一种立式连续真空镀膜设备的制作方法

本发明属于真空镀膜领域，特别涉及到了一种立式连续真空镀膜设备。

背景技术：

1、真空镀膜设备是一种利用真空镀膜技术以对工件进行真空镀膜的设备，其在进行加工时，利用电子束、分子束、离子束、等离子束、射频或磁控等一系列技术，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其凝结并沉积在工件表面，以形成薄膜。随着技术创新的不断推进，真空镀膜设备经历了从单镀膜腔式到多镀膜腔式连续真空镀膜设备的演变。这一转变不仅显著提升了生产效率，还极大地改善了薄膜质量，并在成本控制方面取得了突破性进展。

2、如在先专利所公开的一种管道传输连续式真空镀膜生产线结构(申请号为cn202110996253.9)，该生产线结构包括有货架以及加工组件；加工组件中至少一个具有内部加工空间，用于对待加工工件进行镀膜加工的加工管；以及，至少一个用于隔绝或连通不同的空间的隔离阀；多个加工管依序排列，隔离阀设置在相邻的加工管之间，相邻的加工管通过隔离阀连接后，其内部加工空间连通形成容货架传送的通道。然而，在该在先专利中，该货架以躺卧的姿态在加工管内真空镀膜，以及在多个加工管之间进行传输；这就使得加工管的长度较长，特别是当多节加工管组装使用时，需要更多的地面空间来容纳其长度，这在空间长度有限的生产环境中是一个问题。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种立式连续真空镀膜设备，该设备在高度方向上的空间利用更为有效，能够在有限的空间内实现更高的生产效率。

2、为了实现上述目的，本发明的技术方案如下。

3、一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，包括：

4、多个镀膜仓，所述镀膜仓内设置有镀膜腔，多个镀膜仓依次连接，多个镀膜仓内镀膜腔依次接通，且相邻两个镀膜仓之间设置有用于控制二者镀膜腔接通或者隔绝的阀门；

5、用于承载工件的货架，所述货架竖立设置于镀膜腔内；

6、用于控制货架在镀膜腔内以及相邻镀膜腔之间运动的传输机构，所述传输机构设置于所述镀膜腔内，且所述传输机构与所述货架传动连接；

7、用于镀膜加工的镀膜机构，所述镀膜机构设置于所述镀膜腔内。

8、在该真空镀膜设备中，通过传输机构以控制货架在镀膜腔内以及镀膜腔之间进行运动，以使得货架在多个镀膜仓内进行依次连续真空镀膜；而基于货架为竖直设置，使得镀膜仓可利用高度方向上的空间满足对货架的容纳、镀膜和输送，能够在有限的空间内实现更高的生产效率。

9、进一步的，所述传输机构包括：

10、用于推动货架的货架输送推动组件，所述货架输送推动组件安装于镀膜腔内；

11、用于货架输送驱动组件，所述货架输送驱动组件安装于镀膜仓上，所述货架输送驱动组件包括有用于伸入至镀膜腔内的输送驱动杆，所述输送驱动杆与所述货架输送推动组件驱动连接。

12、进一步的，该设备还包括有用于对货架进行导向的导向机构，所述导向机构设置于镀膜腔上侧，所述货架上端与导向机构活动连接；

13、或，该设备还包括有用于对货架进行导向的导向机构，所述导向机构设置于镀膜腔下侧，所述货架下端与导向机构活动连接；

14、或，该设备还包括有用于对货架进行导向的导向机构，镀膜腔上下两侧均设置有所述导向机构，所述货架上下两端均与导向机构活动连接；

15、进一步的，所述导向机构包括有第一导向架和第二导向架，所述第一导向架上设置有第一导向槽，所述第二导向架上设置有第二导向槽，所述第一导向架和第二导向架平行设置，且所述第一导向槽和第二导向槽组合形成用于为货架导向的导向通道。

