一种可控制PVD涂层厚度的喷涂装置的制作方法

本技术涉及喷涂加工，具体为一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置。

背景技术：

1、物理气相沉积(pvd)技术是一种高级的材料加工方法，用于在各种基材表面制备薄膜和涂层，这项技术源于20世纪中叶的科学研究，随着对超薄膜材料性能的深入了解和制造技术的进步，pvd逐渐成为了微电子、航空航天、医疗器械、汽车工业和日常消费品等领域中不可或缺的加工技术。

2、传统的喷涂装置通常对于涂层厚度和均匀性控制不足，在实际使用中，传统喷涂装置可能难以精确控制涂层的厚度和均匀性，同时加热不均匀导致喷涂的效果不佳。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本实用新型的目的在于提供一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，以解决上述背景技术中提出的传统喷涂装置对于涂层厚度和均匀性控制不足的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，该可控制pvd涂层厚度的喷涂装置包括喷涂装置主体、电机、基板支架、沉积源、隔热罩、红外加热灯、灯管、反射罩、真空泵、风扇、石英晶体微天平、缓冲垫、可视窗口、压力表、控制面板、装载门、把手、散热格栅、电源接口和设备开关，所述喷涂装置主体的内部底端设置有电机，所述电机的上端设置有基板支架，所述基板支架的上端设置有沉积源，所述喷涂装置主体的内部顶端设置有隔热罩，所述隔热罩的下端设置有红外加热灯，隔热罩保护装置内部免受沉积源产生的高温影响，确保安全和稳定的操作环境，基板支架固定需要喷涂的基板，可通过电机调整位置，以适应不同大小的基板和不同的涂层需求。

5、优选的，所述红外加热灯的下端设置有灯管，所述灯管的外圈设置有反射罩，反射红外加热灯发出的热量，使其更加集中地作用于特定区域，提高加热效率。

6、优选的，所述喷涂装置主体的内壁后端设置有真空泵，所述真空泵的后端设置有风扇，创建和维持喷涂过程中所需的低压环境，以减少空气和杂质对涂层质量的影响。

7、优选的，所述基板支架的后端设置有石英晶体微天平，所述喷涂装置主体的底部四周设置有缓冲垫，石英晶体微天平实时监测涂层的厚度和沉积率，确保涂层的均匀性和精确性。

8、优选的，所述喷涂装置主体的右端设置有可视窗口，所述可视窗口的上侧设置有压力表，允许操作员直接观察喷涂过程，不必打开装置。

9、优选的，所述喷涂装置主体的顶端设置有控制面板，所述喷涂装置主体的前端设置有装载门，所述装载门的前端设置有把手，用于开启和关闭装置，以装载或取出基板。

10、优选的，所述喷涂装置主体的后端设置有散热格栅，所述散热格栅的下侧设置有电源接口，所述电源接口的左侧设置有设备开关，散热格栅位于装置后部，帮助散热，维持设备内部的温度平衡。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

12、1、该可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，通过集成石英晶体微天平和高效的控制系统，装置能够实时监测涂层的厚度和生长速率，确保每一次沉积都能达到预定的涂层规格，从而保证了涂层的一致性和质量；

13、2、该可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，红外加热灯搭配灯管和反射罩的设计，能够确保基板受到均匀的加热，这对于实现涂层的均匀沉积至关重要，隔热罩的加入进一步保护了装置的内部结构，防止因高温而损害设备；

14、3、该可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，装载门配备把手使得基板的装载和取出变得简单快捷，同时保证了操作过程的安全性，真空泵和风扇的应用确保了在沉积过程中能快速达到并维持所需的真空环境，同时有效地管理装置内的温度，防止过热。

技术特征：

1.一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，该可控制pvd涂层厚度的喷涂装置包括喷涂装置主体(1)、电机(2)和基板支架(3)，其特征在于：所述喷涂装置主体(1)的内部底端设置有电机(2)，所述电机(2)的上端设置有基板支架(3)，所述基板支架(3)的上端设置有沉积源(4)，所述喷涂装置主体(1)的内部顶端设置有隔热罩(5)，所述隔热罩(5)的下端设置有红外加热灯(6)。

2.根据权利要求1所述的一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，其特征在于：所述红外加热灯(6)的下端设置有灯管(7)，所述灯管(7)的外圈设置有反射罩(8)。

3.根据权利要求1所述的一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，其特征在于：所述喷涂装置主体(1)的内壁后端设置有真空泵(9)，所述真空泵(9)的后端设置有风扇(10)。

4.根据权利要求1所述的一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，其特征在于：所述基板支架(3)的后端设置有石英晶体微天平(11)，所述喷涂装置主体(1)的底部四周设置有缓冲垫(12)。

5.根据权利要求1所述的一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，其特征在于：所述喷涂装置主体(1)的右端设置有可视窗口(13)，所述可视窗口(13)的上侧设置有压力表(14)。

6.根据权利要求1所述的一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，其特征在于：所述喷涂装置主体(1)的顶端设置有控制面板(15)，所述喷涂装置主体(1)的前端设置有装载门(16)，所述装载门(16)的前端设置有把手(17)。

7.根据权利要求1所述的一种可控制pvd涂层厚度的喷涂装置，其特征在于：所述喷涂装置主体(1)的后端设置有散热格栅(18)，所述散热格栅(18)的下侧设置有电源接口(19)，所述电源接口(19)的左侧设置有设备开关(20)。

技术总结
本技术涉及喷涂加工技术领域，且公开了一种可控制PVD涂层厚度的喷涂装置，该可控制PVD涂层厚度的喷涂装置包括喷涂装置主体、电机、基板支架、沉积源、隔热罩、散热格栅、电源接口和设备开关，所述喷涂装置主体的内部底端设置有电机，隔热罩保护装置内部免受沉积源产生的高温影响，确保安全和稳定的操作环境，基板支架固定需要喷涂的基板，可通过电机调整位置，以适应不同大小的基板和不同的涂层需求。该可控制PVD涂层厚度的喷涂装置，通过集成石英晶体微天平和高效的控制系统，装置能够实时监测涂层的厚度和生长速率，确保每一次沉积都能达到预定的涂层规格，从而保证了涂层的一致性和质量。

技术研发人员：韩秀全,黎滔
受保护的技术使用者：青岛德耐纳米科技有限公司
技术研发日：20240320
技术公布日：2025/3/20