一种低摩擦力的静密封磁力推杆装置的制作方法

本技术涉及真空镀膜，特别涉及一种低摩擦力的静密封磁力推杆装置。

背景技术：

1、在蒸镀设备中，推杆类的机械臂主要用于将工件水平传输到固定位置，有结构简单，操作方便等优点，但是用于真空设备中时采用的磁流体密封方式一方面是价格高，另一方面动密封相对于静密封而言泄露的风险较大。且一般的推杆结构在轴切向方向由于缺少位置限定容易发生转动。

2、中国专利cn210596235u公开了一种真空蒸镀装置，其中包括采用真空磁力耦合传动的驱动机构，这种驱动机构包括密封隔套和设置在所述密封隔套内的推动杆，推动杆的一端设置有内磁套，密封隔套外周与内磁套对应的位置设置有外磁套，内磁套和外磁套配合实现真空磁力耦合传动。内磁套在密封隔套内沿着轴向运动，内磁套与密封隔套之间一般会有缝隙，而推杆与外壳之间会紧密接触，但是磁力耦合传动会让内磁套的轴线不稳定，继而导致推杆与外壳之间的接触位置产生多余的径向压力，继而导致较大的阻力，用久了以后推杆的动作就会变得不灵敏。

3、因此需要改进推杆装置来解决以上问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种低摩擦力的静密封磁力推杆装置，能够利用内圈磁组多个滚轮与透磁套筒的内壁接触，使推杆在伸缩时内圈磁组的轴线保持与透磁套筒轴线的共线关系，使推杆在低摩擦阻力下进行直线运动，降低磨损。

2、本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种低摩擦力的静密封磁力推杆装置，包括透磁套筒、推杆单元和直线驱动单元；

3、所述直线驱动单元包括套在所述透磁套筒外的外圈磁组以及驱动所述外圈磁组沿所述透磁套筒轴线运动的直线驱动机构；

4、所述推杆单元穿过所述透磁套筒的内部，包括同轴设置于所述透磁套筒内的推杆，尾部设有隔着所述透磁套筒与所述外圈磁组内外相吸的内圈磁组；

5、所述内圈磁组的两端被一对限位块夹持，所述限位块固定于所述推杆上，每个限位块上绕轴均布有三个滚轮，三个滚轮的轴线位于所述推杆轴线的垂直面内且夹角互成60°，所有滚轮的外侧紧贴所述透磁套筒的内壁。

6、具体的，还包括支架、所述支架包括基座以及平行固定于所述基座两侧的第一端板和第二端板；所述透磁套筒固定于所述第一端板和所述第二端板之间，所述推杆的头部穿出所述第一端板并固定一托板，所述透磁套筒在靠近所述第一端板的一端设有法兰面，另一端封闭，所述法兰面与所述第一端板之间密封。

7、进一步的，还包括调节组件，所述调节组件包括定位环和压轮，所述定位环连接于所述第一端板上并被所述推杆穿过，所述压轮连接于所述定位环上并绕垂直于所述推杆轴线的转轴转动，所述推杆的上部设有切平面，所述压轮的下部与所述切平面进行线接触。

8、进一步的，所述外圈磁组包括滑动座，所述滑动座的两侧设有若干轴线与所述透磁套筒的轴线平行的直线轴承，所述基座的两边设有引导所述直线轴承直线移动的导杆。

9、进一步的，所述滑动座的侧方设有感应片，所述基座的一侧设有多个用来感应所述感应片位置的位置传感器。

10、本实用新型技术方案的有益效果是：

11、本装置通过直线驱动机构先带动外圈磁组，然后外圈磁组的磁力透过透磁套筒带动内圈磁组运动，从而实现推杆的直线运动，同时让内圈磁组通过滚轮接触透磁套筒的内壁，既保证了推杆轴线的稳定，同时又保证了推杆单元与透磁套筒在低摩擦阻力下滑动，使装置的推拉动作更灵敏和准确，降低磨损。

技术特征：

1.一种低摩擦力的静密封磁力推杆装置，其特征在于：包括透磁套筒、推杆单元和直线驱动单元；

2.根据权利要求1所述的低摩擦力的静密封磁力推杆装置，其特征在于：还包括支架、所述支架包括基座以及平行固定于所述基座两侧的第一端板和第二端板；所述透磁套筒固定于所述第一端板和所述第二端板之间，所述推杆的头部穿出所述第一端板并固定一托板，所述透磁套筒在靠近所述第一端板的一端设有法兰面，另一端封闭，所述法兰面与所述第一端板之间密封。

3.根据权利要求2所述的低摩擦力的静密封磁力推杆装置，其特征在于：还包括调节组件，所述调节组件包括定位环和压轮，所述定位环连接于所述第一端板上并被所述推杆穿过，所述压轮绕垂直于所述推杆轴线的转轴转动连接于所述定位环上，所述推杆的上部设有切平面，所述压轮的下部与所述切平面进行线接触。

4.根据权利要求2所述的低摩擦力的静密封磁力推杆装置，其特征在于：所述外圈磁组包括滑动座，所述滑动座的两侧设有若干轴线与所述透磁套筒的轴线平行的直线轴承，所述基座的两边设有引导所述直线轴承直线移动的导杆。

5.根据权利要求4所述的低摩擦力的静密封磁力推杆装置，其特征在于：所述滑动座的侧方设有感应片，所述基座的一侧设有多个用来感应所述感应片位置的位置传感器。

技术总结
本技术属于真空镀膜技术领域，涉及一种低摩擦力的静密封磁力推杆装置，包括透磁套筒、推杆单元和直线驱动单元；直线驱动单元包括套在外圈磁组以及直线驱动机构；推杆单元穿过透磁套筒的内部，包括同轴设置于透磁套筒内的推杆，尾部设有隔着透磁套筒与外圈磁组内外相吸的内圈磁组；内圈磁组的两端被一对限位块夹持，限位块固定于推杆上，每个限位块上绕轴均布有三个滚轮，三个滚轮的轴线位于推杆轴线的垂直面内且夹角互成60°，所有滚轮的外侧紧贴所述透磁套筒的内壁。本装置中内圈磁组通过滚轮接触透磁套筒的内壁，既保证了推杆轴线的稳定，同时又保证了推杆单元与透磁套筒在低摩擦阻力下滑动，是装置的推拉动作更灵敏和准确。

技术研发人员：方致远,胡宇航,王凡,乔梁,李伟,杨星,周文彬
受保护的技术使用者：昆山晟成光电科技有限公司
技术研发日：20240306
技术公布日：2025/3/20