一种蒸镀装置的制作方法

本发明涉及半导体制造设备，具体涉及一种蒸镀装置。

背景技术：

1、钙钛矿电池是利用钙钛矿型的金属卤化物半导体作为吸光材料的太阳能电池，属于第三代太阳能电池，也称作新概念太阳能电池，钙钛矿电池具有高效发电、成本低、适应性广等特点，受到了学术界和产业界的广泛关注。

2、目前常用的钙钛矿电池制备方法为真空蒸镀法，真空蒸镀法采用多源共蒸工艺，即将不同蒸镀材料注入各自的蒸发源中，通过独立控制各个蒸发源的蒸发速率，以在基板上形成不同蒸镀材料混合的薄膜，然而，在实际蒸镀过程中，常常出现各个蒸镀材料蒸汽混合不均匀情况，从而导致形成的薄膜不均匀。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种蒸镀装置，以解决现有的在实际蒸镀过程中，常常出现各个蒸镀材料蒸汽混合不均匀情况，从而导致形成的薄膜不均匀的问题。

2、本发明提供了一种蒸镀装置，包括：

3、真空腔室；

4、基板，安装于所述真空腔室内；

5、第一蒸发源，安装于所述真空腔室内，用于产生第一膜材蒸汽，且所述第一蒸发源具有第一出气孔；

6、蒸发分布件，与所述第一出气孔连通，所述蒸发分布件具有扩散部，所述扩散部的横截面积大于所述第一出气孔的表面积，所述扩散部上阵列分布若干排气孔，任意一个所述排气孔的开口方向均朝向所述基板设置，且任意一个排气孔与所述基板的间距均等于第一阈值；

7、第二蒸发源，安装于所述真空腔室内，用于产生第二膜材蒸汽，所述第二蒸发源具有第二出气孔，所述第二出气孔的开口方向朝向所述基板设置，且所述第二出气孔的开口方向与任意一个所述排气孔的开口方向均相交。

8、可选的，上述的蒸镀装置，所述第一蒸发源具有多个所述第一出气孔，多个所述第一出气孔线性排列，所述蒸发分布件具有收集部，所述收集部一端与所有所述第一出气孔连通，另一端与所述扩散部连通，且所述扩散部的横截面积大于所有所述第一出气孔的表面积之和。

9、可选的，上述的蒸镀装置，所述收集部包括多个收集管道，所述收集管道与所述第一出气孔一一对应，且任意一个所述收集管道的两端均分别与对应的所述第一出气孔和所述扩散部连通。

10、可选的，上述的蒸镀装置，所述扩散部包括多个扩散管体，任意一个所述扩散管体均与对应的所述收集管道连通，任意一个所述扩散管体上均沿其轴向方向间隔分布有多个所述排气孔。

11、可选的，上述的蒸镀装置，任意一个所述扩散管体均垂直于对应的所述收集管道，且多个所述扩散管体间隔排列。

12、可选的，上述的蒸镀装置，还包括多个支架，任意一个所述支架均具有相连接的支撑部和承载部，所述支撑部与所述第一蒸发源固定连接，所述承载部与对应的所述扩散管体连接，且所述支撑部套设在对应的所述收集管道外周。

13、可选的，上述的蒸镀装置，还包括安装底板，所述安装底板与所述真空腔室的内壁固定连接，所述安装底板包括相连接的第一安装部和第二安装部，所述第一安装部和所述第二安装部的夹角为钝角，所述第一蒸发源与所述第一安装部固定连接，所述第二蒸发源与所述第二安装部固定连接。

14、可选的，上述的蒸镀装置，还包括第三蒸发源，所述第三蒸发源用于产生第三膜材蒸汽，所述安装底板具有与所述第一安装部相连接的第三安装部，所述第三安装部与所述第一安装部的夹角为钝角，所述第三蒸发源与所述第三安装部固定连接。

