一种氟化铽锂晶体用研磨装置的制作方法

本发明涉及氟化铽锂晶体加工，具体涉及一种氟化铽锂晶体用研磨装置。

背景技术：

1、氟化铽锂晶体是一种性能优良的磁光晶体材料，具有大的维尔德常数和低的吸收系数。氟化铽锂晶体一般加工为圆形晶片，其在光学器件、激光系统等领域有广泛应用，而在加工成最终器件之前，通常需要进行研磨等处理。研磨是去除晶体表面不平整部分、提高表面质量的重要步骤。

2、现有的氟化铽锂晶体研磨设备包括研磨盘、晶体装夹固定设备以及检测设备，在进行研磨过程中，先通过晶体装夹固定设备将晶体固定夹住，然后再通过升降机构带动研磨盘下降接触晶体表层，并旋转进行研磨作业，研磨过程中需要停下，通过检测设备，例如激光散射检测器或者显微镜检测晶体表层研磨是否合格，是否需要继续研磨。

3、现有的氟化铽锂晶体研磨设备存在的不足之处在于：现有氟化铽锂晶体研磨设备虽然可以在研磨过程中依靠检测设备检测晶体表层质量状况，及时调整研磨参数，但是由于研磨过程中会产生晶体粉尘粘在晶体表层，同时还会因为使用研磨液而导致晶体表层粘附有研磨液，这些粉尘液体遮盖在晶体表层，会影响检测设备检测结果准确性，现有研磨处理过程中，为了便于检测设备正常检测，一般只能依靠人工通过刷子等器具对晶体表层手动进行清洁处理，处理缓慢，处理效果不够好，容易影响整个研磨作业的效率；并且现有的研磨盘在旋转研磨过程中，旋转驱动源仅可使得研磨盘旋转，不便于使得研磨盘线性位移，导致研磨范围较为局限，虽然也存在通过外加线性驱动机构驱动或者手动操作研磨盘在旋转过程中直线运动，但是需要单独操控运行，导致操作不够便捷。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种氟化铽锂晶体用研磨装置，以解决现有技术中氟化铽锂晶体研磨设备每次研磨后不便于对晶体表层进行清洁，影响检测的技术问题。

2、本发明所要解决的技术问题可以通过以下技术方案实现：

3、一种氟化铽锂晶体用研磨装置，包括支撑底座、研磨盘、检测设备、升降驱动件和用于夹持晶体圆片的升降装夹台，所述升降驱动件用于驱动研磨盘升降；还包括：

4、伸缩清洁机构，所述伸缩清洁机构包括清洁刮件和弹性伸缩件，所述研磨盘的底部开设有条形收纳槽，所述清洁刮件配合设置在条形收纳槽内，所述弹性伸缩件配合设置在研磨盘上，且弹性伸缩件与清洁刮件配合连接；

5、往复联动机构，所述往复旋转驱动机构设置在升降驱动件的升降端和研磨盘之间，往复旋转驱动机构用于带动研磨盘旋转，且进行横向往复运动。

6、作为本发明进一步的方案：所述升降装夹台包括副电动伸缩杆、安装座、支撑板和对夹机构，所述副电动伸缩杆固定连接在支撑底座上，所述安装座固定连接在副电动伸缩杆的伸缩端，所述支撑板固定连接在安装座上方，所述对夹机构配合设置在支撑板上。

7、作为本发明进一步的方案：所述对夹机构包括曲面夹板和辅助电动伸缩杆，所述辅助电动伸缩杆和曲面夹板均设置有多个，所述辅助电动伸缩杆周向等距固定连接在安装座上，所述曲面夹板周向等距分布在支撑板上，且支撑板上周向等距分布有多个与曲面夹板对齐配合的条形通口，每个所述辅助电动伸缩杆的伸缩端分别与对应的曲面夹板配合连接。

8、作为本发明进一步的方案：所述弹性伸缩件包括升降导杆、联动环和限位环，所述升降导杆设置有两个，分别穿插在研磨盘的两侧，所述升降导杆的底端处于条形收纳槽内，且与清洁刮件固定连接，所述升降导杆与研磨盘之间连接有限位弹簧，所述联动环固定连接在两个所述升降导杆顶端之间，所述限位环固定连接在支撑底座上，且限位环与联动环相配合。

9、作为本发明进一步的方案：所述清洁刮件包括清洁胶条和气泵，所述清洁胶条水平固定连接在两个所述升降导杆底端之间，所述清洁胶条的两侧均设置有斜导面，所述清洁胶条的中间位置两侧均固定连接有与斜导面对应配合的喷头，所述研磨盘顶部开设有第一通口，所述气泵设置在升降驱动件的升降端，气泵的出气端活动穿插在第一通口内，所述研磨盘内部分布有波纹伸缩管，所述第一通口与波纹伸缩管的一端固定连接，波纹伸缩管另一端与喷头固定连接。

