一种节能式金属化膜蒸镀设备的制作方法

本发明涉及金属化膜蒸镀，具体为一种节能式金属化膜蒸镀设备。

背景技术：

1、真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。为了优化薄膜的电气特性和机械性能，常需要在薄膜表面蒸镀双层甚至多层金属。目前，双层金属薄膜的蒸镀，主要依赖重复的蒸镀流程进行实现。

2、因此，在蒸镀双金属层时，需要将薄膜放入蒸镀箱内独立蒸镀两次，在两次蒸镀间，还需将薄膜从蒸镀箱内取出，对薄膜进行表面处理。导致薄膜蒸镀时的热量和真空度造成浪费，生产效率过低，能耗过高。鉴于此，我们提出一种节能式金属化膜蒸镀设备。

技术实现思路

1、本发明实施例的目的在于提供一种节能式金属化膜蒸镀设备，该节能式金属化膜蒸镀设备，解决了目前进行双层金属蒸镀时，效率低、能耗高的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种节能式金属化膜蒸镀设备，包括蒸镀箱，还包括：

4、两个蒸发组件，分别用于蒸镀两种金属；

5、隔离机构，设置于两个所述蒸发组件之间，用于隔离两种金属粒子；

6、清洗机构，用于去除第一金属层表面的副产物和污染物；

7、干燥机构，用于去除薄膜表面水分和挥发性杂质；

8、活化机构，用于提高金属层与薄膜基层之间的结合力；

9、导向机构，用于输送薄膜；

10、所述隔离机构包括固定安装于蒸镀箱内的隔离箱，所述隔离箱为中空结构，所述隔离箱两侧均连接有吸附板，所述吸附板两侧均贯穿隔离箱。

11、作为优选的技术方案，所述隔离箱两侧均开设有第一通口，第一通口位于吸附板上方，所述隔离箱上连接有负压管，且隔离箱内部气压小于蒸镀箱内部气压。

12、作为优选的技术方案，所述清洗机构包括固定安装于蒸镀箱内的储液箱，所述储液箱用于盛装清洗液，所述储液箱内安装有液泵，所述液泵的输入端连接有对清洗液进行抽取的抽液管，所述液泵的输出端连接有分流管，所述分流管上连接有多个出液管。

13、作为优选的技术方案，所述储液箱内固定安装有固定筒，所述固定筒内转动安装有转辊，转辊与固定筒同轴设置，且转辊的外径小于固定筒的内径，所述转辊的两端与固定筒的内壁贴合，且转辊的外周壁上呈圆形阵列分布有多个隔板，隔板远离转辊的一端与固定筒的内壁贴合，将固定筒内分隔成多个储液腔；

