一种冷却板及靶材冷却装置的制作方法

本技术涉及磁控溅射设备，具体为一种冷却板及靶材冷却装置。

背景技术：

1、磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。磁控溅射的靶材在热处理过程后需要通过冷却装置进行冷却及清洗，以去除靶材表面的污渍便于进行下一步加工。

2、如申请号为cn201921486815.x的实用新型公开了一种靶材冷却装置。该实用新型将靶材放置于水平置物板上，通过竖直挡板将单个靶材进行隔开，然后启动水泵将蓄水腔内的清洗液抽向水平喷淋管，并最终将清洗液通过出水孔冲向位于水平置物板上的靶材上，实现对靶材进行清洗，水平置物板上的清洗液经第二漏水孔逐级下漏，实现对底层水平置物板上的靶材进行清洗及冷却，清洗液最终由第一漏水孔回流至蓄水腔内。但是对于靶材顶底两面的冷却强度不够均匀，冷却效率不高。

3、于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出一种冷却板及靶材冷却装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种冷却板及靶材冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材冷却装置，包括箱体和过滤网板，所述箱体的顶部中端安装有伺服电机，且伺服电机的输出端贯穿箱体顶部连接有正反牙丝杆，所述正反牙丝杆的外部设置有第一丝杆螺母和第二丝杆螺母，且正反牙丝杆的底端连接有传动杆，所述传动杆的外部设置有清洁刷，所述过滤网板设置于清洁刷的上方，且箱体的内侧固定有承载板，所述承载板的开口处贯穿设置有支撑柱。

3、进一步的，所述过滤网板中部的开口尺寸与传动杆的外直径相吻合，且箱体和过滤网板固定连接。

4、进一步的，所述箱体的左侧下方安装有清洗组件，且清洗组件包括水泵和水管，所述水泵的输出端连接有水管。

5、进一步的，所述清洗组件还包括第一冲洗喷头和第二冲洗喷头，且水管的输出端安装有第一冲洗喷头和第二冲洗喷头，所述第一冲洗喷头和第二冲洗喷头各设置有两个。

6、一种冷却板，包括冷却组件，所述冷却组件设置于所述的第一丝杆螺母和第二丝杆螺母外部，所述冷却组件设置有两组。

7、进一步的，所述冷却组件包括板体、落水孔和水道，且板体的表面开设有落水孔，所述板体的内部设置有水道。

8、进一步的，所述冷却组件还包括进水管和出水管，且水道的两端分别连接有进水管和出水管。

9、本实用新型提供了一种冷却板及靶材冷却装置，具备以下有益效果：

10、1、本实用新型伺服电机工作驱使正反牙丝杆转动，使得第一丝杆螺母、第二丝杆螺母沿正反牙丝杆外部朝相反方向位移，以调整支撑柱至凸出板体与靶材接触，此时通过水泵将箱体内部下方的水抽取至水管中，由第一冲洗喷头、第二冲洗喷头喷向靶材顶底面，同时带走污渍和剩余热量。

11、2、本实用新型依靠第一丝杆螺母和第二丝杆螺母而相向靠近的两组冷却组件分别与靶材顶底两面贴合，此时冷却水经进水管进入水道，在受热后由出水管离开，通过冷却介质与靶材之间传热，达到急速降低靶材温度的效果。

技术特征：

1.一种靶材冷却装置，包括箱体(1)和过滤网板(7)，其特征在于，所述箱体(1)的顶部中端安装有伺服电机(2)，且伺服电机(2)的输出端贯穿箱体(1)顶部连接有正反牙丝杆(3)，所述正反牙丝杆(3)的外部设置有第一丝杆螺母(4)和第二丝杆螺母(5)，且正反牙丝杆(3)的底端连接有传动杆(11)，所述传动杆(11)的外部设置有清洁刷(12)，所述过滤网板(7)设置于清洁刷(12)的上方，且箱体(1)的内侧固定有承载板(8)，所述承载板(8)的开口处贯穿设置有支撑柱(9)。

2.根据权利要求1所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述过滤网板(7)中部的开口尺寸与传动杆(11)的外直径相吻合，且箱体(1)和过滤网板(7)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述箱体(1)的左侧下方安装有清洗组件(10)，且清洗组件(10)包括水泵(1001)和水管(1002)，所述水泵(1001)的输出端连接有水管(1002)。

4.根据权利要求3所述的一种靶材冷却装置，其特征在于，所述清洗组件(10)还包括第一冲洗喷头(1003)和第二冲洗喷头(1004)，且水管(1002)的输出端安装有第一冲洗喷头(1003)和第二冲洗喷头(1004)，所述第一冲洗喷头(1003)和第二冲洗喷头(1004)各设置有两个。

5.一种冷却板，包括冷却组件(6)，其特征在于，所述冷却组件(6)设置于如权利要求1所述的第一丝杆螺母(4)和第二丝杆螺母(5)外部，所述冷却组件(6)设置有两组。

6.根据权利要求5所述的一种冷却板，其特征在于，所述冷却组件(6)包括板体(601)、落水孔(602)和水道(603)，且板体(601)的表面开设有落水孔(602)，所述板体(601)的内部设置有水道(603)。

7.根据权利要求6所述的一种冷却板，其特征在于，所述冷却组件(6)还包括进水管(604)和出水管(605)，且水道(603)的两端分别连接有进水管(604)和出水管(605)。

技术总结
本技术公开了一种冷却板及靶材冷却装置，涉及磁控溅射设备技术领域，包括箱体和过滤网板，所述箱体的顶部中端安装有伺服电机，且伺服电机的输出端贯穿箱体顶部连接有正反牙丝杆，所述正反牙丝杆的外部设置有第一丝杆螺母和第二丝杆螺母，且正反牙丝杆的底端连接有传动杆，所述传动杆的外部设置有清洁刷，所述过滤网板设置于清洁刷的上方，且箱体的内侧固定有承载板，所述承载板的开口处贯穿设置有支撑柱。该冷却板及靶材冷却装置，依靠第一丝杆螺母和第二丝杆螺母而相向靠近的两组冷却组件分别与靶材顶底两面贴合，此时冷却水经进水管进入水道，在受热后由出水管离开，通过冷却介质与靶材之间传热，达到急速降低靶材温度的效果。

技术研发人员：张炎,陈英豪,兰飞
受保护的技术使用者：苏州普瑞赛光电科技有限公司
技术研发日：20240513
技术公布日：2025/3/16