信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法与流程

本发明涉及一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、信息处理方法、推导方法、及机器学习方法。

背景技术：

1、作为对半导体晶片等基板进行各种基板处理的基板处理装置之一，已知有进行化学机械研磨(chemical mechanical polishing，cmp)处理的基板处理装置。此种基板处理装置例如包括：研磨单元，进行基板的研磨处理；精加工单元，进行研磨处理后的基板的精加工处理(例如清洗处理或干燥处理)；以及搬送单元，进行在各单元间搬送基板的搬送处理，且构成为，通过使各单元依次运行来执行一系列的处理(例如参照专利文献1)。

2、[现有技术文献]

3、[专利文献]

4、[专利文献1]日本专利特开2007-301690号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、作为对基板处理装置的运转进行管理时的指标，使用每单位时间的基板的目标处理片数(所谓的每小时晶片数(wafer per hour，wph)的目标值)。在研磨单元或精加工单元等基板处理单元中进行的基板处理的处理内容由配方信息规定，因此根据配方信息的设定，基板处理所需的基板处理时间发生变动，对目标处理片数的实现产生影响。特别是，为了提高基板处理的处理性能(基板面的品质等)，有基板处理时间变长的倾向。此时，在基板处理装置的运转中，不仅在基板处理单元中进行基板处理，而且还在搬送处理单元中进行搬送处理。因此，难以掌握为了在实现目标处理片数的同时提高基板处理的处理性能，在按照配方信息进行的基板处理中能够利用何种程度的时间。

3、本发明鉴于所述课题，其目的在于提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、信息处理方法、推导方法、及机器学习方法，所述信息处理装置能够支援对基板处理装置中的基板处理的处理内容进行规定的配方信息的设定。

4、[解决问题的技术手段]

5、为了实现所述目的，本发明的一形态的信息处理装置对基板处理装置的运转进行支援，

6、所述基板处理装置包括：基板处理单元，按照表示基板处理的处理内容的配方信息进行对基板的所述基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述信息处理装置包括：

7、目标处理片数受理部，受理在所述基板处理装置中执行反复进行对多个所述基板的所述基板处理及所述搬送处理的处理动作时的每单位时间的所述基板的目标处理片数；

8、装置信息获取部，获取包含对执行所述处理动作时的所述搬送处理的运行状态进行规定的搬送处理信息的装置信息；以及

9、支援信息生成部，基于由所述目标处理片数受理部受理到的所述目标处理片数、及由所述装置信息获取部获取的所述装置信息，生成包含在按照所述配方信息进行的所述基板处理中能够利用的配方能利用时间的支援信息。

10、[发明的效果]

11、根据本发明的一形态的信息处理装置，支援信息生成部基于每单位时间的基板的目标处理片数、及包含对搬送处理的运行状态进行规定的搬送处理信息的装置信息生成支援信息，所述支援信息包含在按照配方信息进行的基板处理中能够利用的配方能利用时间。因此，在进行配方信息的设定时，可事先掌握基板处理中能够利用的配方能利用时间，因此可适当地对配方信息的设定进行支援。

12、所述以外的课题、结构以及效果将通过后述的具体实施方式而变得明确。

技术特征：

1.一种信息处理装置，对基板处理装置的运转进行支援，所述基板处理装置包括：基板处理单元，按照表示基板处理的处理内容的配方信息进行对基板的所述基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述信息处理装置包括：

2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

3.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

4.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，

5.根据权利要求2所述的信息处理装置，其中，

6.根据权利要求3所述的信息处理装置，其中，

7.根据权利要求1至3中任一项所述的信息处理装置，其中，

8.一种推导装置，包括存储器与处理器，

9.一种机器学习装置，生成用于对基板处理装置的运转进行支援的学习模型，所述基板处理装置包括：基板处理单元，按照表示基板处理的处理内容的配方信息进行对基板的所述基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述机器学习装置包括：

10.一种信息处理方法，对基板处理装置的运转进行支援，所述基板处理装置包括：基板处理单元，按照表示基板处理的处理内容的配方信息进行对基板的所述基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述信息处理方法包括：

11.一种推导方法，由推导装置来执行，所述推导装置包括存储器与处理器，

12.一种机器学习方法，生成用于对基板处理装置的运转进行支援的学习模型，所述基板处理装置包括：基板处理单元，按照表示基板处理的处理内容的配方信息进行对基板的所述基板处理；以及搬送处理单元，进行对所述基板处理前及所述基板处理后的基板予以搬送的搬送处理，所述机器学习方法包括：

技术总结
本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够支援对基板处理装置中的基板处理的处理内容进行规定的配方信息的设定。信息处理装置(3A)包括：目标处理片数受理部(300)，受理在基板处理装置中执行反复进行对多个基板的基板处理及搬送处理的处理动作时的每单位时间的基板的目标处理片数；装置信息获取部(301)，获取包含对执行处理动作时的搬送处理的运行状态进行规定的搬送处理信息(11)的装置信息(10)；以及支援信息生成部(302A)，基于目标处理片数及装置信息(10)生成包含在基板处理中能够利用的配方能利用时间的支援信息(14)。

技术研发人员：黄竟维,大滝裕史,中村贵正
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/10/17