一种用于适用管式PECVD的辅热灯管的拆装结构的制作方法

本技术涉及管式pecvd设备的，特别是涉及一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构。

背景技术：

1、pecvd淀积的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性，使其在超大规模集成电路、光电器件、mems等领域具有广泛的应用，通过延长恒温时间来达到中间舟叶被均匀加热，但延长加热时间将较大程度降低设备镀膜产能，因此为了减少工艺时间和提高镀膜均匀性，会在反应腔室内增加辅助加热机构，单独对石墨舟上方和下方进行辅助加热，使得石墨舟及其内部的硅片的温度均匀性更好，满足工艺温度的需求，辅助加热装置能够缩短工艺时间，从而提升设备的产能和性能。

2、辅热装置要保证密封性良好的同时还要同时保证高温，同时满足此条件且价格适中的材料首选是石英材质，但石英材质易破损，在安装辅热时容易破损，砸坏石墨舟以及石英管，由此很有必要设计一款拆装辅热灯管的工装结构。

技术实现思路

1、本实用新型针对现有技术的不足，本实用新型提供一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，工装制作简单，不用繁杂的加工结构，可方便快捷的拆装辅热灯管及内热偶装置，为生产使用带来极大的便利。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，包括：法兰以及与法兰固定连接用于安装辅热灯管的辅助安装机构，所述辅助安装机构包括与法兰相连接的安装座、支撑钣金以及辅助安装杆，所述支撑钣金具有底面以及两侧挡边，所述安装座与两侧挡边相连接且与所述支撑钣金的底面保留有间隙，所述辅助安装杆具有手柄部以及与手柄部一体成型的支撑杆部，所述支撑杆部从所述间隙中穿过且延伸至支撑钣金外用于承托辅热灯管。

3、在本实用新型一个较佳实施例中，所述支撑钣金上相互平行设置有多组分隔板，两组相邻的分隔板之间形成用于放置辅热灯管的安装通道。

4、在本实用新型一个较佳实施例中，所述辅助安装杆的支撑杆部可选择从任一通道内穿过且伸出支撑钣金外。

5、在本实用新型一个较佳实施例中，支撑杆部具有与辅热灯管外形相匹配的内凹槽。

6、在本实用新型一个较佳实施例中，所述安装座与支撑钣金之间设置有两组加强筋。

7、在本实用新型一个较佳实施例中，所述安装座通过两组连接板与所述支撑钣金固定连接，且与所述支撑钣金的底面保留间隙。

8、在本实用新型一个较佳实施例中，所述安装座螺丝与所述法兰紧固连接。

9、本实用新型的有益效果是：本实用的用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，工装制作简单，不用繁杂的加工结构，可方便快捷的拆装辅热灯管及内热偶装置，为生产使用带来极大的便利。

技术特征：

1.一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，其特征在于，包括：法兰以及与法兰固定连接用于安装辅热灯管的辅助安装机构，所述辅助安装机构包括与法兰相连接的安装座、支撑钣金以及辅助安装杆，所述支撑钣金具有底面以及两侧挡边，所述安装座与两侧挡边相连接且与所述支撑钣金的底面保留有间隙，所述辅助安装杆具有手柄部以及与手柄部一体成型的支撑杆部，所述支撑杆部从所述间隙中穿过且延伸至支撑钣金外用于承托辅热灯管。

2.根据权利要求1所述的一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，其特征在于，所述支撑钣金上相互平行设置有多组分隔板，两组相邻的分隔板之间形成用于放置辅热灯管的安装通道。

3.根据权利要求2所述的一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，其特征在于，所述辅助安装杆的支撑杆部可选择从任一通道内穿过且伸出支撑钣金外。

4.根据权利要求1所述的一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，其特征在于，所述支撑杆部具有与辅热灯管外形相匹配的内凹槽。

5.根据权利要求1所述的一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，其特征在于，所述安装座与支撑钣金之间设置有两组加强筋。

6.根据权利要求1所述的一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，其特征在于，所述安装座通过两组连接板与所述支撑钣金固定连接，且与所述支撑钣金的底面保留间隙。

7.根据权利要求1所述的一种用于适用管式pecvd的辅热灯管的拆装结构，其特征在于，所述安装座螺丝与所述法兰紧固连接。

技术总结
本技术公开了一种用于适用管式PECVD的辅热灯管的拆装结构，包括：法兰以及与法兰固定连接用于安装辅热灯管的辅助安装机构，辅助安装机构包括与法兰相连接的安装座、支撑钣金以及辅助安装杆，支撑钣金具有底面以及两侧挡边，安装座与两侧挡边相连接且与支撑钣金的底面保留有间隙，辅助安装杆具有手柄部以及与手柄部一体成型的支撑杆部，支撑杆部从所述间隙中穿过且延伸至支撑钣金外用于承托辅热灯管，本技术辅热灯管的拆装结构，工装制作简单，不用繁杂的加工结构，可方便快捷拆装辅热装置及内热偶装置。

技术研发人员：王玉明,闫宝杰,郭向阳,程海良
受保护的技术使用者：苏州拓升智能装备有限公司
技术研发日：20240627
技术公布日：2025/4/14