真空镀膜装置的制作方法

本技术涉及真空镀膜，特别是涉及一种真空镀膜装置。

背景技术：

1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜装置包括腔体、盖板机构以及拖车，拖车与盖板机构相连。其中，拖车用于安装辅助真空镀膜的辅助机构，如电柜及制冷机等。

2、盖板机构能够带动拖车相对于腔体滑动，以关闭或开启腔体的开口。当盖板机构关闭腔体的开口时，盖板机构与腔体之间共同形成用于真空镀膜的真空腔；当盖板机构开启腔体的开口时，便于取放镀件。

3、传统的真空镀膜装置，拖车与盖板机构固定连接。当腔体与盖板机构存在安装误差时，若要保证盖板机构密封开口，盖板机构需要与腔体保持相同的倾斜角度，而此时拖车会限制盖板机构的倾斜；而当拖车与盖板机构一起倾斜时，拖车远离盖板机构的一侧将会翘起，影响结构的稳定性。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种能够改善上述问题的真空镀膜装置。

2、一种真空镀膜装置，包括：

3、腔体，在第一方向上的一端形成开口；

4、均在第二方向上支撑设于支撑面上且相互连接的盖板机构及拖车，所述盖板机构在所述第一方向上设于所述腔体具有所述开口的一端，所述拖车在所述第一方向上设于所述盖板机构背离所述腔体的一端；所述盖板机构能够带动所述拖车沿所述第一方向在所述支撑面上运动，以启闭所述开口；当所述盖板机构关闭所述开口时，所述盖板机构与所述腔体共同形成真空腔；

5、所述拖车与所述盖板机构铰接，以能够绕沿第三方向延伸的第一轴线相对转动；所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两相交。

6、上述真空镀膜装置，由于拖车与盖板机构铰接，当腔体与盖板机构存在安装误差时，由于盖板机构需要密封开口，则盖板机构与腔体需要保持相同的倾斜角度，此时拖车能够与盖板机构之间产生相对转动，因而不会限制盖板机构的倾斜，保证了盖板机构与腔体的密封效果，从而保证真空腔的密封性。同时，当盖板机构与腔体倾斜角度相同时，由于拖车与盖板机构之间能够发生相对转动，因此拖车远离盖板机构的一端不会翘起，保证了安装于拖车上各结构的稳定性。

7、在其中一个实施例中，所述真空镀膜装置包括销轴及关节轴承，所述销轴安装于所述盖板机构与所述拖车中一者上，所述盖板机构与所述拖车中另一者通过所述关节轴承与所述销轴转动连接。

8、在其中一个实施例中，所述真空镀膜装置还包括弹性机构，所述弹性机构用于缓冲所述盖板机构与所述拖车之间的相对转动。

9、在其中一个实施例中，所述真空镀膜装置还包括导向机构，所述盖板机构通过所述导向机构与所述腔体滑动配合，所述导向机构用于在所述第一方向上导向所述盖板机构并在所述第二方向上支撑所述盖板机构。

10、在其中一个实施例中，所述导向机构包括设于所述腔体与所述盖板机构中一者上的导向轴，及设于另一者上的滚轮；

11、所述导向轴沿所述第一方向延伸，所述滚轮与所述导向轴配合，以用于在所述第一方向上导向所述盖板机构。

12、在其中一个实施例中，所述滚轮的外周面内凹形成周向槽，所述导向轴设于所述周向槽内；所述滚轮在轴向上与其连接的结构活动连接，所述滚轮的轴向与所述第三方向平行；和/或

13、所述导向机构还包括摆动件，所述摆动件与所述腔体或所述盖板机构相连，所述滚轮安装于所述摆动件上，所述摆动件能够绕沿所述第三方向延伸的第二轴线相对于与其连接的结构摆动。

14、在其中一个实施例中，所述导向机构还包括第一调节组件，所述第一调节组件包括第一安装件及第一调节件，所述第一安装件与所述腔体或所述盖板机构相连，所述滚轮安装于所述第一安装件上，所述第一调节件用于调节所述第一安装件相对于所述腔体或所述盖板机构在所述第二方向上的位置。

15、在其中一个实施例中，所述真空镀膜装置还包括主动轮机构及从动轮机构，所述主动轮机构与所述盖板机构相连，所述从动轮机构与所述拖车相连；

16、所述真空镀膜装置还包括设于所述支撑面上的轨道，所述轨道沿所述第一方向延伸，以用于沿所述第一方向导向所述主动轮机构及所述从动轮机构；所述盖板机构及所述拖车通过所述主动轮机构、所述从动轮机构及所述轨道支撑于所述支撑面上。

17、在其中一个实施例中，所述主动轮机构包括主动轴、主动轮及第一挡边，所述主动轴转动安装于所述盖板机构上，所述主动轮套装于所述主动轴外并与所述轨道配合，所述第一挡边与所述主动轮相连；

18、所述主动轮机构还包括第二调节组件，所述第二调节组件安装于所述主动轴上，以用于调节所述主动轮在所述主动轴的轴向上的位置，使得所述第一挡边与所述轨道之间的间隙处于第一预设范围内。

19、在其中一个实施例中，所述第二调节组件包括第二安装件及第二调节件，所述第二安装件安装于所述主动轴上，所述第二调节件安装于所述第二安装件上，以用于调节所述主动轮在所述主动轴的轴向上的位置。

20、在其中一个实施例中，所述从动轮机构包括从动轴、偏心套、从动轮及第二挡边，所述从动轴与所述拖车相连，所述偏心套套设于所述从动轴外，所述从动轮可转动地套接于所述偏心套外并与所述轨道配合，所述第二挡边与所述从动轮相连；所述从动轴与所述拖车在周向上的位置可调，以调节所述偏心套的位置，从而调节所述从动轮在所述第二方向上的位置；

