一种用于载盘烘烤的治具的制作方法

本技术涉及辅助工艺，特别是涉及一种用于载盘烘烤的治具。

背景技术：

1、led制造中，镀膜磁控溅射和icp离子刻蚀机台均使用独立载盘盛放wafer，机台手臂将载盘转移至工艺腔进行工艺制程，而载盘的洁净对腔体环境有极大影响。载盘保养一般为喷射和铝溶射，而后会长时间暴露在空气中，导致吸附水汽，故载盘使用前会放入烤箱烘烤，目前烘烤无标准作业方式，一般为直接放在烤箱中堆叠烘烤。

2、载盘一般为圆柱体，截面直径较大，目前的烘烤方式均为直接将大量载盘叠在一起放入烤箱，因载盘贴合在一起，导致贴合部位的水汽无法有效散出，烘烤效果较差，此状态下载盘用于作业将导致产品异常。

技术实现思路

1、鉴于上述状况，有必要针对现有技术中载盘贴合烘烤效果不佳的问题，提供一种用于载盘烘烤的治具。

2、一种用于载盘烘烤的治具，包括支架组件和栏杆组件，所述支架组件包括固定支架和固定杆，所述固定杆两端分别连接所述固定支架，所述栏杆组件包括尺寸兼容栏杆和底杆，所述尺寸兼容栏杆两端通过圆孔插销固定连接在所述固定架的上方两端，所述尺寸兼容栏杆一侧设有若干均为分布的第一矩形槽，所述底杆设于所述尺寸兼容栏杆下方，所述底杆与所述竖杆卡接固定，所述底杆上设有若干均为分布的第二矩形槽；

3、其中，所述第一矩形槽和所述第二矩形槽用于容纳载盘，使得待烘烤载盘之间形成相对间隔。

4、本实用新型中，利用尺寸兼容栏杆的圆孔插销与固定支架上方两端的圆孔固定，将待烘烤载盘竖直放置底杆的第二矩形槽上，载盘两端也正好卡在第一矩形槽内，放置后的载盘之间保持一定间隔，以便烘烤时水汽更易散出，对比常规堆叠烘烤，使用本治具可烘干的更彻底，在目标要求相同情况下，可减少烘烤时间，提高生产效率，保证每次烘烤的载盘具有相同属性。

5、进一步地，所述的用于载盘烘烤的治具，所述固定支架包括竖杆、横杆和支撑杆，所述竖杆为垂直方向对称设置的两组平行的竖杆，所述横杆为对称设置的四根平行的横杆，所述支撑杆为对称设置的四根平行的支撑杆，所述竖杆两端分别与所述横杆中部连接，所述支撑杆两端分别连接所述横杆两端。

6、本实用新型中，利用固定杆与横杆连接，竖杆两端分别与横杆中部连接，支撑杆两端分别连接横杆两端，从而保证整体结构的稳定可靠。

7、进一步地，所述的用于载盘烘烤的治具，所述平行的竖杆之间沿垂直方向设有若干均匀分布的连接块，所述横杆两端设有若干均匀分布的圆孔，所述圆孔与所述圆孔插销适配。

8、本实用新型中，所述两组平行竖杆之间设有若干均匀分布的连接块，设于上部的两根横杆两端设有若干均匀分布的圆孔，通过圆孔和圆孔插销匹配将尺寸兼容栏杆与横杆固定，通过底杆卡接在不同的连接块上，实现对大小不同的载盘的放置。

9、进一步地，所述的用于载盘烘烤的治具，所述横杆中部设有提手。

10、本实用新型中，通过设于上部的两根横杆中部的提手方便整体移动。

11、进一步地，所述的用于载盘烘烤的治具，所述第一矩形槽和所述第二矩形槽的大小相同，沿垂直方向一一对应。

12、进一步地，所述的用于载盘烘烤的治具，所述底杆两端设有卡接槽，所述卡接槽与所述连接块适配。

13、本实用新型中，通过卡接槽固定在连接块位置的调整，从而改变待烘烤载盘放置的初始高度，以配合尺寸兼容栏杆容纳不同半径的载盘。

14、进一步地，所述的用于载盘烘烤的治具，所述支架组件和所述栏杆组件均为铝材。

15、本实用新型，支架组件和栏杆组件使用铝材，质量较轻，并且与载盘外层材料一致，载盘与支架组件和栏杆组件接触，载盘不存在兼容性的问题。

技术特征：

1.一种用于载盘烘烤的治具，其特征在于：包括支架组件和栏杆组件，所述支架组件包括固定支架和固定杆，所述固定杆两端分别连接所述固定支架，所述栏杆组件包括尺寸兼容栏杆和底杆，所述尺寸兼容栏杆两端通过圆孔插销固定连接在所述固定支架的上方两端，所述尺寸兼容栏杆一侧设有若干均为分布的第一矩形槽，所述底杆设于所述尺寸兼容栏杆下方，所述底杆与所述固定支架固定，所述底杆上设有若干均匀分布的第二矩形槽；

2.根据权利要求1所述的用于载盘烘烤的治具，其特征在于：所述固定支架包括竖杆、横杆和支撑杆，所述竖杆为垂直方向对称设置的两组平行的竖杆，所述横杆为对称设置的四根平行的横杆，所述支撑杆为对称设置的四根平行的支撑杆，所述竖杆两端分别与所述横杆中部连接，所述支撑杆两端分别连接所述横杆两端。

3.根据权利要求2所述的用于载盘烘烤的治具，其特征在于：所述平行的竖杆之间沿垂直方向设有若干均匀分布的连接块，所述横杆两端设有若干均匀分布的圆孔，所述圆孔与所述圆孔插销适配。

4.根据权利要求2所述的用于载盘烘烤的治具，其特征在于：所述横杆中部设有提手。

5.根据权利要求1所述的用于载盘烘烤的治具，其特征在于：所述第一矩形槽和所述第二矩形槽的大小相同，沿垂直方向一一对应。

6.根据权利要求3所述的用于载盘烘烤的治具，其特征在于：所述底杆两端设有卡接槽，所述卡接槽与所述连接块适配。

7.根据权利要求1所述的用于载盘烘烤的治具，其特征在于：所述支架组件和所述栏杆组件均为铝材。

技术总结
本技术公开了一种用于载盘烘烤的治具，包括支架组件和栏杆组件，支架组件包括固定支架和固定杆，固定杆两端分别连接固定支架，栏杆组件包括尺寸兼容栏杆和底杆，尺寸兼容栏杆两端通过圆孔插销固定连接在固定支架的上方两端，尺寸兼容栏杆一侧设有若干均匀分布的第一矩形槽，底杆设于所述尺寸兼容栏杆下方，底杆与固定支架固定，底杆上设有若干均匀分布的第二矩形槽；本技术，利用圆孔插销与圆孔固定，将载盘竖直放置底杆上的第二矩形槽，载盘两端正好卡在第一矩形槽内，载盘之间保持一定间隔，烘烤时水汽更易散出，烘干更彻底，在目标要求相同情况下，减少烘烤时间，提高生产效率，保证每次烘烤的载盘有相同属性。

技术研发人员：周志凤,康龙,李文浩,董国庆,文国昇,金从龙
受保护的技术使用者：江西兆驰半导体有限公司
技术研发日：20240304
技术公布日：2025/2/27