14、多个所述出液管远离分流管的一端均与固定筒内部连通，所述固定筒表面开设有喷水口，喷水口倾斜设置。

15、作为优选的技术方案，所述抽液管上安装有过滤器。

16、作为优选的技术方案，所述储液箱内转动安装有吸水辊，所述吸水辊通过皮带与转辊连接；

17、所述储液箱上安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端与转辊一端驱动连接。

18、作为优选的技术方案，所述干燥机构包括固定安装于蒸镀箱内的干燥箱，所述干燥箱内安装有加热管，所述干燥箱上方设有开口，且一侧设有连通口；

19、所述隔离箱一侧设有第二通口，所述第二通口与连通口连通。

20、作为优选的技术方案，所述活化机构为等离子发生器。

21、作为优选的技术方案，所述蒸发组件包括固定安装于蒸镀箱底部的伸缩电机，所述伸缩电机的输出端驱动连接有蒸发舟。

22、作为优选的技术方案，所述导向机构包括转动安装于蒸镀箱内的张紧辊、第一水平辊、第二水平辊以及若干导向辊；

23、所述第一水平辊与第二水平辊用于对经过第一次蒸镀的薄膜进行水平输送，使薄膜上的第一金属层依次经过清洗机构、干燥机构和隔离机构。

24、借由上述技术方案，本发明提供了一种节能式金属化膜蒸镀设备。至少具备以下有益效果：

25、该节能式金属化膜蒸镀设备，在蒸镀箱内设置两个蒸发组件，可对薄膜进行两次蒸镀，两个蒸发组件之间设置有隔离机构，可以对两种金属蒸汽进行隔离，避免金属蒸汽混合，影响金属层沉积的效果，通过设置清洗机构、干燥机构和活化机构，能够对蒸镀上第一层金属的薄膜进行表面处理，提高薄膜与第二层金属的结合度，从而可缩短蒸镀流程，提高蒸镀效率，同时避免热量与真空度的浪费，达到节能的目的。

技术特征：

1.一种节能式金属化膜蒸镀设备，包括蒸镀箱(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述隔离箱(31)两侧均开设有第一通口(311)，第一通口(311)位于吸附板(32)上方，所述隔离箱(31)上连接有负压管(33)，且隔离箱(31)内部气压小于蒸镀箱(1)内部气压。

3.根据权利要求1所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述清洗机构(4)包括固定安装于蒸镀箱(1)内的储液箱(41)，所述储液箱(41)用于盛装清洗液，所述储液箱(41)内安装有液泵(47)，所述液泵(47)的输入端连接有对清洗液进行抽取的抽液管(48)，所述液泵(47)的输出端连接有分流管(46)，所述分流管(46)上连接有多个出液管(45)。

4.根据权利要求3所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述储液箱(41)内固定安装有固定筒(44)，所述固定筒(44)内转动安装有转辊(42)，转辊(42)与固定筒(44)同轴设置，且转辊(42)的外径小于固定筒(44)的内径，所述转辊(42)的两端与固定筒(44)的内壁贴合，且转辊(42)的外周壁上呈圆形阵列分布有多个隔板(43)，隔板(43)远离转辊(42)的一端与固定筒(44)的内壁贴合，将固定筒(44)内分隔成多个储液腔；

5.根据权利要求3所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述抽液管(48)上安装有过滤器(49)。

6.根据权利要求3所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述储液箱(41)内转动安装有吸水辊(411)，所述吸水辊(411)通过皮带与转辊(42)连接；

7.根据权利要求1所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述干燥机构(5)包括固定安装于蒸镀箱(1)内的干燥箱(51)，所述干燥箱(51)内安装有加热管(52)，所述干燥箱(51)上方设有开口，且一侧设有连通口(511)；

8.根据权利要求1所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述活化机构(9)为等离子发生器。

9.根据权利要求1所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发组件(2)包括固定安装于蒸镀箱(1)底部的伸缩电机(21)，所述伸缩电机(21)的输出端驱动连接有蒸发舟(22)。

10.根据权利要求1所述的节能式金属化膜蒸镀设备，其特征在于，所述导向机构(8)包括转动安装于蒸镀箱(1)内的张紧辊(81)、第一水平辊(82)、第二水平辊(83)以及若干导向辊；

技术总结
本发明涉及金属化膜蒸镀技术领域，具体为一种节能式金属化膜蒸镀设备，包括蒸镀箱，还包括：两个蒸发组件，分别用于蒸镀两种金属；隔离机构，设置于两个所述蒸发组件之间，用于隔离两种金属粒子；清洗机构，用于去除第一金属层表面的副产物和污染物；干燥机构，用于去除薄膜表面水分和挥发性杂质；活化机构，用于提高金属层与薄膜基层之间的结合力。该节能式金属化膜蒸镀设备，在蒸镀箱内设置两个蒸发组件，可对薄膜进行两次蒸镀，通过设置清洗机构、干燥机构和活化机构，能够对蒸镀上第一层金属的薄膜进行表面处理，提高薄膜与第二层金属的结合度，从而可缩短蒸镀流程，提高蒸镀效率，同时避免热量与真空度的浪费，达到节能的目的。

技术研发人员：周峰,汤泽波
受保护的技术使用者：安徽赛福电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/2/10