一种氮化镓晶体抛光装置的制作方法

本技术主要涉及抛光装置，具体涉及一种氮化镓晶体抛光装置。

背景技术：

1、二十世纪的晶体管的发明，促使人们越发关注半导体材料的研究。集成电路的发展应用促进了硅、锗等第一代元素半导体的研究。进而发展为从材料研究到器件制备的完整工艺产业链。而第二代化合物半导体材料的研究则促进了微波及光电子器件的应用。氮化镓为典型的第三代半导体材料，其在光学与电子学领域有重要的应用。

2、如中国专利公开号为cn219075290u公开了一种氮化镓晶体的抛光装置，包括：支撑台以及设置在支撑台表面的调整单元和升降单元，升降单元上端固定有支撑板；调整单元，包括设置在支撑台表面的放置台、放置板以及开设在放置台内部的活动腔，活动腔内部还设置有驱动设备、转动轴、移动块和连接杆，放置板通过销轴活动连接在放置台表面。现有技术中，在放置槽中放入填充剂，加热填充剂至熔化并充满氮化镓晶体与放置槽之间的缝隙，凝固后实现对氮化镓晶体的固定，填充剂如上述申请中的熔化蜡，上述申请通过放置槽和放置槽内部的加热单元，能使用熔化蜡对氮化镓晶体进行固定，但是未设置回收机构，不能对熔化蜡进行回收，如果不能回收利用，将会造成资源的浪费。

技术实现思路

1、1.实用新型要解决的技术问题：

2、本实用新型的提供了一种氮化镓晶体抛光装置，用以解决上述背景技术中存在的技术问题。

3、2.技术方案：

4、为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为：一种氮化镓晶体抛光装置，包括机架，所述机架上设置有x轴移动机构和z轴移动机构，所述x轴移动机构的输出端上设置有氮化镓晶体的固定机构，所述z轴移动机构的输出端上设置有y轴移动机构，所述y轴移动机构的输出端上设置有对氮化镓晶体抛光的抛光组件，所述固定机构上开设有放置槽，所述放置槽的两侧设置有安装腔，所述安装腔内设置有用于回收填充剂的回收机构，所述放置槽和所述回收机构上设置有对填充剂加热的加热机构。

5、优选的，所述放置槽的底部对称设置有两块倾斜板，倾斜板的最低面与所述安装腔相连通，所述安装腔的进口处设置有第一阀门，所述第一阀门与第一升降机构相连接。

6、优选的，所述回收机构包括回收盒和第二升降机构，所述安装腔内的底部设置有支撑块，所述回收盒的开口处设置有第二阀门，所述第二升降机构的两端通过第一铰链分别与回收盒和支撑块相连接，所述回收盒的下端还连接有第二铰链，所述第二铰链通过支撑柱安装在支撑块上，所述回收盒通过所述第二升降机构绕所述第二铰链旋转。

7、优选的，所述第二阀门包括固定在回收盒上的安装板，所述安装板上固定安装有第三升降机构，所述第三升降机构的输出端上设置有连接板，所述连接板与阀体相连接。

8、优选的，所述安装板上开设有两个导向槽，两个导向槽平行设置，所述连接板上设置有与导向槽相配合的导向块。

9、3.有益效果：

10、采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：

11、本实用新型通过在放置槽两侧设置安装腔，安装腔内设置回收盒，在放置槽内放置填充剂，氮化镓晶体抛光结束后，通过加热机构对放置槽内的填充剂加热，填充剂熔化后打开第一阀门和第二阀门，填充剂在倾斜板的作用下流入回收盒内，等填充剂凝固后，完成对填充剂的回收。在下次使用时，第二升降机构的输出端伸出，带动回收盒绕第二铰链旋转，使回收盒向下倾斜，并打开加热机构，使填充剂熔化并流入放置槽内，本实用新型通过回收填充剂，可以减少填充剂的用量，提高抛光效率，减少生产成本。

12、本实用新型通过x轴移动机构、y轴移动机构和z轴移动机构的设置，能够方便对氮化镓晶体的位置进行调整，方便工作人员对氮化镓晶体进行抛光。

技术特征：

1.一种氮化镓晶体抛光装置，其特征在于：包括机架（1），所述机架（1）上设置有x轴移动机构（2）和z轴移动机构（3），所述x轴移动机构（2）的输出端上设置有氮化镓晶体的固定机构（6），所述z轴移动机构（3）的输出端上设置有y轴移动机构（4），所述y轴移动机构（4）的输出端上设置有对氮化镓晶体抛光的抛光组件（5），所述固定机构（6）上开设有放置槽（61），所述放置槽（61）的两侧设置有安装腔（65），所述安装腔（65）内设置有用于回收填充剂的回收机构（7），所述放置槽（61）和所述回收机构（7）上设置有对填充剂加热的加热机构。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓晶体抛光装置，其特征在于：所述放置槽（61）的底部对称设置有两块倾斜板（62），倾斜板（62）的最低面与所述安装腔（65）相连通，所述安装腔（65）的进口处设置有第一阀门（63），所述第一阀门（63）与第一升降机构（64）相连接。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓晶体抛光装置，其特征在于：所述回收机构（7）包括回收盒（71）和第二升降机构（73），所述安装腔（65）内的底部设置有支撑块（77），所述回收盒（71）的开口处设置有第二阀门（72），所述第二升降机构（73）的两端通过第一铰链（74）分别与回收盒（71）和支撑块（77）相连接，所述回收盒（71）的下端还连接有第二铰链（75），所述第二铰链（75）通过支撑柱（76）安装在支撑块（77）上，所述回收盒（71）通过所述第二升降机构（73）绕所述第二铰链（75）旋转。

4.根据权利要求3所述的一种氮化镓晶体抛光装置，其特征在于：所述第二阀门（72）包括固定在回收盒（71）上的安装板（721），所述安装板（721）上固定安装有第三升降机构（722），所述第三升降机构（722）的输出端上设置有连接板（723），所述连接板（723）与阀体（724）相连接。

5.根据权利要求4所述的一种氮化镓晶体抛光装置，其特征在于：所述安装板（721）上开设有两个导向槽（725），两个导向槽（725）平行设置，所述连接板（723）上设置有与导向槽（725）相配合的导向块（726）。

技术总结
本技术提供一种氮化镓晶体抛光装置，包括机架，所述机架上设置有X轴移动机构和Z轴移动机构，所述X轴移动机构的输出端上设置有氮化镓晶体的固定机构，所述Z轴移动机构的输出端上设置有Y轴移动机构，所述Y轴移动机构的输出端上设置有对氮化镓晶体抛光的抛光组件，所述固定机构上开设有放置槽，所述放置槽的两侧设置有安装腔，所述安装腔内设置有用于回收填充剂的回收机构，所述放置槽和所述回收机构上设置有对填充剂加热的加热机构。本技术通过回收填充剂，可以减少填充剂的用量，提高抛光效率，减少生产成本。

技术研发人员：谢自力
受保护的技术使用者：南京集芯光电技术研究院有限公司
技术研发日：20240528
技术公布日：2025/1/9