翻转装置及真空镀膜机的制作方法

本技术涉及真空加工，尤其涉及一种翻转装置及真空镀膜机。

背景技术：

1、在真空镀膜应用中，有时需对工件进行双面镀膜以实现特定薄膜功能。传统的真空镀膜机在工件第一面镀膜后，需打开腔体将工件手动翻面，其后才能在工件第二面镀膜。前述镀膜过程需要重复抽真空，严重影响生产效率。在一些情况下，可以采用基于拨盘和拨杆的翻转结构来实现工件的自动翻面，但上述结构难以保证翻转效果的稳定性，影响了镀膜效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的之一在于提供一种翻转装置，能够自动翻转工件且在工件翻转到位后，对其进行锁止，保持其角度稳定性。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、翻转装置，用于驱动固定工件的治具旋转，多个所述治具通过旋转轴转动设置于工件架上，包括：

4、翻转驱动机构，被配置为驱动所述旋转轴旋转；

5、锁止机构，设置在所述工件架上并与所述旋转轴一一对应，所述锁止机构包括锁止状态和解锁状态，所述锁止机构处于所述锁止状态时，所述旋转轴与所述工件架相对静止，所述锁止机构处于所述解锁状态时，所述旋转轴能够相对于所述工件架旋转。

6、作为优选，所述翻转驱动机构包括旋转组件和伸缩组件，所述旋转组件包括旋转动力件，所述伸缩组件包括伸缩动力件和连接件，所述伸缩动力件被配置为带动所述连接件伸缩，以使所述连接件与所述旋转轴连接或分离；所述旋转动力件被配置为带动与所述连接件连接的所述旋转轴旋转。

7、作为优选，所述伸缩组件还包括转杆和伸缩轴，所述转杆一端连接所述连接件，所述转杆另一端通过传动组件与所述旋转动力件连接，所述伸缩轴转动套设在所述转杆上并相对于所述转杆轴向限位，所述伸缩轴与所述伸缩动力件连接。

8、作为优选，所述传动组件包括设置在所述旋转动力件的输出轴上的主动轮、固定套设在所述转杆上的从动轮以及连接所述主动轮和所述从动轮的同步带。

9、作为优选，所述旋转组件还包括编码器，所述编码器设置于所述转杆远离所述连接件的一端，且与所述旋转动力件通信连接。

10、作为优选，所述锁止机构包括定位花盘、角度限位环和弹性件，所述角度限位环固定在所述工件架上，所述定位花盘通过所述弹性件与所述旋转轴轴向活动连接，所述定位花盘和所述角度限位环的其中一个上周向设置有多个定位块，另一个上对应所述定位块设置有多个定位槽，所述弹性件使所述定位块和所述定位槽保持插接配合的趋势，所述连接件能够与所述定位花盘连接以带动所述定位花盘和所述旋转轴旋转。

11、作为优选，所述定位槽和所述定位块均沿所述连接件或所述定位花盘的周向等距设置。

12、作为优选，所述连接件与所述定位花盘插接配合。

13、作为优选，所述连接件和所述定位花盘的其中一个端面上设置多个定位销，另一个端面上设置与所述定位销对应的多个定位孔。

14、本实用新型的另一目的在于提供一种真空镀膜机，包括真空腔室、工件架和治具，所述工件架转动设置于所述真空腔室内，多个所述治具通过旋转轴转动设置于所述工件架上，还包括上述任一所述翻转装置，所述翻转装置中的所述锁止机构设置于所述工件架上，所述翻转装置中的所述翻转驱动机构设置于所述真空腔室的侧壁上，且所述伸缩动力件和所述旋转动力件均位于所述真空腔室外。

15、本实用新型的有益效果：本实用新型中的翻转装置通过设置的翻转驱动机构能够驱动治具的旋转轴旋转，在不破真空的情况下能够实现治具的自动翻转，从而实现对治具上固定的工件的翻转，而且通过设置的锁止机构能够保证治具状态的稳定性，提高镀膜精度。而实用新型中的真空镀膜机将上述翻转驱动机构设置于真空腔室外，可以减少对真空腔室内空间的占用，有效利用真空腔室内的空间，提高镀膜效率。

