一种真空镀膜机的工件旋转机构的制作方法

本技术涉及真空镀膜机，具体为一种真空镀膜机的工件旋转机构。

背景技术：

1、真空镀膜是指需要在较高真空度下进行镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

2、对于蒸发镀膜，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片(或称工件)表面，通过成膜过程形成薄膜。厚度均匀性和组分均匀性主要取决于：工件材料与靶材的晶格匹配程度；工件表面温度；靶材蒸发功率和速率；镀膜真空度；镀膜时间和厚度大小。当调整了工件镀膜温度和真空度，以及靶材蒸发条件后，就需要按照工件特定要求，需要通过合理设置的传机构来连续转换镀膜工件位置，才能确保工件镀膜质量，尤其对于如汽车轮毂之类的大型工件显得特别重要。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的工件旋转机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机的工件旋转机构，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体内设置有工件放置盘，所述工件放置盘周侧端端部固定设置有滚轮，所述滚轮置于导轨上，所述导轨沿所述真空镀膜机本体内侧设置，所述工件放置盘的顶部固定安装有旋转轴，所述旋转轴穿过所述真空镀膜机本体顶部，且端部安装有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮相互啮合，所述主动齿轮安装在驱动电机的输出轴上。

3、所述工件放置盘为弧形结构。

4、所述导轨为环形结构。

5、所述驱动电机为步进电机。

6、与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型可实现工件放置盘的旋转，通过齿轮传动由此实现了所述旋转支架任意，控制转动位置，包括正转或反转，以及转动的度数。

技术特征：

1.一种真空镀膜机的工件旋转机构，包括真空镀膜机本体(1)，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)内设置有工件放置盘(2)，所述工件放置盘(2)周侧端端部固定设置有滚轮(3)，所述滚轮(3)置于导轨(4)上，所述导轨(4)沿所述真空镀膜机本体(1)内侧设置，所述工件放置盘(2)的顶部固定安装有旋转轴(5)，所述旋转轴(5)穿过所述真空镀膜机本体(1)顶部，且端部安装有从动齿轮(6)，所述从动齿轮(6)与主动齿轮(7)相互啮合，所述主动齿轮(7)安装在驱动电机(8)的输出轴上。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件旋转机构，其特征在于：所述工件放置盘(2)为弧形结构。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件旋转机构，其特征在于：所述导轨(4)为环形结构。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件旋转机构，其特征在于：所述驱动电机(8)为步进电机。

技术总结
本技术提供一种真空镀膜机的工件旋转机构，包括真空镀膜机本体，真空镀膜机本体内设置有工件放置盘，工件放置盘周侧端端部固定设置有滚轮，滚轮置于导轨上，导轨沿所述真空镀膜机本体内侧设置，工件放置盘的顶部固定安装有旋转轴，旋转轴穿过真空镀膜机本体顶部，且端部安装有从动齿轮，从动齿轮与主动齿轮相互啮合，主动齿轮安装在驱动电机的输出轴上。本技术可实现工件放置盘的旋转，通过齿轮传动由此实现了所述旋转支架任意，控制转动位置，包括正转或反转，以及转动的度数。

技术研发人员：徐鸣,杜楠,罗伟,安建昊,唐欢欢
受保护的技术使用者：江苏微凯机械有限公司
技术研发日：20240403
技术公布日：2025/1/9