金属掩模及其制造方法与流程

本公开涉及金属掩模及其制造方法。

背景技术：

1、有机el显示装置的像素是通过使用金属掩模并利用蒸镀使形成像素的材料附着在基板上而形成的。因此，金属掩模的性能提高对于有机el显示装置的画质的提高是重要的。例如，在专利文献1中，公开了如下技术：以提供能够抑制蒸镀图案的膜厚的偏差的金属掩模为目的，将大开口的角部设为相对于边缘朝向外侧伸出的形状。

2、专利文献1：日本特许第6870795号

3、然而，在专利文献1所记载的金属掩模中，由于具有使多边形状中的角部朝向多边形状的外侧伸出的形状，因此期待从大开口的角部的附近进入到掩模孔中的蒸镀材料容易到达小开口。但是，另一方面，在专利文献1所记载的金属掩模中，开口部的形状复杂，不容易均匀地形成具有复杂形状的多个贯通孔。另外，也担心由于具有复杂的形状而对机械强度造成影响。

技术实现思路

1、本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供能够进一步抑制阴影、贯通孔的形状均匀性优异、机械强度也优异的金属掩模及其高效的制造方法。

2、本公开的一个实施方式的金属掩模具有有孔区域和周围区域，

3、所述有孔区域具有多个贯通孔，

4、所述周围区域位于所述有孔区域的周围，

5、所述贯通孔具有：形成于第1面的第1凹部；形成于第2面的第2凹部；以及周状的连接部，其连接所述第1凹部与所述第2凹部，

6、所述连接部包含多个角部、和位于相邻的所述角部之间的多个线状部，

7、从所述第1面到所述连接部的厚度方向上的距离h根据位置而不同，

8、所述角部处的从所述第1面到所述连接部的厚度方向上的最大距离h1比所述线状部处的从所述第1面到所述连接部的厚度方向上的最小距离h2长。

9、本公开的一个实施方式的上述金属掩模的制造方法具备：

10、准备金属板的工序，所述金属板具有第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面；和

11、蚀刻工序，通过对所述金属板进行蚀刻而形成所述金属掩模，

12、所述金属掩模具有有孔区域和周围区域，

13、所述有孔区域具有多个贯通孔，

14、所述周围区域位于所述有孔区域的周围，

15、所述贯通孔具有：形成于第1面的第1凹部；形成于第2面的第2凹部；以及周状的连接部，其连接所述第1凹部与所述第2凹部，

16、所述连接部包含多个角部、和位于相邻的所述角部之间的多个线状部，

17、从所述第2面到所述连接部的厚度方向上的距离h根据位置而不同，

18、从所述第2面到所述角部的厚度方向上的最大距离h1比从所述第2面到所述线状部的厚度方向上的最小距离h2长。

19、在本公开的至少一个实施方式中，可提供能够进一步抑制阴影、贯通孔的形状均匀性优异、机械强度也优异的金属掩模及其高效的制造方法。

技术特征：

1.一种金属掩模，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的金属掩模，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的金属掩模，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的金属掩模，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的金属掩模，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的金属掩模，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的金属掩模，其特征在于，

8.一种金属掩模的制造方法，其特征在于，

技术总结
本发明提供金属掩模及其制造方法。能够进一步抑制阴影，贯通孔的形状均匀性优异，机械强度也优异。一种金属掩模，其具有有孔区域和周围区域，所述有孔区域具有多个贯通孔，所述周围区域位于所述有孔区域的周围，所述贯通孔具有：形成于第1面的第1凹部；形成于第2面的第2凹部；以及周状的连接部，其连接所述第1凹部与所述第2凹部，所述连接部包含多个角部、和位于相邻的所述角部之间的多个线状部，从所述第1面到所述连接部的厚度方向上的距离h根据位置而不同，从所述第1面到所述角部的厚度方向上的最大距离h1比从所述第1面到所述线状部的厚度方向上的最小距离h2长。

技术研发人员：冈宏树,井上功
受保护的技术使用者：大日本印刷株式会社
技术研发日：
技术公布日：2025/3/6