技术特征：

1.翻转装置，用于驱动固定工件的治具(4)翻转，所述治具(4)通过旋转轴(3)转动设置于工件架上，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述翻转驱动机构(1)包括旋转组件(11)和伸缩组件(12)，所述伸缩组件(12)包括伸缩动力件(121)和连接件(122)，所述旋转组件(11)包括旋转动力件(111)，所述伸缩动力件(121)被配置为驱动所述连接件(122)伸缩，以使所述连接件(122)与所述旋转轴(3)连接或分离；所述旋转动力件(111)被配置为带动与所述连接件(122)连接的所述旋转轴(3)旋转。

3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述伸缩组件(12)还包括转杆(123)和伸缩轴(124)，所述转杆(123)一端连接所述连接件(122)，所述转杆(123)另一端通过传动组件(13)与所述旋转动力件(111)连接，所述伸缩轴(124)转动套设在所述转杆(123)上并相对于所述转杆(123)轴向限位，所述伸缩轴(124)与所述伸缩动力件(121)连接。

4.根据权利要求3所述的翻转装置，其特征在于，所述传动组件(13)包括设置在所述旋转动力件(111)的输出轴上的主动轮(131)、固定套设在所述转杆(123)上的从动轮(132)以及连接所述主动轮(131)和所述从动轮(132)的同步带(133)。

5.根据权利要求3所述的翻转装置，其特征在于，所述旋转组件(11)还包括编码器(112)，所述编码器(112)设置于所述转杆(123)远离所述连接件(122)的一端，且与所述旋转动力件(111)通信连接。

6.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述锁止机构(2)包括定位花盘(21)、角度限位环(22)和弹性件(23)，所述角度限位环(22)固定在所述工件架上，所述定位花盘(21)通过所述弹性件(23)与所述旋转轴(3)轴向活动连接，所述定位花盘(21)和所述角度限位环(22)的其中一个上周向设置有多个定位块(221)，另一个上对应所述定位块(221)设置有多个定位槽(212)，所述弹性件(23)使所述定位块(221)和所述定位槽(212)保持插接配合的趋势，所述连接件(122)能够与所述定位花盘(21)连接以带动所述定位花盘(21)和所述旋转轴(3)旋转。

7.根据权利要求6所述的翻转装置，其特征在于，所述定位槽(212)和所述定位块(221)均沿所述连接件(122)或所述定位花盘(21)的周向等距设置。

8.根据权利要求6所述的翻转装置，其特征在于，所述连接件(122)与所述定位花盘(21)插接配合。

9.根据权利要求8所述的翻转装置，其特征在于，所述连接件(122)和所述定位花盘(21)的其中一个端面上设置多个定位销(1221)，另一个端面上设置与所述定位销(1221)对应的多个定位孔(211)。

10.真空镀膜机，包括真空腔室(5)、工件架和治具(4)，所述工件架转动设置于所述真空腔室(5)内，多个所述治具(4)通过所述旋转轴(3)转动设置于所述工件架上，其特征在于，还包括如权利要求2-9任一所述翻转装置，所述翻转装置中的所述锁止机构(2)设置于所述工件架上，所述翻转装置中的所述翻转驱动机构(1)设置于所述真空腔室(5)的侧壁上，且所述伸缩动力件(121)和所述旋转动力件(111)均安装在所述真空腔室(5)外。

技术总结
本技术属于真空加工技术领域，公开了一种翻转装置及真空镀膜机，该翻转装置包括翻转驱动机构和锁止机构，翻转驱动机构被配置为驱动治具的旋转轴旋转；锁止机构设置在工件架上并与旋转轴一一对应，锁止机构包括锁止状态和解锁状态，锁止机构处于锁止状态时，旋转轴与工件架相对静止，锁止机构处于解锁状态时，旋转轴能够相对于工件架旋转。上述翻转装置及真空镀膜机能够实现治具的自动翻转且翻转后状态稳定。

技术研发人员：黄永长,胡东旭,龙汝磊,吴萍
受保护的技术使用者：光驰科技（上海）有限公司
技术研发日：20240228
技术公布日：2024/10/10