一种溅射工艺晶圆固定结构的制作方法

本技术涉及溅射工艺领域，具体是一种溅射工艺晶圆固定结构。

背景技术：

1、溅射工艺是以一定能量的粒子轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺，溅射只能在一定的真空状态下进行。

2、现有的一种溅射工艺晶圆固定结构具体可参考申请号为：cn202021671287.8的一种用于溅射工艺的晶圆固定结构和晶圆溅射装置，包括：非金属平台，具有放置所述晶圆的工作面，所述工作面为能够与所述晶圆贴合的平面，所述工作面能够覆盖所述晶圆的非溅射面；固定件，设置于所述工作面的上方，能够压紧在所述晶圆的溅射面上，进而将所述晶圆压紧在所述工作面上。本公开能够防止溅射作业过程中电离子上下导通击穿晶圆，确保晶圆质量，提高良品率；

3、上述的装置主体并未设置有可同时适配不同大小型号的晶圆进行固定的组件，由于晶圆的大小型号有很多种，当现有的装置在进行固定时，无法根据不同大小的晶圆来进行调节固定，从而存在局限性，因此，针对上述问题提出一种溅射工艺晶圆固定结构。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，现有的装置主体并未设置有可同时适配不同大小型号的晶圆进行固定的组件，由于晶圆的大小型号有很多种，当现有的装置在进行固定时，无法根据不同大小的晶圆来进行调节固定，从而存在局限性的问题，本实用新型提出一种溅射工艺晶圆固定结构。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种溅射工艺晶圆固定结构，包括底板；所述底板顶端与放置板底端固定连接，所述底板上方设置有固定机构；

3、所述固定机构包括凹槽，所述凹槽开设在底板顶端，且凹槽内部底端靠近中间位置处与电机底端固定连接，所述电机顶端与第一齿轮底端固定连接，所述第一齿轮的两侧皆设置有第二齿轮，且第一齿轮的侧端与第二齿轮的一侧卡合，所述第二齿轮后端与螺纹杆后端固定连接。

4、优选的，所述螺纹杆前端与转动块后端固定连接，所述凹槽内部两侧皆开设有转动槽，所述转动槽套设在转动块前端的外侧，且转动槽与转动块转动连接。

5、优选的，所述螺纹杆的外侧套设有移动块，且螺纹杆与移动块螺纹连接，所述移动块靠近顶端的一侧与固定杆后端固定连接，所述固定杆内部底端与复位弹簧后端固定连接，所述复位弹簧前端与移动杆后端固定连接。

6、优选的，所述移动杆前端与固定块后端固定连接，所述固定块前端与夹持块后端固定连接，且夹持块为橡胶材质设计。

7、优选的，所述螺纹杆的靠近后端位置处的外侧套设有支撑块，且螺纹杆与支撑块转动连接，所述支撑块底端与凹槽内部底端固定连接。

8、优选的，所述凹槽侧端与导向杆一端固定连接，所述导向杆的另一端与支撑块侧端固定连接，所述移动块靠近下方位置处套设在导向杆的外侧，且移动块与导向杆滑动连接。

9、本实用新型的有益之处在于：

10、1.本实用新型通过固定机构的结构设计，实现了可对不同大小的型号进行固定的功能，解决了现有的装置主体并未设置有可同时适配不同大小型号的晶圆进行固定的组件，由于晶圆的大小型号有很多种，当现有的装置在进行固定时，无法根据不同大小的晶圆来进行调节固定，从而存在局限性的问题，提高了对不同型号的晶圆的适用性；

11、2.本实用新型通过固定机构的结构设计，实现了在对晶圆固定时可起到保护的功能，解决了现有的装置在固定时，若施加的压力过大，极易对晶圆主体造成影响，严重时晶圆极易出现破裂损坏的情况，从而增加了损坏率的问题，提高了对晶圆的保护。

技术特征：

1.一种溅射工艺晶圆固定结构，包括底板(1)；其特征在于：所述底板(1)顶端与放置板(2)底端固定连接，所述底板(1)上方设置有固定机构；

2.根据权利要求1所述的一种溅射工艺晶圆固定结构，其特征在于：所述螺纹杆(14)前端与转动块(15)后端固定连接，所述凹槽(10)内部两侧皆开设有转动槽(16)，所述转动槽(16)套设在转动块(15)前端的外侧，且转动槽(16)与转动块(15)转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种溅射工艺晶圆固定结构，其特征在于：所述螺纹杆(14)的外侧套设有移动块(18)，且螺纹杆(14)与移动块(18)螺纹连接，所述移动块(18)靠近顶端的一侧与固定杆(19)后端固定连接，所述固定杆(19)内部底端与复位弹簧(20)后端固定连接，所述复位弹簧(20)前端与移动杆(21)后端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种溅射工艺晶圆固定结构，其特征在于：所述移动杆(21)前端与固定块(22)后端固定连接，所述固定块(22)前端与夹持块(23)后端固定连接，且夹持块(23)为橡胶材质设计。

5.根据权利要求4所述的一种溅射工艺晶圆固定结构，其特征在于：所述螺纹杆(14)的靠近后端位置处的外侧套设有支撑块(17)，且螺纹杆(14)与支撑块(17)转动连接，所述支撑块(17)底端与凹槽(10)内部底端固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种溅射工艺晶圆固定结构，其特征在于：所述凹槽(10)侧端与导向杆(24)一端固定连接，所述导向杆(24)的另一端与支撑块(17)侧端固定连接，所述移动块(18)靠近下方位置处套设在导向杆(24)的外侧，且移动块(18)与导向杆(24)滑动连接。

技术总结
本技术属于溅射工艺领域，具体的说是一种溅射工艺晶圆固定结构，包括底板；所述底板顶端与放置板底端固定连接，所述底板上方设置有固定机构；所述固定机构包括凹槽，所述凹槽开设在底板顶端，且凹槽内部底端靠近中间位置处与电机底端固定连接，所述电机顶端与第一齿轮底端固定连接，所述第一齿轮的两侧皆设置有第二齿轮；通过固定机构的设计，实现了可对不同大小的型号进行固定的功能，解决了现有的装置主体并未设置有可同时适配不同大小型号的晶圆进行固定的组件，由于晶圆的大小型号有很多种，当现有的装置在进行固定时，无法根据不同大小的晶圆来进行调节固定，从而存在局限性的问题，提高了对不同型号的晶圆的适用性。

技术研发人员：褚陈伟,黄昭仁,焦娟娟
受保护的技术使用者：宁波齐芯半导体科技有限公司
技术研发日：20231221
技术公布日：2024/7/23