10、作为本发明进一步的方案：所述研磨盘顶部开设有第二通口，所述研磨盘内部开设有与第二通口连通的研磨液过渡腔，所述研磨盘的底面分布有多个与研磨液过渡腔连通的排液口。

11、作为本发明进一步的方案：所述往复旋转驱动机构包括连接导轨、连接横板、驱动组件、齿条和扇形齿轮，所述连接导轨水平固定连接在升降驱动件的升降端，所述连接横板滑动连接在连接导轨下方，所述齿条设置有两个，且固定设置在连接导轨的一端，所述扇形齿轮转动连接在连接横板的一侧，且两个所述齿条配合处于扇形齿轮的两侧，所述驱动组件用于驱动扇形齿轮和研磨盘旋转。

12、作为本发明进一步的方案：所述驱动组件包括驱动电机、主动齿轮和从动齿轮；所述驱动电机固定安装在连接横板上，所述主动齿轮同轴固定连接在驱动电机的主轴端，所述从动齿轮与研磨盘顶部同轴连接，且从动齿轮与主动齿轮一侧啮合，所述主动齿轮另一侧啮合有与扇形齿轮同轴连接的传动齿轮。

13、作为本发明进一步的方案：所述支撑底座一侧固定连接有调节电机，所述调节电机的主轴端固定连接有转架，所述检测设备和升降驱动件分别固定连接在转架的顶部两侧。

14、作为本发明进一步的方案：所述升降驱动件的升降端转动套设有转套，所述转套的一侧固定连接有触发凸块，所述转架上固定安装有与触发凸块相配合的限位开关，所述副电动伸缩杆和气泵均与限位开关电连接。

15、本发明的有益效果：

16、1、本发明氟化铽锂晶体圆片表层通过研磨盘研磨过程中，每当需要通过检测设备检测表层是否研磨达标时，则使得研磨盘升起，研磨盘升起时，其内底部设置的清洁胶条便依靠弹簧回弹力从底部露出，且使得晶体圆片升起接触清洁胶条，如此便可依靠研磨盘带动清洁胶条旋转清洁晶体圆片表层，旋转的清洁胶条依靠斜导面引导接触的研磨粉尘以及研磨液体在离心力作用下甩出，同时设置的气泵产生一定气流，通过喷头喷出，并且顺着斜导面喷射，辅助清洁，如此便于在每次检测之前进行有效清洁，便于后续进行表层检测。

17、2、本发明升降驱动件带动研磨盘升起时，设置的触发凸块抵触到限位开关上，限位开关便使得副电动伸缩杆伸长，从而带动晶体圆片自动升起，同时限位开关还使得气泵启动，辅助进行清洁，即在研磨盘升起后，清洁胶条和晶体圆片自动对接，气泵自动运行，从而便于自动完成清洁作业。

18、3、本发明驱动电机通过主动齿轮、从动齿轮带动研磨盘旋转研磨过程中，主动齿轮还通过传动齿轮带动扇形齿轮旋转，扇形齿轮旋转过程中便交替沿着两侧到的齿条滚动，从而便于带动研磨盘沿着连接导轨横向往复运动，如此确保研磨较大范围，并且由于研磨盘往复运动，便于有效覆盖条形凹槽存在而产生的研磨死角或者遗漏区域，从而保证充分研磨，提升研磨效果。

技术特征：

1.一种氟化铽锂晶体用研磨装置，包括支撑底座(1)、研磨盘(16)、检测设备(5)、升降驱动件(6)和用于夹持晶体圆片(15)的升降装夹台，所述升降驱动件(6)用于驱动研磨盘(16)升降；其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述升降装夹台包括副电动伸缩杆(3)、安装座(11)、支撑板(13)和对夹机构，所述副电动伸缩杆(3)固定连接在支撑底座(1)上，所述安装座(11)固定连接在副电动伸缩杆(3)的伸缩端，所述支撑板(13)固定连接在安装座(11)上方，所述对夹机构配合设置在支撑板(13)上。

3.根据权利要求2所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述对夹机构包括曲面夹板(14)和辅助电动伸缩杆(12)，所述辅助电动伸缩杆(12)和曲面夹板(14)均设置有多个，所述辅助电动伸缩杆(12)周向等距固定连接在安装座(11)上，所述曲面夹板(14)周向等距分布在支撑板(13)上，且支撑板(13)上周向等距分布有多个与曲面夹板(14)对齐配合的条形通口，每个所述辅助电动伸缩杆(12)的伸缩端分别与对应的曲面夹板(14)配合连接。

