用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备的制作方法

本申请属于基板加工，具体而言，涉及一种用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备。

背景技术：

1、在超精密减薄设备中，主要集成了超精密磨削、cmp及清洗模块、厚度偏差及表面缺陷控制技术，使其满足3d ic制造、先进封装等领域中对基板超精密减薄技术的需求。

2、在超精密减薄设备中，一般由机械手通过小尺寸吸附垫取片、将基板搬运至搬入搬出区的吸附装置上，并由吸附装置承载基板在回转盘上转动至磨削加工区对基板进行磨削。磨削后回转盘再次旋转，使得基板回到搬入搬出区，并再次由机械手通过小尺寸吸附垫从吸附装置处取片，经过清洗单元后传送至基板转运工作台，进行后续的抛光等。

3、然而磨削完成后由于残余应力的存在，基板仍存在一定的翘曲，而机械手的小尺寸吸附垫的吸附能力有限，容易存在基板清洗不干净或者掉片的情况。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备，旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

2、本申请实施例的第一方面提供了一种用于基板磨削的搬运装置，包括：支撑部件，用于带动基板移动；保持部件，安装于所述支撑部件，用于吸附基板；所述保持部件包括：支撑架，固定设置在所述支撑部件上；吸附垫，可伸缩地设置在所述支撑架上；环形吸盘，固定设置在所述支撑架上，且与所述吸附垫同心；所述保持部件包括通过所述吸附垫吸附基板的第一吸附模式，以及通过所述环形吸盘吸附基板的第二吸附模式。

3、在一个实施例中，所述支撑架包括支撑臂以及支撑座，所述吸附垫穿过所述支撑座可伸缩设置在所述支撑架上；所述环形吸盘包括设置在所述支撑座上的至少两层环形密封部，以及至少两层环形密封部之间的吸引通道；所述环形密封部凸出于所述支撑座表面，且所述环形密封部的直径小于基板直径。

4、在一个实施例中，所述支撑架还包括弹性下压部，设置于所述环形吸盘外周，其直径大于或等于基板直径。

5、在一个实施例中，所述环形密封部和\或所述弹性下压部为橡胶材料的环形密封圈。

6、在一个实施例中，所述至少两个环形密封部为两个环形密封部，外侧环形密封部的外周直径h1＝l，内侧环形密封部的直径h2符合以下条件：l/3<h2<3l/5，其中，l为基板直径。

7、在一个实施例中，所述支撑部件包括升降组件，所述升降组件包括升降结构和旋转结构，所述升降结构用于带动所述保持部件升降，所述旋转结构用于驱动所述保持组件以支撑架远离所述吸附垫的一端为轴旋转。

8、本申请实施例的第二方面提供了一种搬运设备，包括吸附装置和如上所述的搬运装置。

9、在一个实施例中，所述支撑架包括支撑臂以及支撑座，所述吸附垫穿过所述支撑座可伸缩设置在所述支撑架上；所述环形吸盘包括设置在所述支撑座上的至少两层环形密封部，以及至少两层环形密封部之间的吸引通道；所述环形密封部凸出于所述支撑座表面，且所述环形密封部的直径小于基板直径。

10、在一个实施例中，所述至少两个环形密封部为两个环形密封部，外侧环形密封部的外周直径h1＝l，内侧环形密封部的直径h2符合以下条件：l/3<h2<3l/5，其中，l为基板直径。

11、本申请实施例的第三方面提供了一种基板磨削装备，包括吸附装置和如上所述的搬运装置。

12、本申请的有益效果：在向吸附装置搬运还未进行磨削的基板时，可以通过可伸缩的吸附垫，采用第一吸附模式吸附基板；在从吸附装置搬出磨削后的基板时，可以通过环形吸盘采用第二吸附模式吸附基板。由于环形吸盘的吸附面积大、吸附能力强，因此可以尽量避免基板在经过清洗单元时发生掉片的情况，并可以提高清洗单元喷出流体的流速以及流量的上限，提高了基板的清洗效果。

技术特征：

1.一种用于基板磨削的搬运装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述支撑架包括支撑臂以及支撑座，所述吸附垫穿过所述支撑座可伸缩设置在所述支撑架上；

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述支撑架还包括弹性下压部，设置于所述环形吸盘外周，其直径大于或等于基板直径。

4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，所述环形密封部和\或所述弹性下压部为橡胶材料的环形密封圈。

5.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述至少两个环形密封部为两个环形密封部，外侧环形密封部的外周直径h1＝l，内侧环形密封部的直径h2符合以下条件：l/3<h2<3l/5，其中，l为基板直径。

6.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述支撑部件包括升降结构和旋转结构，所述升降结构用于带动所述保持部件升降，所述旋转结构用于驱动所述保持组件以支撑架远离所述吸附垫的一端为轴旋转。

7.一种搬运设备，其特征在于，包括吸附装置和的搬运装置，所述搬运装置，包括：

8.根据权利要求7所述的搬运设备，其特征在于，所述支撑架包括支撑臂以及支撑座，所述吸附垫穿过所述支撑座可伸缩设置在所述支撑架上；

9.根据权利要求8所述的搬运设备，其特征在于，所述至少两个环形密封部为两个环形密封部，外侧环形密封部的外周直径h1＝l，内侧环形密封部的直径h2符合以下条件：l/3<h2<3l/5，其中，l为基板直径。

10.一种基板磨削装备，其特征在于，包括：权利要求1-6任一项所述的搬运装置。

技术总结
本申请公开了一种用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备，用于基板磨削的搬运装置，包括：支撑部件，用于带动基板移动；保持部件，安装于支撑部件，用于吸附基板；保持部件包括：支撑架，固定设置在支撑部件上；吸附垫，可伸缩地设置在支撑架上；环形吸盘，固定设置在支撑架上，且与吸附垫同心；保持部件包括通过吸附垫吸附基板的第一吸附模式，以及通过环形吸盘吸附基板的第二吸附模式。

技术研发人员：靳凯强,刘殿生,刘远航,赵德文,路新春
受保护的技术使用者：华海清科（北京）科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/6/18