16、进一步的，该设备还包括用于锁定货架位置的多个定位机构，多个定位机构分别设置在多个镀膜腔内。

17、进一步的，所述定位机构包括：

18、用于对货架进行定位的定位件，所述定位件伸入至镀膜腔内与所述货架位置对应；

19、定位驱动组件，所述定位驱动组件设置于镀膜仓上，所述定位驱动组件与所述定位件驱动连接。

20、进一步的，该设备还包括有用于驱动位于镀膜腔的货架以带动工件旋转的多个旋转驱动机构，多个旋转驱动机构分别设置在多个镀膜腔内。

21、进一步的，所述旋转驱动机构包括：

22、用于伸入至镀膜腔内驱动货架带动着工件旋转的驱动件；

23、用于安装于镀膜仓上以驱动驱动件与货架脱离或者连接的升降驱动组件，所述升降驱动组件与所述驱动件驱动连接；

24、用于安装于镀膜仓上以驱动驱动件旋转的旋转驱动组件，所述旋转驱动组件与所述驱动件驱动连接。

25、进一步的，所述驱动件包括有旋转套和升降杆，所述升降杆一端形成有用于驱动货架旋转的驱动端，所述旋转套套设在升降杆外侧，所述升降驱动组件与所述升降杆另一端驱动连接，以驱动升降杆在旋转套上升降；

26、所述旋转驱动组件与所述旋转套驱动连接，通过驱动旋转套以带动升降杆旋转。

27、进一步的，该设备还包括有用于获取货架位置信息的多个信号传递机构，多个信号传递机构分别设置在多个镀膜腔内。

28、进一步的，所述信号传递机构包括：

29、传递杆，所述传递杆一端形成有用于伸入至镀膜腔内的第一传递端；

30、用于与镀膜腔内货架位置对应的触发件，所述触发件设置在第一传递端上；

31、行程开关；

32、用于固定在镀膜仓上的第一绝缘套，所述行程开关固定设置在第一绝缘套上，所述第一绝缘套可旋转式套设在传递杆上，且传递杆另一端穿过第一绝缘套形成有用于触发行程开关的第二传递端，所述第二传递端与所述行程开关位置对应。

33、本发明的有益效果在于，在该真空镀膜设备中，通过传输机构以控制货架在镀膜腔内以及镀膜腔之间进行运动，以使得货架在多个镀膜仓内进行依次连续真空镀膜；而基于货架为竖直设置，使得镀膜仓可利用高度方向上的空间满足对货架的容纳、镀膜和输送，能够在有限的空间内实现更高的生产效率。

技术特征：

1.一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，所述传输机构包括：

3.根据权利要求1所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，该设备还包括有用于对货架进行导向的导向机构，所述导向机构设置于镀膜腔上侧，所述货架上端与导向机构活动连接；

4.根据权利要求1所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，该设备还包括有用于锁定货架位置的多个定位机构，多个定位机构分别设置在多个镀膜腔内。

5.根据权利要求4所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，所述定位机构包括：

6.根据权利要求1所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，该设备还包括有用于驱动位于镀膜腔的货架以带动工件旋转的多个旋转驱动机构，多个旋转驱动机构分别设置在多个镀膜腔内。

7.根据权利要求6所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，所述旋转驱动机构包括：

8.根据权利要求7所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，所述驱动件包括有旋转套和升降杆，所述升降杆一端形成有用于驱动货架旋转的驱动端，所述旋转套套设在升降杆外侧，所述升降驱动组件与所述升降杆另一端驱动连接，以驱动升降杆在旋转套上升降；

9.根据权利要求1所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，该设备还包括有用于获取货架位置信息的多个信号传递机构，多个信号传递机构分别设置在多个镀膜腔内。

10.根据权利要求9所述的一种立式连续真空镀膜设备，其特征在于，所述信号传递机构包括：

技术总结
本发明属于真空镀膜领域，特别涉及到了一种立式连续真空镀膜设备，包括：多个镀膜仓，镀膜仓内设置有镀膜腔，多个镀膜仓依次连接，多个镀膜仓内镀膜腔依次接通，且相邻两个镀膜仓之间设置有用于控制二者镀膜腔接通或者隔绝的阀门；用于承载工件的货架，货架竖立设置于镀膜腔内；用于控制货架在镀膜腔内以及相邻镀膜腔之间运动的传输机构，传输机构设置于镀膜腔内，且传输机构与货架传动连接；用于镀膜加工的镀膜机构，镀膜机构设置于镀膜腔内。在本发明中，基于货架为竖直设置，使得镀膜仓可利用高度方向上的空间满足对货架的容纳、镀膜和输送，能够在有限的空间内实现更高的生产效率。

技术研发人员：陆作军,汪达文
受保护的技术使用者：广东森丰薄膜科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/31