4.根据权利要求1所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述弹性伸缩件包括升降导杆(19)、联动环(22)和限位环(21)，所述升降导杆(19)设置有两个，分别穿插在研磨盘(16)的两侧，所述升降导杆(19)的底端处于条形收纳槽(17)内，且与清洁刮件固定连接，所述升降导杆(19)与研磨盘(16)之间连接有限位弹簧(20)，所述联动环(22)固定连接在两个所述升降导杆(19)顶端之间，所述限位环(21)固定连接在支撑底座(1)上，且限位环(21)与联动环(22)相配合。

5.根据权利要求4所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述清洁刮件包括清洁胶条(18)和气泵(28)，所述清洁胶条(18)水平固定连接在两个所述升降导杆(19)底端之间，所述清洁胶条(18)的两侧均设置有斜导面，所述清洁胶条(18)的中间位置两侧均固定连接有与斜导面对应配合的喷头(23)，所述研磨盘(16)顶部开设有第一通口(27)，所述气泵(28)设置在升降驱动件(6)的升降端，气泵(28)的出气端活动穿插在第一通口(27)内，所述研磨盘(16)内部分布有波纹伸缩管(24)，所述第一通口(27)与波纹伸缩管(24)的一端固定连接，波纹伸缩管(24)另一端与喷头(23)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述研磨盘(16)顶部开设有第二通口(25)，所述研磨盘(16)内部开设有与第二通口(25)连通的研磨液过渡腔(10)，所述研磨盘(16)的底面分布有多个与研磨液过渡腔(10)连通的排液口(26)。

7.根据权利要求1所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述往复旋转驱动机构包括连接导轨(29)、连接横板(36)、驱动组件、齿条(34)和扇形齿轮(35)，所述连接导轨(29)水平固定连接在升降驱动件(6)的升降端，所述连接横板(36)滑动连接在连接导轨(29)下方，所述齿条(34)设置有两个，且固定设置在连接导轨(29)的一端，所述扇形齿轮(35)转动连接在连接横板(36)的一侧，且两个所述齿条(34)配合处于扇形齿轮(35)的两侧，所述驱动组件用于驱动扇形齿轮(35)和研磨盘(16)旋转。

8.根据权利要求7所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动电机(30)、主动齿轮(31)和从动齿轮(32)；所述驱动电机(30)固定安装在连接横板(36)上，所述主动齿轮(31)同轴固定连接在驱动电机(30)的主轴端，所述从动齿轮(32)与研磨盘(16)顶部同轴连接，且从动齿轮(32)与主动齿轮(31)一侧啮合，所述主动齿轮(31)另一侧啮合有与扇形齿轮(35)同轴连接的传动齿轮(33)。

9.根据权利要求2所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述支撑底座(1)一侧固定连接有调节电机(2)，所述调节电机(2)的主轴端固定连接有转架(4)，所述检测设备(5)和升降驱动件(6)分别固定连接在转架(4)的顶部两侧。

10.根据权利要求9所述的一种氟化铽锂晶体用研磨装置，其特征在于，所述升降驱动件(6)的升降端转动套设有转套(8)，所述转套(8)的一侧固定连接有触发凸块(9)，所述转架(4)上固定安装有与触发凸块(9)相配合的限位开关(7)，所述副电动伸缩杆(3)和气泵(28)均与限位开关(7)电连接。

技术总结
本发明公开了一种氟化铽锂晶体用研磨装置，涉及氟化铽锂晶体加工技术领域，包括支撑底座、研磨盘、检测设备、升降驱动件和用于夹持晶体圆片的升降装夹台，所述升降驱动件用于驱动研磨盘升降；还包括伸缩清洁机构和往复联动机构。本发明每当需要通过检测设备检测表层是否研磨达标时，则使得研磨盘升起，研磨盘升起时，其内底部设置的清洁胶条便依靠弹簧回弹力从底部露出，且使得晶体圆片升起接触清洁胶条，如此便可依靠研磨盘带动清洁胶条旋转清洁晶体圆片表层，旋转的清洁胶条依靠斜导面引导接触的研磨粉尘以及研磨液体在离心力作用下甩出，同时设置的气泵产生一定气流辅助清洁，如此便于在每次检测之前进行有效清洁，便于后续进行表层检测。

技术研发人员：罗毅,龚瑞
受保护的技术使用者：安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司
技术研发日：
技术公布日：2024/11/18