21、所述从动轮机构还包括第三调节组件，所述第三调节组件安装于所述从动轴上，以用于调节所述从动轮在所述从动轴的轴向上的位置，使得所述第二挡边与所述轨道之间的间隙处于第二预设范围内。

22、在其中一个实施例中，所述从动轮机构还包括限位组件，所述限位组件与所述拖车相连，所述从动轴通过所述限位组件安装于所述拖车上，所述限位组件用于在所述从动轴的轴向、径向及周向限位所述从动轴。

23、在其中一个实施例中，所述第三调节组件包括第三安装件及第三调节件，所述第三安装件安装于所述从动轴上，所述第三调节件安装于所述第三安装件，以用于调节所述偏心套在所述从动轴的轴向上的位置，从而调节所述从动轮在所述从动轴的轴向上的位置。

技术特征：

1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置包括销轴(40)及关节轴承(51)，所述销轴(40)安装于所述盖板机构(20)与所述拖车(30)中一者上，所述盖板机构(20)与所述拖车(30)中另一者通过所述关节轴承(51)与所述销轴(40)转动连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括弹性机构，所述弹性机构用于缓冲所述盖板机构(20)与所述拖车(30)之间的相对转动。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括导向机构(60)，所述盖板机构(20)通过所述导向机构(60)与所述腔体(10)滑动配合，所述导向机构(60)用于在所述第一方向上导向所述盖板机构(20)并在所述第二方向上支撑所述盖板机构(20)。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述导向机构(60)包括设于所述腔体(10)与所述盖板机构(20)中一者上的导向轴(61)，及设于另一者上的滚轮(62)；

6.根据权利要求5所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述滚轮(62)的外周面内凹形成周向槽(621)，所述导向轴(61)设于所述周向槽(621)内；所述滚轮(62)在轴向上与其连接的结构活动连接，所述滚轮(62)的轴向与所述第三方向平行；和/或

7.根据权利要求5所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述导向机构(60)还包括第一调节组件(65)，所述第一调节组件(65)包括第一安装件(651)及第一调节件(652)，所述第一安装件(651)与所述腔体(10)或所述盖板机构(20)相连，所述滚轮(62)安装于所述第一安装件(651)上，所述第一调节件(652)用于调节所述第一安装件(651)相对于所述腔体(10)或所述盖板机构(20)在所述第二方向上的位置。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜装置还包括主动轮机构(80)及从动轮机构(90)，所述主动轮机构(80)与所述盖板机构(20)相连，所述从动轮机构(90)与所述拖车(30)相连；

9.根据权利要求8所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述主动轮机构(80)包括主动轴(81)、主动轮(82)及第一挡边(83)，所述主动轴(81)转动安装于所述盖板机构(20)上，所述主动轮(82)套装于所述主动轴(81)外并与所述轨道(120)配合，所述第一挡边(83)与所述主动轮(82)相连；

10.根据权利要求9所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述第二调节组件(84)包括第二安装件(841)及第二调节件(842)，所述第二安装件(841)安装于所述主动轴(81)上，所述第二调节件(842)安装于所述第二安装件(841)上，以用于调节所述主动轮(82)在所述主动轴(81)的轴向上的位置。

11.根据权利要求8所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述从动轮机构(90)包括从动轴(91)、偏心套(92)、从动轮(93)及第二挡边(94)，所述从动轴(91)与所述拖车(30)相连，所述偏心套(92)套设于所述从动轴(91)外，所述从动轮(93)可转动地套接于所述偏心套(92)外并与所述轨道(120)配合，所述第二挡边(94)与所述从动轮(93)相连；所述从动轴(91)与所述拖车(30)在周向上的位置可调，以调节所述偏心套(92)的位置，从而调节所述从动轮(93)在所述第二方向上的位置；

12.根据权利要求11所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述从动轮机构(90)还包括限位组件(96)，所述限位组件(96)与所述拖车(30)相连，所述从动轴(91)通过所述限位组件(96)安装于所述拖车(30)上，所述限位组件(96)用于在所述从动轴(91)的轴向、径向及周向限位所述从动轴(91)。

13.根据权利要求11所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述第三调节组件(95)包括第三安装件(951)及第三调节件(952)，所述第三安装件(951)安装于所述从动轴(91)上，所述第三调节件(952)安装于所述第三安装件(951)，以用于调节所述偏心套(92)在所述从动轴(91)的轴向上的位置，从而调节所述从动轮(93)在所述从动轴(91)的轴向上的位置。

技术总结
本技术涉及一种真空镀膜装置，包括：腔体，一端形成开口；均在第二方向上支撑设于支撑面上且相互连接的盖板机构及拖车，盖板机构在第一方向上设于腔体具有开口的一端，拖车在第一方向上设于盖板机构背离腔体的一端；盖板机构能够带动拖车沿第一方向在支撑面上运动，以启闭开口；当盖板机构关闭开口时，盖板机构与腔体共同形成真空腔；拖车与盖板机构铰接，以能够绕沿第三方向延伸的第一轴线相对转动。当腔体与盖板机构存在安装误差时，由于盖板机构需要密封开口，则盖板机构与腔体需要保持相同的倾斜角度，此时拖车能够与盖板机构之间产生相对转动，因而不会限制盖板机构的倾斜，保证了盖板机构与腔体的密封效果，从而保证真空腔的密封性。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：无锡先导智能装备股份有限公司
技术研发日：20240204
技术公布日：2025/1/6