第一夹边装置，由于薄膜经过展平辊之后容易出现边缘起皱的现象，通过在展平辊之后增设第一夹边装置，利用第一夹边装置对薄膜的上下表面施加压力以将薄膜的边缘进行展平，第一夹边装置能够对涂布有导电层的薄膜边缘产生拉伸的作用力，从而消除薄膜边缘的应力，避免薄膜在过辊上形成褶皱。

技术特征：

1.一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于，包括真空腔室以及设置在所述真空腔室内的镀膜辊系，沿着薄膜的走带方向，所述镀膜辊系包括依次设置的展平辊(1)、第一过辊(2)以及设置在所述展平辊(1)和所述第一过辊(2)之间的第一夹边装置(3)，所述第一夹边装置(3)用于对薄膜的上下表面施加压力以将薄膜的边缘进行展平。

2.如权利要求1所述的一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于：所述镀膜辊系还包括第二过辊(4)和第二夹边装置(5)，所述第二夹边装置(5)设置在所述第一过辊(2)和所述第二过辊(4)之间，所述第二夹边装置(5)用于对薄膜的上下表面施加压力以将薄膜的边缘进行展平。

3.如权利要求2所述的一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于：所述第一夹边装置(3)和所述第二夹边装置(5)结构相同，所述第一夹边装置(3)包括第一夹边轮(31)以及与所述第一夹边轮(31)对应设置的第二夹边轮(32)，所述第一夹边轮(31)和所述第二夹边轮(32)相配合以用于分别对薄膜两侧施加压力，以使得薄膜边缘展平。

4.如权利要求3所述的一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于：所述第一夹边装置(3)还包括底座(33)以及设置在所述底座(33)上的支板(34)，所述第一夹边轮(31)和所述第二夹边轮(32)安装在所述支板(34)的同一侧且分别与所述支板(34)连接。

5.如权利要求4所述的一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于：所述支板(34)上设置有顶升部件(35)，所述顶升部件(35)包括顶升杆(351)和基座(352)，所述基座(352)设置在所述支板(34)上，所述顶升杆(351)的一端与所述第一夹边轮(31)的连接轴(36)连接，所述顶升杆(351)的另一端与所述基座(352)连接，所述基座(352)驱动所述顶升杆(351)上下往复运动，所述第一夹边轮(31)在所述顶升杆(351)的带动下绕上下方向转动，以使得所述第一夹边轮(31)靠近或远离所述第二夹边轮(32)。

6.如权利要求4~5任意一项所述的一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于：所述第一夹边装置(3)和所述第二夹边装置(5)均通过所述底座(33)固定在带夹边装置的磁控溅射设备内壁的机架上。

7.如权利要求4~5任意一项所述的一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于：所述底座(33)上开设有一对弧形槽(331)，螺钉一端穿过所述弧形槽(331)并锁紧在带夹边装置的磁控溅射设备内壁的机架上，以将所述底座(33)固定在机架上。

8.如权利要求1~5任意一项所述的一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于：所述镀膜辊系还包括放卷辊(6)、收卷辊(7)、张力辊(8)和主辊(9)，所述张力辊(8)和所述主辊(9)设置在所述放卷辊(6)和所述收卷辊(7)之间，所述张力辊(8)用于控制薄膜的张力，所述主辊(9)用于对薄膜的表面进行镀膜。

9.如权利要求8所述的一种带夹边装置的磁控溅射设备，其特征在于：所述主辊(9)设置有两个，两个所述主辊(9)对称地设置于真空腔室内，且两个所述主辊(9)外的薄膜包覆方向相反。

技术总结
本技术公开了一种带夹边装置的磁控溅射设备，包括真空腔室以及设置在真空腔室内的镀膜辊系，沿着薄膜的走带方向，镀膜辊系包括依次设置的展平辊、第一过辊以及设置在展平辊和第一过辊之间的第一夹边装置，由于薄膜经过展平辊之后容易出现边缘起皱的现象，通过在展平辊之后增设第一夹边装置，利用第一夹边装置对薄膜的上下表面施加压力以将薄膜的边缘进行展平，第一夹边装置能够对涂布有导电层的薄膜边缘产生拉伸的作用力，从而消除薄膜边缘的应力，避免薄膜在过辊上形成褶皱。

技术研发人员：臧伟,罗能铁
受保护的技术使用者：深圳市镭煜科技有限公司
技术研发日：20231123
技术公布日：2024/8/13