一种工件加工台冷却装置的制作方法

本技术涉及工件冷却，具体涉及一种工件加工台冷却装置。

背景技术：

1、离子束溅射镀膜机是用离子源发出离子，经引出、加速、聚焦，使其成为束状，用此离子束轰击置于高真空的靶，将溅射出的原子进行镀膜，离子束溅射镀膜光学元件能帮助需求严苛的激光光学应用实现可能达到的最高性能，这些光学元件上的薄膜具有密集、无孔且均匀的镀膜层，因此具有无漂移且对温度不敏感的性能。

2、离子束刻蚀会给基片(被刻蚀基片)带来热量，对于便于对基片进行后续的加工，一般要求在加工完毕后对基片进行冷却处理，现有技术中对于基片的冷却处理方式大多是在工件台面与基片间涂抹导热硅脂进行热量的传导，这样的话，导热硅脂不可避免的会附着在基片表面，进而增加基片后续的清洁问题，同时，在通过导热硅脂将热量传导到工作台面之后，热量在工作台面散发到外界环境中需要一定的时间，从而不便于对基片进行快速的散热，进而影响基片的加工效率。

技术实现思路

1、本实用新型提出一种工件加工台冷却装置，解决了现有技术中对于基片的冷却效率较低而影响基片加工效率的问题。

2、本实用新型的技术方案如下：一种工件加工台冷却装置，应用于加工台本体，包括第一空腔、支撑槽、导热板、导热硅胶垫、导热棒、水冷机构以及风冷机构；

3、所述第一空腔开设在所述加工台本体内；

4、所述支撑槽开设在所述加工台本体上；

5、所述导热板固定设置在所述支撑槽内；

6、所述导热硅胶垫固定设置在所述导热板与所述支撑槽槽底之间；

7、所述导热棒设置为多个，多个所述导热棒贯穿所述导热硅胶垫伸入所述第一空腔内；

8、所述水冷机构设置在所述加工台本体内，用于对所述导热棒进行水冷冷却；

9、所述风冷机构设置在所述加工台本体上，用于对工件进行风冷冷却。

10、优选的，所述水冷机构包括：

11、螺旋齿，所述螺旋齿与所述第一空腔相对应的固定设置在所述导热棒上；

12、降温环，所述降温环与所述导热棒相对应的固定设置在所述第一空腔内；

13、换热机构，所述换热机构设置在所述加工台本体内，用于对导热棒进行换热。

14、进一步的，所述换热机构包括：

15、第二空腔，所述第二空腔开设在所述第一空腔一侧，所述第二空腔内填充有冷却液；

16、第三空腔以及第四空腔，所述第三空腔以及第四空腔开设在所述第一空腔的两侧；

17、连通口，所述连通口与所述降温环相对应的开设在所述第三空腔以及第四空腔侧壁上；

18、回流管，所述回流管连通设置在所述第四空腔与所述第二空腔之间，所述回流管内设置有止逆阀；

19、水泵，所述水泵固定设置在所述加工台本体上，所述水泵输入端与所述第二空腔连通，所述水泵输出端与所述第三空腔连通。

20、再进一步的，还包括有半导体制冷片，所述半导体制冷片固定设置在所述第二空腔内，所述半导体制冷片的换热部件固定设置在所述加工台本体外壁上。

21、更进一步的，所述风冷机构包括：

22、吹风壳体，所述吹风壳体设置为多个，多个所述吹风壳体与所述降温环相对应的固定设置在所述加工台本体上；

23、吹风口，每个所述吹风壳体侧壁上开设有多个所述吹风口；

24、夹套，所述夹套开设在所述降温环内；

25、吹风管，所述吹风管设置在所述吹风壳体内；

26、换热管，所述换热管远离所述吹风壳体一端伸入所述夹套内，所述换热管与所述吹风管连通；

27、风机，所述风机安装在所述加工台本体上，所述风机输入端与外界环境连通，所述风机输出端与所述换热管连通。

28、在上述方案的基础上，所述换热管呈螺旋状固定设置在所述夹套内壁上。

29、本实用新型的工作原理及有益效果为：

30、1.本实用新型中，通过水冷机构的设置，水泵的工作可以将第二空腔内的冷却液泵入第三空腔内，之后通过流通口通过降温环以及第四空腔之后在回流管的作用下回到第二空腔内，在冷却液在降温环内流通的过程中，可以通过导热棒、导热硅胶垫以及导热板实现与基片的换热，从而实现对基片的冷却处理，同时通过半导体制冷片可以持续的对冷却液进行降温，从而避免冷却液温度提升而影响冷却效率的问题；

31、2.本实用新型中，通过风冷机构的设置，风机的工作可以带动外界环境中的空气通过换热管以及吹风管伸入吹风壳体内，之后通过吹风口吹向基片实现对基片的风冷降温，同时气流在换热管内流通的过程中可以通过换热管以及降温环实现与冷却液的换热，从而降低气流的温度，从而进一步提升冷却效果；

32、3.本实用新型中，通过第一空腔、支撑槽、导热板、导热硅胶垫、导热棒、水冷机构以及风冷机构的设置，便于通过冷却液与基片进行换热的同时通过对基片表面吹风实现对基片的冷却降温，解决了现有技术中对于基片的冷却效率较低而影响基片加工效率的问题。

技术特征：

1.一种工件加工台冷却装置，其特征在于，应用于加工台本体，包括：

2.根据权利要求1所述的一种工件加工台冷却装置，其特征在于，所述水冷机构包括：

3.根据权利要求2所述的一种工件加工台冷却装置，其特征在于，所述换热机构包括：

4.根据权利要求3所述的一种工件加工台冷却装置，其特征在于，还包括有半导体制冷片(12)，所述半导体制冷片(12)固定设置在所述第二空腔(7)内，所述半导体制冷片(12)的换热部件固定设置在所述加工台本体外壁上。

5.根据权利要求4所述的一种工件加工台冷却装置，其特征在于，所述风冷机构包括：

6.根据权利要求5所述的一种工件加工台冷却装置，其特征在于，所述换热管(16)呈螺旋状固定设置在所述夹套(14)内壁上。

技术总结
本技术涉及工件冷却技术领域，具体涉及一种工件加工台冷却装置，应用于加工台本体，包括第一空腔、支撑槽、导热板、导热硅胶垫、导热棒、水冷机构以及风冷机构，第一空腔开设在加工台本体内，支撑槽开设在加工台本体上，导热板固定设置在支撑槽内，导热硅胶垫固定设置在导热板与支撑槽槽底之间，导热棒设置为多个，多个导热棒贯穿导热硅胶垫伸入第一空腔内，水冷机构设置在加工台本体内，用于对导热棒进行水冷冷却，风冷机构设置在加工台本体上，用于对工件进行风冷冷却，通过上述技术方案，解决了现有技术中对于基片的冷却效率较低而影响基片加工效率的问题。

技术研发人员：王德新
受保护的技术使用者：北京北方松阳机械技术有限公司
技术研发日：20240206
技术公布日：2024/12/12