15、可选的，上述的蒸镀装置，所述第一安装部与水平面平行，所述第二安装部与所述第一安装部的夹角为135°。

16、可选的，上述的蒸镀装置，所述扩散部的宽度大于等于基板的宽度。

17、本发明提供的技术方案，具有如下优点：

18、1.本发明提供的蒸镀装置，包括真空腔室、基板、第一蒸发源、蒸发分布件以及第二蒸发源，基板安装于真空腔室内；第一蒸发源安装于真空腔室内，用于产生第一膜材蒸汽，且第一蒸发源具有第一出气孔；蒸发分布件与第一出气孔连通，蒸发分部件具有扩散部，扩散部的横截面积大于第一出气孔的表面积，扩散部上陈列分布若干排气孔，任意一个排气孔的开口方向均朝向基板设置，且任意一个所述排气孔与基板的间距均等于第一阈值，第二蒸发源安装于真空腔室内，用于产生第二膜材蒸汽，第二蒸发源具有第二出气孔，第二出气孔的开口方向朝向基板设置，且第二出气孔的开口方向与任意一个排气孔的开口方向均相交。第一蒸发源产生的第一膜材蒸汽经过第一出气孔后进入蒸发分布件内，并在扩散部中扩散，以使得第一膜材蒸汽在扩散部均匀分布，然后扩散部的第一膜材蒸汽由各个排气孔喷出，同时第二蒸发源产生的第二膜材蒸汽由第二出气孔喷出，由于第二出气孔与任意一个排气孔的开口方向均相交，因此各个排气孔喷出的第一膜材蒸汽的扩散路径与第二出气孔喷出的第二膜材蒸汽的扩散路径相交，从而使得第一膜材蒸汽和第二膜材蒸汽能均匀混合，进而使得均匀混合的第一膜材蒸汽和第二膜材蒸汽在基板上形成均匀的薄膜。

技术特征：

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸发源(1)具有多个所述第一出气孔，多个所述第一出气孔线性排列，所述蒸发分布件(2)具有收集部，所述收集部一端与所有所述第一出气孔连通，另一端与所述扩散部连通，且所述扩散部的横截面积大于所有所述第一出气孔的表面积之和。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述收集部包括多个收集管道(221)，所述收集管道(221)与所述第一出气孔一一对应，且任意一个所述收集管道(221)的两端均分别与对应的所述第一出气孔和所述扩散部连通。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述扩散部包括多个扩散管体(212)，任意一个所述扩散管体(212)均与对应的所述收集管道(221)连通，任意一个所述扩散管体(212)上均沿其轴向方向间隔分布有多个所述排气孔(211)。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，任意一个所述扩散管体(212)均垂直于对应的所述收集管道(221)，且多个所述扩散管体(212)间隔排列。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括多个支架(3)，任意一个所述支架(3)均具有相连接的支撑部(31)和承载部(32)，所述支撑部(31)与所述第一蒸发源(1)固定连接，所述承载部(32)与对应的所述扩散管体(212)抵接，且所述支撑部(31)套设在对应的所述收集管道(221)外周。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括安装底板(4)，所述安装底板(4)与所述真空腔室的内壁固定连接，所述安装底板(4)包括相连接的第一安装部(41)和第二安装部(42)，所述第一安装部(41)和所述第二安装部(42)的夹角为钝角，所述第一蒸发源(1)与所述第一安装部(41)固定连接，所述第二蒸发源与所述第二安装部(42)固定连接。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括第三蒸发源，所述第三蒸发源用于产生第三膜材蒸汽，所述安装底板(4)具有与所述第一安装部(41)相连接的第三安装部(43)，所述第三安装部(43)与所述第一安装部(41)的夹角为钝角，所述第三蒸发源与所述第三安装部(43)固定连接。

9.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一安装部与水平面平行，所述第二安装部与所述第一安装部的夹角为145°。

10.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述扩散部的宽度大于等于基板的宽度。

技术总结
本发明公开了一种蒸镀装置，包括真空腔室、基板、第一蒸发源、蒸发分布件以及第二蒸发源，基板安装于真空腔室内；第一蒸发源安装于真空腔室内，用于产生第一膜材蒸汽，且第一蒸发源具有第一出气孔；蒸发分布件与第一出气孔连通，蒸发分部件具有扩散部，扩散部的横截面积大于第一出气孔的表面积，扩散部上陈列分布若干排气孔，任意一个排气孔的开口方向均朝向基板设置，且任意一个所述排气孔与基板的间距均等于第一阈值，第二蒸发源安装于真空腔室内，用于产生第二膜材蒸汽，第二蒸发源具有第二出气孔，第二出气孔的开口方向与任意一个排气孔的开口方向均相交。第一膜材蒸汽和第二膜材蒸汽均匀混合，从而在基板上形成均匀的薄膜。

技术研发人员：毕恩兵,牟星野
受保护的技术使用者：宣城先进光伏技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/11/18