一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装的制作方法

本技术属于碳基热场材料沉积，具体涉及一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装。

背景技术：

1、碳基热场材料是一种新型“黑色黄金”材料，具有低密度、低灰分、低综合导热系数、高强度的显著综合性能而广泛应用于晶硅制造热场领域，热场领域用碳基材料主要是以碳纤维为增强体、热解碳为基体的一种复合材料，因此，化学气相沉积增密是其关键的一个工序。

2、目前，碳基制动材料多为环材，本体可产生聚气易形成压差法实现快速沉积，而碳基热场材料除环材外还有筒材、板材等结构，使用等压法沉积的沉积速率低。因此，本实用新型设计了一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助工装。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，该聚气工装结构简单，使用方便，沉积增密效果好，易于安装回收，可推广应用。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，包括第一料板，所述第一料板的芯部设置有第一进气口，所述第一料板顶端上层叠地设置有第一聚气筒和第二聚气筒，所述第二聚气筒顶端上设置有第二料板，所述第二料板上设置有两个第二进气口，两个第二进气口在第二料板上中心对称。

3、优选地，所述第一料板的边缘处设置有第一子母扣，所述第一聚气筒底端边缘处设置有第二子母扣，所述第一子母扣呈外凸状，所述第二子母扣呈内凹状，所述第一子母扣与第二子母扣相互配合，通过第一子母扣与第二子母扣将第一料板与第一聚气筒固定连接。

4、优选地，所述第一聚气筒顶端边缘处设置有第三子母扣，所述第二聚气筒底端边缘处设置有第四子母扣，所述第三子母扣呈外凸状，所述第四子母扣呈内凹状，所述第三子母扣与第四子母扣相互配合，通过第三子母扣与第四子母扣将第二聚气筒与第一聚气筒固定连接。

5、优选地，所述第二聚气筒顶端边缘处设置有第五子母扣，所述第二料板底端边缘处设置有第七子母扣，所述第五子母扣呈外凸状，所述第七子母扣呈内凹状，所述第五子母扣与第七子母扣相互配合，通过第五子母扣与第七子母扣将第二聚气筒与第二料板固定连接。

6、优选地，所述第二聚气筒与第二料板之间设置有实心料板，实心料板与第二料板固定连接，所述实心料板底端边缘处设置有第六子母扣，所述第二聚气筒顶端边缘处设置有第五子母扣，所述第六子母扣呈内凹状，所述第五子母扣呈外凸状，所述第五子母扣与第六子母扣相互配合，通过第五子母扣与第六子母扣将第二聚气筒与实心料板固定连接。

7、通过多组子母扣的配合，将本装置层叠地连接为一个整体。

8、优选地，所述第一料板边缘处设置有第一吊钩槽，所述实心料板边缘处设置有第三吊钩槽，所述第二料板边缘处设置有第二吊钩槽，便于吊装。

9、优选地，所述第一料板、第一聚气筒、第二聚气筒、实心料板和第二料板由石墨材料、高密度碳材料或碳材料制成。

10、本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

11、1、本实用新型采用第一料板、第一聚气筒、第二聚气筒、实心料板和第二料板自由组合，可实现小尺寸环筒材多料柱沉积，大尺寸筒环材单料柱沉积，板材聚气式沉积，满足了碳基热场材料结构多样性聚气式沉积装炉。

12、2、本实用新型可根据拟增密碳基热场材料的结构特性，在不同炉型设计出相对应的辅助料板，根据实际装炉需求进一步设计出进气口位置、进气口数量、进气口尺寸，同时结合不同炉型和装炉数量来确定聚气筒尺寸、聚气筒数量，从而实现工装互用、单料柱与多料柱自由切换、聚气式压差法沉积，进一步提升了生产效率，降低了生产成本。

13、下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

技术特征：

1.一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，包括第一料板(1)，所述第一料板(1)的芯部设置有第一进气口(101)，所述第一料板(1)顶端上层叠地设置有第一聚气筒(2)和第二聚气筒(3)，所述第二聚气筒(3)顶端上设置有第二料板(5)，所述第二料板(5)上设置有至少两个第二进气口(501)，所述第二进气口(501)在第二料板(5)上均匀地对称分布。

2.根据权利要求1所述的一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，所述第一料板(1)的边缘处设置有第一子母扣(102)，所述第一聚气筒(2)底端边缘处设置有第二子母扣(201)，所述第一子母扣(102)呈外凸状，所述第二子母扣(201)呈内凹状，所述第一子母扣(102)与第二子母扣(201)相互配合。

3.根据权利要求1所述的一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，所述第一聚气筒(2)顶端边缘处设置有第三子母扣(202)，所述第二聚气筒(3)底端边缘处设置有第四子母扣(301)，所述第三子母扣(202)呈外凸状，所述第四子母扣(301)呈内凹状，所述第三子母扣(202)与第四子母扣(301)相互配合。

4.根据权利要求1所述的一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，所述第二聚气筒(3)顶端边缘处设置有第五子母扣(302)，所述第二料板(5)底端边缘处设置有第七子母扣(502)，所述第五子母扣(302)呈外凸状，所述第七子母扣(502)呈内凹状，所述第五子母扣(302)与第七子母扣(502)相互配合。

5.根据权利要求1所述的一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，所述第二聚气筒(3)与第二料板(5)之间设置有实心料板(4)，所述实心料板(4)底端边缘处设置有第六子母扣(401)，所述第二聚气筒(3)顶端边缘处设置有第五子母扣(302)，所述第六子母扣(401)呈内凹状，所述第五子母扣(302)呈外凸状，所述第五子母扣(302)与第六子母扣(401)相互配合。

6.根据权利要求5所述的一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，所述实心料板(4)由石墨材料或者高密度碳/碳材料制成。

7.根据权利要求5所述的一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，所述实心料板(4)边缘处设置有第三吊钩槽(402)。

8.根据权利要求6所述的一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，所述第一料板(1)边缘处设置有第一吊钩槽(103)，所述第二料板(5)边缘处设置有第二吊钩槽(503)。

9.根据权利要求1所述的一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，其特征在于，所述第一料板(1)、第一聚气筒(2)、第二聚气筒(3)和第二料板(5)由石墨材料、高密度碳材料或碳材料制成。

技术总结
本技术提供了一种碳基热场材料快速沉积多功能辅助聚气工装，包括第一料板，所述第一料板的芯部设置有第一进气口，所述第一料板顶端上层叠地设置有第一聚气筒和第二聚气筒，所述第二聚气筒顶端上设置有第二料板，所述第二料板上设置有至少两个第二进气口，所述第二进气口在第二料板上均匀分布。本技术可根据拟增密碳基热场材料的结构特性，在不同炉型设计出相对应的辅助料板，根据实际装炉需求进一步设计出进气口位置、进气口数量、进气口尺寸，同时结合不同炉型和装炉数量来确定聚气筒尺寸、聚气筒数量，从而实现工装互用、单料柱与多料柱自由切换、聚气式压差法沉积，进一步提升了生产效率，降低了生产成本。

技术研发人员：任金伟,高顺,王士博,薛亮,时昱昊,刘春生
受保护的技术使用者：西安源创航空科技有限公司
技术研发日：20240104
技术公布日：2024/8/16